-
Al2O3 կերամիկական վաֆլիի չոկի անհատականացված մշակում
Ձևավորված սառը իզոստատիկ սեղմմամբ և բարձր ջերմաստիճանի տակ սինթեզված, այնուհետև ճշգրիտ մեքենայացված և հղկված կերամիկական պահեստամասերը կարող են բավարարել կիսահաղորդչային սարքավորումների ցանկացած խիստ պահանջ՝ մաշվածության դիմադրության, կոռոզիայի դիմադրության, ցածր ջերմային ընդարձակման և մեկուսացման առանձնահատկություններով: Կերամիկան կարող է երկար ժամանակ օգտագործվել կիսահաղորդչային արտադրության բազմաթիվ սարքավորումներում՝ բարձր ջերմաստիճանի, վակուումի կամ կոռոզիոն գազի պայմաններում:
Պատրաստված է բարձր մաքրության ալյումինի փոշուց, մշակված սառը իզոստատիկ սեղմման, բարձր ջերմաստիճանի սինտերացման և ճշգրիտ մշակման միջոցով, այն կարող է հասնել ±0.001 մմ չափսերի հանդուրժողականության, մակերեսի մշակման Ra 0.1, ջերմաստիճանի դիմադրության 1600℃:
-
ST.CERA կիսահաղորդչային սարքավորումների կերամիկական ափսեի անհատականացում
Ձևավորված սառը իզոստատիկ սեղմմամբ և բարձր ջերմաստիճանի տակ սինթեզված, այնուհետև ճշգրիտ մեքենայացված և հղկված կերամիկական պահեստամասերը կարող են բավարարել կիսահաղորդչային սարքավորումների ցանկացած խիստ պահանջ՝ մաշվածության դիմադրության, կոռոզիայի դիմադրության, ցածր ջերմային ընդարձակման և մեկուսացման առանձնահատկություններով: Կերամիկան կարող է երկար ժամանակ օգտագործվել կիսահաղորդչային արտադրության բազմաթիվ սարքավորումներում՝ բարձր ջերմաստիճանի, վակուումի կամ կոռոզիոն գազի պայմաններում:
Պատրաստված է բարձր մաքրության ալյումինի փոշուց, մշակված սառը իզոստատիկ սեղմման, բարձր ջերմաստիճանի սինտերացման և ճշգրիտ մշակման միջոցով, այն կարող է հասնել ±0.001 մմ չափսերի հանդուրժողականության, մակերեսի մշակման Ra 0.1, ջերմաստիճանի դիմադրության 1600℃:
-
12 դյույմանոց ալյումինե վակուումային խցիկ 300 մմ վաֆլի մշակման համար
St.Cera-ի 12 դյույմանոց վակուումային մեխակը ճշգրիտ նախագծված է 99.8% բարձր մաքրության ալյումինից (Al₂O₃)՝ 300 մմ վաֆլիի մշակման համար: Մեխակն ունի նուրբ ակոսավոր մակերես (ակոսի լայնությունը՝ 0.5–1.0 մմ, քայլը՝ 2–3 մմ)՝ ամբողջ 300 մմ տրամագծով վակուումի միատարր բաշխումն ապահովելու համար: Հարթությունը պահպանվում է 5 մկմ սահմաններում, ինչը հնարավորություն է տալիս վաֆլիները ամրացնել առանց ծռմռման կտրման, հետևի հղկման և ստուգման ժամանակ: Նյութի բարձր ճկման ամրությունը (361 ՄՊա) և կարծրությունը (16 ԳՊա) երաշխավորում են երկարատև չափային կայունություն նույնիսկ կրկնվող վակուումային ցիկլերի դեպքում:
-
Ալյումինա-կերամիկական ծայրային էֆեկտոր՝ ինտեգրված վակուումային ալիքներով
St.Cera-ի ալյումինե վակուումային ծայրային էֆեկտորը ճշգրիտ մշակված վակուումային ալիքներն ու ներծծման անցքերը ինտեգրում է անմիջապես 99.8% բարձր մաքրության ալյումինե մարմնի մեջ: Այս դիզայնը վերացնում է արտաքին վակուումային բարձիկները, ինչը հնարավորություն է տալիս ուղղակիորեն վերցնել վաֆլիները միատարր պահող ուժով: Նյութի բարձր ճկման ամրությունը (361 ՄՊա) և կարծրությունը (16 ԳՊա) ապահովում են երկարատև չափսային կայունություն կրկնվող վակուումային ցիկլերի դեպքում: Բարձիկի մակերեսի հարթությունը պահպանվում է 10 մկմ-ի սահմաններում, կանխելով վաֆլիի լարվածությունը և կոտրվելը: Վակուումային անցքերը տեղակայված են հետևի ամրացման եզրին՝ OEM ռոբոտի թևերի հետ հեշտ ինտեգրման համար:
-
ESD-անվտանգ ալյումինա-կերամիկական մասեր՝ ստատիկ-զգայուն վաֆլիների մշակման համար
St.Cera-ի էլեկտրաստատիկ պարպման համար անվտանգ ալյումինա-կերամիկական մասերը պատրաստված են 99.8% բարձր մաքրության Al₂O₃-ից՝ 10⁶–10⁹ Ω/քառ. քառ. հարմարեցված մակերևութային դիմադրությամբ, որը ձեռք է բերվել սեփական լեգիրման կամ ծածկույթի գործընթացի միջոցով: Այս մասերը արդյունավետորեն ցրում են ստատիկ լիցքը՝ կանխելով զգայուն կիսահաղորդչային թիթեղների և սարքերի էլեկտրաստատիկ վնասը: Հիմքի նյութը պահպանում է իր բարձր ճկման ամրությունը (361 ՄՊա), կարծրությունը (16 ԳՊա) և դիէլեկտրիկ ամրությունը (15×10⁶ Վ/մ): ESD-անվտանգ կերամիկական մասերի թվում են ծայրային էֆեկտորները, բարձրացնող քորոցները, ուղղորդող ռելսերը և FAB ավտոմատացման համար նախատեսված հատուկ հարմարանքները:
-
Կիսահաղորդչային զոնդային սարքավորումների կերամիկական պահեստամասեր
Ձևավորված սառը իզոստատիկ սեղմմամբ և բարձր ջերմաստիճանի տակ սինթեզված, այնուհետև ճշգրիտ մեքենայացված և հղկված կերամիկական պահեստամասերը կարող են բավարարել կիսահաղորդչային սարքավորումների ցանկացած խիստ պահանջ՝ մաշվածության դիմադրության, կոռոզիայի դիմադրության, ցածր ջերմային ընդարձակման և մեկուսացման առանձնահատկություններով: Կերամիկան կարող է երկար ժամանակ օգտագործվել կիսահաղորդչային արտադրության բազմաթիվ սարքավորումներում՝ բարձր ջերմաստիճանի, վակուումի կամ կոռոզիոն գազի պայմաններում:
Պատրաստված է բարձր մաքրության ալյումինի փոշուց, մշակված սառը իզոստատիկ սեղմման, բարձր ջերմաստիճանի սինտերացման և ճշգրիտ մշակման միջոցով, այն կարող է հասնել ±0.001 մմ չափսերի հանդուրժողականության, մակերեսի մշակման Ra 0.1, ջերմաստիճանի դիմադրության 1600℃:
-
Կերամիկական թիթեղյա կիսահաղորդչային սարքավորումների կրող
Ձևավորված սառը իզոստատիկ սեղմմամբ և բարձր ջերմաստիճանի տակ սինթեզված, այնուհետև ճշգրիտ մեքենայացված և հղկված կերամիկական պահեստամասերը կարող են բավարարել կիսահաղորդչային սարքավորումների ցանկացած խիստ պահանջ՝ մաշվածության դիմադրության, կոռոզիայի դիմադրության, ցածր ջերմային ընդարձակման և մեկուսացման առանձնահատկություններով: Կերամիկան կարող է երկար ժամանակ օգտագործվել կիսահաղորդչային արտադրության բազմաթիվ սարքավորումներում՝ բարձր ջերմաստիճանի, վակուումի կամ կոռոզիոն գազի պայմաններում:
Պատրաստված է բարձր մաքրության ալյումինի փոշուց, մշակված սառը իզոստատիկ սեղմման, բարձր ջերմաստիճանի սինտերացման և ճշգրիտ մշակման միջոցով, այն կարող է հասնել ±0.001 մմ չափսերի հանդուրժողականության, մակերեսի մշակման Ra 0.1, ջերմաստիճանի դիմադրության 1600℃:
-
Կիսահաղորդչային սարքավորումների կերամիկական պահեստամասեր
Ձևավորված սառը իզոստատիկ սեղմմամբ և բարձր ջերմաստիճանի տակ սինթեզված, այնուհետև ճշգրիտ մեքենայացված և հղկված կերամիկական պահեստամասերը կարող են բավարարել կիսահաղորդչային սարքավորումների ցանկացած խիստ պահանջ՝ մաշվածության դիմադրության, կոռոզիայի դիմադրության, ցածր ջերմային ընդարձակման և մեկուսացման առանձնահատկություններով: Կերամիկան կարող է երկար ժամանակ օգտագործվել կիսահաղորդչային արտադրության բազմաթիվ սարքավորումներում՝ բարձր ջերմաստիճանի, վակուումի կամ կոռոզիոն գազի պայմաններում:
Պատրաստված է բարձր մաքրության ալյումինի փոշուց, մշակված սառը իզոստատիկ սեղմման, բարձր ջերմաստիճանի սինտերացման և ճշգրիտ մշակման միջոցով, այն կարող է հասնել ±0.001 մմ չափսերի հանդուրժողականության, մակերեսի մշակման Ra 0.1, ջերմաստիճանի դիմադրության 1600℃:
-
Բարձր մաքրության ալյումինե կերամիկական կնքման օղակ բարձր ջերմաստիճանի խցիկի կնքման համար
St.Cera-ի կերամիկական կնքման օղակը նախագծված է որպես պոլիմերային O-օղակների այլընտրանք ծայրահեղ միջավայրերում, որտեղ էլաստոմերները քայքայվում են: Պատրաստված 99.8% բարձր մաքրության ալյումինից (Al₂O₃), այս կոշտ կնքման օղակը օգտագործվում է ստատիկ կնքման կիրառություններում՝ սովորաբար զուգակցված փափուկ մետաղի կամ գրաֆիտային միջադիրի հետ՝ մինչև 800°C ջերմաստիճաններում և ագրեսիվ պլազմային կամ քիմիական միջավայրերում հուսալի վակուում կամ գազի պահպանում ապահովելու համար: Նյութը ապահովում է զրոյական արտանետում, բարձր սեղմման ամրություն (հիմնական ճկման ամրություն՝ 361 ՄՊա) և քիմիական իներտություն (դիմակայուն է հալոգենների, թթուների և ալկալիների նկատմամբ, բացառությամբ HF-ի): Ճշգրիտ շերտավորված կնքման մակերեսները (հարթություն ≤5 մկմ, մակերեսի կոպտություն Ra ≤0.2 մկմ) ապահովում են արտահոսքից պաշտպանված շփում զուգակցվող մետաղական կամ կերամիկական բաղադրիչների հետ:
-
Բարձր մաքրության ալյումինե խցիկի ֆոկուսային օղակ պլազմային փորագրման և CVD համակարգերի համար
St.Cera-ի խցիկի ֆոկուսային օղակը կարևորագույն տեխնոլոգիական հավաքածուի բաղադրիչ է, որն օգտագործվում է պլազմային փորագրման, CVD և PVD կիսահաղորդչային սարքավորումներում: Պատրաստված 99.8% բարձր մաքրության ալյումինից (Al₂O₃), օղակը շրջապատում է վաֆլիի եզրը՝ պլազման սահմանափակելու և իոնների անկյունային բաշխումը օպտիմալացնելու համար, դրանով իսկ բարելավելով փորագրման միատարրությունը վաֆլիի մակերեսին: Նյութը առաջարկում է բացառիկ պլազմային դիմադրություն, բարձր դիէլեկտրիկ ամրություն (15×10⁶ V/մ) և ջերմային կայունություն մինչև 1600°C, ապահովելով երկարատև հուսալիություն ֆտորի կամ քլորի վրա հիմնված ագրեսիվ պլազմային միջավայրերում: Ճշգրիտ հղկված ID/OD-ն և հարթությունը (≤10 մկմ) հնարավորություն են տալիս վաֆլիի եզրի ճշգրիտ դիրքավորում, նվազեցնելով եզրի արատները և մասնիկների առաջացումը:
-
Բարձր մաքրության ալյումինե կերամիկական օղակ CVD / PVD պրոցեսային խցիկների համար
St.Cera-ի կերամիկական օղակը հատուկ նախագծված է CVD (քիմիական գոլորշու նստեցում) և PVD (ֆիզիկական գոլորշու նստեցում) պրոցեսային խցիկներում օգտագործելու համար: Պատրաստված 99.8% բարձր մաքրության ալյումինից (Al₂O₃), այս օղակը ծառայում է որպես խցիկի ծածկույթ, ֆոկուսային օղակ կամ պրոցեսային հավաքածուի բաղադրիչ՝ պլազման սահմանափակելու և խցիկի պատերը էրոզիայից պաշտպանելու համար: Նյութը առաջարկում է գերազանց պլազմային դիմադրություն, բարձր դիէլեկտրիկ ամրություն (15×10⁶ V/մ) և ջերմային կայունություն մինչև 1600°C, ապահովելով երկարատև ծառայության ժամկետ ֆտորի վրա հիմնված ագրեսիվ պլազմային միջավայրերում: Չափերի ճշգրիտ շեղումները (±0.05 մմ ներքին/արտաքին մակերեսի վրա) և հարթությունը (≤10 մկմ) հնարավորություն են տալիս ապահովել վաֆլիի եզրերի կայուն դիրքավորում, բարելավել նստեցման միատարրությունը և նվազեցնել մասնիկների առաջացումը:
-
Բեռնուլիի կերամիկական ծայրային էֆեկտոր — Նուրբ և փխրուն վաֆլիների համար նախատեսված անհպումային մշակում
St.Cera-ի Bernoulli կերամիկական ծայրային էֆեկտորը օգտագործում է աերոդինամիկ վերելակ՝ վաֆլիները առանց ֆիզիկական շփման կարգավորելու համար: Պատրաստված լինելով բարձր մաքրության 99.8% ալյումինից (Al₂O₃) կամ սիլիցիումի կարբիդից (SiC), այն ունի ճշգրիտ մշակված ծայրակալներ, որոնք արտանետում են ճնշման տակ գտնվող գազ՝ ծայրային էֆեկտորի և վաֆլիի միջև ստեղծելով բարակ օդային թաղանթ: Այս անհպում սկզբունքը վերացնում է հետևի մասի աղտոտումը, եզրերի ճաքճքումը և մակերեսային վնասը, դարձնելով այն իդեալական բարակ (≤100 մկմ), փխրուն կամ ծռված վաֆլիների համար: Կերամիկական հիմքը ապահովում է բարձր ճկման ամրություն (361 ՄՊա Al₂O₃-ի համար, մինչև 550–600 ՄՊա SiC-ի համար), ցածր զանգված և գերազանց չափսերի կայունություն, ապահովելով կրկնվող դիրքավորում բարձր արագությամբ վաֆլի փոխանցման ռոբոտներում:
