-
การประมวลผลแบบกำหนดเองของหัวจับเวเฟอร์เซรามิก Al2O3
ชิ้นส่วนเซรามิกที่ผลิตด้วยกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็นและการเผาผนึกภายใต้อุณหภูมิสูง จากนั้นจึงทำการกลึงและขัดเงาอย่างแม่นยำ สามารถตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ได้ทุกประเภท ด้วยคุณสมบัติทนทานต่อการสึกหรอ ทนทานต่อการกัดกร่อน การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และเป็นฉนวน เซรามิกสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายชนิดภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃
-
แผ่นเซรามิกสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์แบบสั่งทำพิเศษ ST.CERA
ชิ้นส่วนเซรามิกที่ผลิตด้วยกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็นและการเผาผนึกภายใต้อุณหภูมิสูง จากนั้นจึงทำการกลึงและขัดเงาอย่างแม่นยำ สามารถตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ได้ทุกประเภท ด้วยคุณสมบัติทนทานต่อการสึกหรอ ทนทานต่อการกัดกร่อน การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และเป็นฉนวน เซรามิกสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายชนิดภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃
-
หัวจับสุญญากาศอลูมินาขนาด 12 นิ้ว สำหรับการประมวลผลเวเฟอร์ขนาด 300 มม.
หัวจับสุญญากาศขนาด 12 นิ้วของ St.Cera ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมอย่างแม่นยำจากอลูมินาบริสุทธิ์สูง 99.8% (Al₂O₃) สำหรับการจัดการเวเฟอร์ขนาด 300 มม. หัวจับมีพื้นผิวเป็นร่องละเอียด (ความกว้างของร่อง 0.5–1.0 มม. ระยะห่างของร่อง 2–3 มม.) เพื่อให้มั่นใจได้ว่ามีการกระจายสุญญากาศอย่างสม่ำเสมอทั่วทั้งเส้นผ่านศูนย์กลาง 300 มม. ความเรียบจะคงอยู่ภายใน 5 μm ทำให้สามารถยึดเวเฟอร์ได้อย่างมั่นคงโดยไม่บิดงอในระหว่างการตัด การเจียรด้านหลัง และการตรวจสอบ ความแข็งแรงดัดงอสูง (361 MPa) และความแข็ง (16 GPa) ของวัสดุรับประกันความเสถียรของมิติในระยะยาวแม้ภายใต้รอบสุญญากาศซ้ำๆ
-
หัวจับชิ้นงานเซรามิกอลูมินาพร้อมช่องดูดสุญญากาศในตัว
หัวจับชิ้นงานแบบสุญญากาศของ St.Cera ที่ทำจากอลูมินา ผสานรวมช่องสุญญากาศและรูดูดที่ผ่านการกลึงอย่างแม่นยำเข้ากับตัวอลูมินาบริสุทธิ์สูง 99.8% โดยตรง การออกแบบนี้ช่วยขจัดแผ่นสุญญากาศภายนอก ทำให้สามารถจับเวเฟอร์ได้โดยตรงด้วยแรงยึดที่สม่ำเสมอ ความแข็งแรงดัดงอสูง (361 MPa) และความแข็ง (16 GPa) ของวัสดุช่วยให้มั่นใจได้ถึงความเสถียรของขนาดในระยะยาวภายใต้รอบการดูดสุญญากาศซ้ำๆ ความเรียบของพื้นที่แผ่นจับชิ้นงานจะคงอยู่ภายใน 10 μm ป้องกันความเครียดและการแตกหักของเวเฟอร์ พอร์ตสุญญากาศอยู่ที่หน้าแปลนยึดด้านหลังเพื่อการรวมเข้ากับแขนหุ่นยนต์ของ OEM ได้อย่างง่ายดาย
-
ชิ้นส่วนเซรามิกอลูมินาที่ปลอดภัยจากไฟฟ้าสถิต สำหรับการจัดการเวเฟอร์ที่ไวต่อไฟฟ้าสถิต
ชิ้นส่วนเซรามิกอลูมินาที่ปลอดภัยจาก ESD (การปล่อยประจุไฟฟ้าสถิต) ของ St.Cera ผลิตจาก Al₂O₃ บริสุทธิ์สูง 99.8% โดยมีค่าความต้านทานพื้นผิวที่ปรับแต่งได้ 10⁶–10⁹ Ω/sq ซึ่งได้มาจากการกระบวนการโดปปิ้งหรือการเคลือบที่เป็นกรรมสิทธิ์ ชิ้นส่วนเหล่านี้สามารถกระจายประจุไฟฟ้าสถิตได้อย่างมีประสิทธิภาพ ป้องกันความเสียหายจากไฟฟ้าสถิตต่อแผ่นเวเฟอร์และอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่ไวต่อความเสียหาย วัสดุพื้นฐานยังคงรักษาความแข็งแรงดัดงอสูง (361 MPa) ความแข็ง (16 GPa) และความแข็งแรงทางไฟฟ้า (15×10⁶ V/m) ชิ้นส่วนเซรามิกที่ปลอดภัยจาก ESD ได้แก่ ปลายแขนกล หมุดยก รางนำ และอุปกรณ์จับยึดแบบกำหนดเองสำหรับระบบอัตโนมัติในโรงงานผลิต
-
ชิ้นส่วนอะไหล่เซรามิกสำหรับอุปกรณ์ตรวจสอบเซมิคอนดักเตอร์
ชิ้นส่วนเซรามิกที่ผลิตด้วยกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็นและการเผาผนึกภายใต้อุณหภูมิสูง จากนั้นจึงทำการกลึงและขัดเงาอย่างแม่นยำ สามารถตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ได้ทุกประเภท ด้วยคุณสมบัติทนทานต่อการสึกหรอ ทนทานต่อการกัดกร่อน การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และเป็นฉนวน เซรามิกสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายชนิดภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃
-
ตัวนำอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์แผ่นเซรามิก
ชิ้นส่วนเซรามิกที่ผลิตด้วยกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็นและการเผาผนึกภายใต้อุณหภูมิสูง จากนั้นจึงทำการกลึงและขัดเงาอย่างแม่นยำ สามารถตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ได้ทุกประเภท ด้วยคุณสมบัติทนทานต่อการสึกหรอ ทนทานต่อการกัดกร่อน การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และเป็นฉนวน เซรามิกสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายชนิดภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃
-
ชิ้นส่วนอะไหล่เซรามิกสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
ชิ้นส่วนเซรามิกที่ผลิตด้วยกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็นและการเผาผนึกภายใต้อุณหภูมิสูง จากนั้นจึงทำการกลึงและขัดเงาอย่างแม่นยำ สามารถตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ได้ทุกประเภท ด้วยคุณสมบัติทนทานต่อการสึกหรอ ทนทานต่อการกัดกร่อน การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และเป็นฉนวน เซรามิกสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายชนิดภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃
-
แหวนซีลเซรามิกอลูมินาความบริสุทธิ์สูงสำหรับซีลห้องอุณหภูมิสูง
แหวนซีลเซรามิกของ St.Cera ออกแบบมาเพื่อใช้แทนโอริงโพลีเมอร์ในสภาพแวดล้อมที่รุนแรงซึ่งอีลาสโตเมอร์เสื่อมสภาพ ผลิตจากอลูมินาบริสุทธิ์สูง 99.8% (Al₂O₃) แหวนซีลแข็งนี้ใช้ในงานซีลแบบคงที่ — โดยทั่วไปจะใช้ร่วมกับปะเก็นโลหะหรือกราไฟต์ที่อ่อนนุ่ม — เพื่อให้การกักเก็บสุญญากาศหรือก๊าซที่เชื่อถือได้ที่อุณหภูมิสูงถึง 800°C และในสภาพแวดล้อมพลาสมาหรือสารเคมีที่รุนแรง วัสดุนี้ไม่ปล่อยก๊าซ มีความแข็งแรงในการรับแรงอัดสูง (ความแข็งแรงดัดงอพื้นฐาน 361 MPa) และเฉื่อยต่อสารเคมี (ทนต่อฮาโลเจน กรด และด่าง ยกเว้น HF) พื้นผิวซีลที่ขัดเงาอย่างแม่นยำ (ความเรียบ ≤5 μm ความหยาบของพื้นผิว Ra ≤0.2 μm) ช่วยให้มั่นใจได้ว่าการสัมผัสที่แน่นสนิทกับส่วนประกอบโลหะหรือเซรามิกที่ประกบกันนั้นป้องกันการรั่วซึม
-
วงแหวนโฟกัสห้องอลูมินาความบริสุทธิ์สูงสำหรับระบบการกัดด้วยพลาสมาและการตกตะกอนด้วยไอระเหย (CVD)
วงแหวนโฟกัสห้องของ St.Cera เป็นส่วนประกอบสำคัญในชุดอุปกรณ์กระบวนการที่ใช้ในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์แบบพลาสมาเอทช์, CVD และ PVD ผลิตจากอลูมินาบริสุทธิ์สูง 99.8% (Al₂O₃) วงแหวนนี้ล้อมรอบขอบเวเฟอร์เพื่อกักเก็บพลาสมาและเพิ่มประสิทธิภาพการกระจายเชิงมุมของไอออน จึงช่วยปรับปรุงความสม่ำเสมอของการกัดเซาะทั่วพื้นผิวเวเฟอร์ วัสดุนี้มีความทนทานต่อพลาสมาเป็นพิเศษ มีความแข็งแรงทางไฟฟ้าสูง (15×10⁶ V/m) และเสถียรภาพทางความร้อนสูงถึง 1600°C ทำให้มั่นใจได้ถึงความน่าเชื่อถือในระยะยาวในสภาพแวดล้อมพลาสมาที่มีฟลูออรีนหรือคลอรีนเป็นส่วนประกอบ การเจียระไนเส้นผ่านศูนย์กลางภายใน/ภายนอกที่แม่นยำและความเรียบ (≤10 μm) ช่วยให้การวางตำแหน่งขอบเวเฟอร์แม่นยำ ลดข้อบกพร่องที่ขอบและการเกิดอนุภาค
-
วงแหวนเซรามิกอลูมินาความบริสุทธิ์สูงสำหรับห้องกระบวนการ CVD/PVD
วงแหวนเซรามิกของ St.Cera ได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับใช้ในห้องกระบวนการ CVD (Chemical Vapor Deposition) และ PVD (Physical Vapor Deposition) ผลิตจากอลูมินาบริสุทธิ์สูง 99.8% (Al₂O₃) วงแหวนนี้ทำหน้าที่เป็นแผ่นรองห้อง วงแหวนโฟกัส หรือส่วนประกอบของชุดกระบวนการ เพื่อกักเก็บพลาสมาและป้องกันผนังห้องจากการกัดเซาะ วัสดุนี้มีคุณสมบัติทนต่อพลาสมาได้ดีเยี่ยม มีความแข็งแรงทางไฟฟ้าสูง (15×10⁶ V/m) และมีเสถียรภาพทางความร้อนสูงถึง 1600°C ทำให้มั่นใจได้ถึงอายุการใช้งานที่ยาวนานในสภาพแวดล้อมพลาสมาที่มีฟลูออรีนเป็นส่วนประกอบหลัก ความคลาดเคลื่อนของขนาดที่แม่นยำ (±0.05 มม. บน ID/OD) และความเรียบ (≤10 μm) ช่วยให้การวางตำแหน่งขอบเวเฟอร์สม่ำเสมอ ปรับปรุงความสม่ำเสมอของการตกตะกอน และลดการเกิดอนุภาค
-
หัวจับเซรามิก Bernoulli — การจัดการเวเฟอร์แบบไม่สัมผัส สำหรับเวเฟอร์บางและเปราะบาง
หัวจับชิ้นงานเซรามิกแบบเบอร์นูลลีของ St.Cera ใช้หลักการยกตัวตามหลักอากาศพลศาสตร์ในการจัดการแผ่นเวเฟอร์โดยไม่ต้องสัมผัสโดยตรง ผลิตจากอลูมินา (Al₂O₃) หรือซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูง 99.8% มีหัวฉีดที่ผ่านการกลึงอย่างแม่นยำเพื่อพ่นก๊าซแรงดันสูงออกมาสร้างฟิล์มอากาศบางๆ ระหว่างหัวจับชิ้นงานกับแผ่นเวเฟอร์ หลักการแบบไม่สัมผัสนี้ช่วยขจัดปัญหาการปนเปื้อนด้านหลัง การบิ่นของขอบ และความเสียหายของพื้นผิว ทำให้เหมาะสำหรับแผ่นเวเฟอร์บาง (≤100 μm) เปราะบาง หรือบิดเบี้ยว วัสดุเซรามิกมีความแข็งแรงดัดงอสูง (361 MPa สำหรับ Al₂O₃; สูงถึง 550–600 MPa สำหรับ SiC) น้ำหนักเบา และมีความเสถียรทางมิติที่ดีเยี่ยม ทำให้มั่นใจได้ถึงการวางตำแหน่งที่ทำซ้ำได้ในหุ่นยนต์ถ่ายโอนเวเฟอร์ความเร็วสูง
