-
Pwosesis Customized nan Al2O3 Seramik Wafer Chuck
Fòme pa presyon izostatik frèt epi sinterize anba tanperati ki wo, answit machin ak poli avèk presizyon, pyès rezèv seramik yo ka satisfè nenpòt egzijans strik ekipman semi-kondiktè grasa karakteristik rezistans mete, rezistans korozyon, ekspansyon tèmik ki ba, ak izolasyon. Seramik yo ka travay nan plizyè kalite ekipman pwodiksyon semi-kondiktè nan kondisyon tanperati ki wo, vakyòm oswa gaz koroziv pou yon tan long.
Fèt ak poud aliminyòm ki gen anpil pite, trete pa presyon izostatik frèt, sinterizasyon tanperati ki wo ak fini presizyon, li te kapab rive nan tolerans dimansyon ±0.001 mm, fini sifas Ra 0.1, rezistans tanperati 1600 ℃.
-
Plak seramik pou ekipman semi-kondiktè ST.CERA Customized
Fòme pa presyon izostatik frèt epi sinterize anba tanperati ki wo, answit machin ak poli avèk presizyon, pyès rezèv seramik yo ka satisfè nenpòt egzijans strik ekipman semi-kondiktè grasa karakteristik rezistans mete, rezistans korozyon, ekspansyon tèmik ki ba, ak izolasyon. Seramik yo ka travay nan plizyè kalite ekipman pwodiksyon semi-kondiktè nan kondisyon tanperati ki wo, vakyòm oswa gaz koroziv pou yon tan long.
Fèt ak poud aliminyòm ki gen anpil pite, trete pa presyon izostatik frèt, sinterizasyon tanperati ki wo ak fini presizyon, li te kapab rive nan tolerans dimansyon ±0.001 mm, fini sifas Ra 0.1, rezistans tanperati 1600 ℃.
-
Mandrin vakyòm aliminyòm 12 pous pou pwosesis wafer 300mm
Mandrin vakyòm 12 pous St.Cera a fabrike avèk presizyon ak 99.8% aliminyòm pite segondè (Al₂O₃) pou manyen waf 300mm. Mandrin lan gen yon sifas ak rainur amann (lajè rainur 0.5–1.0 mm, pant 2–3 mm) pou asire yon distribisyon vakyòm inifòm sou tout dyamèt 300mm lan. Planite a kenbe nan 5 μm, sa ki pèmèt yon fiksasyon waf san defòmasyon pandan koupe an ti moso, fanm dèyè, ak enspeksyon. Gwo rezistans fleksyon materyèl la (361 MPa) ak dite li (16 GPa) garanti estabilite dimansyonèl alontèm menm anba sik vakyòm repete.
-
Efektè Fen Seramik Alumina ak Chanèl Vakyòm Entegre
Efektè final vakyòm aliminyòm St.Cera a entegre kanal vakyòm ak twou aspirasyon ki fèt ak presizyon dirèkteman nan kò aliminyòm 99.8% pite segondè a. Konsepsyon sa a elimine kousinen vakyòm ekstèn, sa ki pèmèt yon ramasaj dirèk sou waf la ak yon fòs kenbe inifòm. Segondè rezistans fleksyon materyèl la (361 MPa) ak dite li (16 GPa) asire estabilite dimansyonèl alontèm anba sik vakyòm repete. Planite atravè zòn kousinen an kenbe nan 10 μm, sa ki anpeche estrès sou waf la ak kraze. Pò vakyòm yo sitiye nan flanj montaj dèyè a pou yon entegrasyon fasil ak bra robo OEM yo.
-
Pyès seramik aliminyòm ki an sekirite kont elektrisite statik pou manyen waf sansib a elektrisite statik
Pati seramik aliminyòm St.Cera ki an sekirite kont ESD (dechaj elektwostatik) yo fabrike ak 99.8% Al₂O₃ ki gen yon gwo pite ak yon rezistivite sifas pèsonalize 10⁶–10⁹ Ω/sq, ki reyalize atravè yon pwosesis dopan oswa kouch propriétaires. Pati sa yo efektivman disipe chaj estatik, anpeche domaj elektwostatik sou waf ak aparèy semikondiktè sansib yo. Materyèl baz la kenbe gwo rezistans fleksyon li (361 MPa), dite li (16 GPa), ak fòs dyelèktrik li (15×10⁶ V/m). Pati seramik ki an sekirite kont ESD yo enkli efèktè fen, peny leve, ray gid, ak enstalasyon pèsonalize pou automatisation FAB.
-
Pyès Rezèv Seramik pou Ekipman Sond Semi-kondiktè
Fòme pa presyon izostatik frèt epi sinterize anba tanperati ki wo, answit machin ak poli avèk presizyon, pyès rezèv seramik yo ka satisfè nenpòt egzijans strik ekipman semi-kondiktè grasa karakteristik rezistans mete, rezistans korozyon, ekspansyon tèmik ki ba, ak izolasyon. Seramik yo ka travay nan plizyè kalite ekipman pwodiksyon semi-kondiktè nan kondisyon tanperati ki wo, vakyòm oswa gaz koroziv pou yon tan long.
Fèt ak poud aliminyòm ki gen anpil pite, trete pa presyon izostatik frèt, sinterizasyon tanperati ki wo ak fini presizyon, li te kapab rive nan tolerans dimansyon ±0.001 mm, fini sifas Ra 0.1, rezistans tanperati 1600 ℃.
-
Transpòtè Ekipman Semi-kondiktè Plak Seramik
Fòme pa presyon izostatik frèt epi sinterize anba tanperati ki wo, answit machin ak poli avèk presizyon, pyès rezèv seramik yo ka satisfè nenpòt egzijans strik ekipman semi-kondiktè grasa karakteristik rezistans mete, rezistans korozyon, ekspansyon tèmik ki ba, ak izolasyon. Seramik yo ka travay nan plizyè kalite ekipman pwodiksyon semi-kondiktè nan kondisyon tanperati ki wo, vakyòm oswa gaz koroziv pou yon tan long.
Fèt ak poud aliminyòm ki gen anpil pite, trete pa presyon izostatik frèt, sinterizasyon tanperati ki wo ak fini presizyon, li te kapab rive nan tolerans dimansyon ±0.001 mm, fini sifas Ra 0.1, rezistans tanperati 1600 ℃.
-
Pyès rezèv seramik pou ekipman semi-kondiktè
Fòme pa presyon izostatik frèt epi sinterize anba tanperati ki wo, answit machin ak poli avèk presizyon, pyès rezèv seramik yo ka satisfè nenpòt egzijans strik ekipman semi-kondiktè grasa karakteristik rezistans mete, rezistans korozyon, ekspansyon tèmik ki ba, ak izolasyon. Seramik yo ka travay nan plizyè kalite ekipman pwodiksyon semi-kondiktè nan kondisyon tanperati ki wo, vakyòm oswa gaz koroziv pou yon tan long.
Fèt ak poud aliminyòm ki gen anpil pite, trete pa presyon izostatik frèt, sinterizasyon tanperati ki wo ak fini presizyon, li te kapab rive nan tolerans dimansyon ±0.001 mm, fini sifas Ra 0.1, rezistans tanperati 1600 ℃.
-
Bag sele seramik aliminyòm ki gen gwo pite pou sele chanm ki gen gwo tanperati
Bag sele seramik St.Cera a fèt kòm yon altènativ a bag O-ring polymère nan anviwònman ekstrèm kote elastomè yo degrade. Fabrike ak 99.8% aliminyòm pite segondè (Al₂O₃), bag sele rijid sa a itilize nan aplikasyon sele estatik — tipikman asosye avèk yon metal mou oswa grafit jwenti — pou bay yon vakyòm serye oswa yon konfinman gaz nan tanperati jiska 800°C ak nan anviwònman plasma oswa chimik agresif. Materyèl la ofri zewo degajman gaz, gwo fòs konpresiv (fòs fleksyon fondamantal 361 MPa), ak inèsi chimik (rezistan a alojèn, asid, ak alkali eksepte HF). Sifas sele ki sipèpoze avèk presizyon (planite ≤5 μm, aspè sifas Ra ≤0.2 μm) asire yon kontak ki pa koule ak konpozan metal oswa seramik ki kwaze yo.
-
Bag Konsantrasyon Chanm Alumina ki gen Gwo Pite pou Sistèm Gravure Plasma ak CVD
Bag konsantrasyon chanm St.Cera a se yon konpozan twous pwosesis kritik yo itilize nan ekipman semi-kondiktè grave plasma, CVD, ak PVD. Fabrike ak 99.8% aliminyòm pite segondè (Al₂O₃), bag la antoure kwen waf la pou limite plasma a epi optimize distribisyon angilè iyon an, kidonk amelyore inifòmite grave sou tout sifas waf la. Materyèl la ofri yon rezistans plasma eksepsyonèl, yon fòs dyelèktrik segondè (15 × 10⁶ V/m), ak estabilite tèmik jiska 1600 °C, sa ki asire fyab alontèm nan anviwònman plasma agresif ki baze sou fliyò oswa klò. ID/OD ak platite ki byen file ak presizyon (≤10 μm) pèmèt yon pozisyonman egzat nan kwen waf la, sa ki diminye domaj kwen yo ak jenerasyon patikil.
-
Bag seramik aliminyòm ki gen gwo pite pou chanm pwosesis CVD / PVD
Bag seramik St.Cera a fèt espesyalman pou itilize nan chanm pwosesis CVD (Depozisyon Vapè Chimik) ak PVD (Depozisyon Vapè Fizik). Fabrike ak 99.8% aliminyòm pite segondè (Al₂O₃), bag sa a sèvi kòm yon revètman chanm, bag konsantrasyon, oswa konpozan twous pwosesis pou limite plasma epi pwoteje mi chanm yo kont ewozyon. Materyèl la ofri ekselan rezistans plasma, gwo fòs dyelèktrik (15×10⁶ V/m), ak estabilite tèmik jiska 1600°C, sa ki asire yon lavi sèvis ki long nan anviwònman plasma agresif ki baze sou fliyò. Tolerans dimansyonèl presi (±0.05 mm sou ID/OD) ak platite (≤10 μm) pèmèt yon pozisyonman konsistan nan kwen waf la, amelyore inifòmite depo a epi diminye jenerasyon patikil.
-
Efèktè Final Seramik Bernoulli — Manyen Wafer San Kontak pou Wafer Mens ak Frajil
Efektè final seramik Bernoulli St.Cera a itilize yon leve ayewodinamik pou manyen waf yo san kontak fizik. Li fabrike ak aliminyòm 99.8% (Al₂O₃) oswa carbure silikon (SiC) ki gen yon gwo pite, li gen bouch ki fèt ak presizyon ki voye gaz anba presyon pou kreye yon fim lè mens ant efèktè final la ak waf la. Prensip san kontak sa a elimine kontaminasyon dèyè, fann kwen, ak domaj sifas, sa ki fè li ideyal pou waf mens (≤100 μm), frajil, oswa defòme. Substra seramik la bay yon gwo rezistans fleksyon (361 MPa pou Al₂O₃; jiska 550–600 MPa pou SiC), yon mas ki ba, ak yon ekselan estabilite dimansyonèl, sa ki asire yon pozisyonman repetitif nan robo transfè waf ki gen gwo vitès.
