-
Al2O3 керамикалык пластиналуу чаканы жекече иштетүү
Муздак изостатикалык пресстөө жана жогорку температурада блендерлөө жолу менен калыптанган, андан кийин так иштетилген жана жылмаланган керамикалык запастык бөлүктөрү эскирүүгө туруктуулук, коррозияга туруктуулук, төмөнкү жылуулук кеңейүү жана изоляция сыяктуу өзгөчөлүктөрү менен жарым өткөргүч жабдуулардын ар кандай катуу талаптарына жооп бере алат. Керамика жогорку температура, вакуум же дат басуучу газ шартында көптөгөн түрдөгү жарым өткөргүч өндүрүш жабдууларында узак убакыт бою иштей алат.
Жогорку тазалыктагы глинозем порошогунан жасалган, муздак изостатикалык пресстөө, жогорку температурада бышыруу жана тактык менен иштетүү жолу менен иштетилген, ал ±0,001 мм өлчөмүнө чейин чыдамдуулукка, бетинин Ra 0,1 бетине жана температурага туруктуулук 1600℃ чейин жетиши мүмкүн.
-
ST.CERA Жарым өткөргүч жабдууларынын керамикалык плитасына ылайыкташтырылган
Муздак изостатикалык пресстөө жана жогорку температурада блендерлөө жолу менен калыптанган, андан кийин так иштетилген жана жылмаланган керамикалык запастык бөлүктөрү эскирүүгө туруктуулук, коррозияга туруктуулук, төмөнкү жылуулук кеңейүү жана изоляция сыяктуу өзгөчөлүктөрү менен жарым өткөргүч жабдуулардын ар кандай катуу талаптарына жооп бере алат. Керамика жогорку температура, вакуум же дат басуучу газ шартында көптөгөн түрдөгү жарым өткөргүч өндүрүш жабдууларында узак убакыт бою иштей алат.
Жогорку тазалыктагы глинозем порошогунан жасалган, муздак изостатикалык пресстөө, жогорку температурада бышыруу жана тактык менен иштетүү жолу менен иштетилген, ал ±0,001 мм өлчөмүнө чейин чыдамдуулукка, бетинин Ra 0,1 бетине жана температурага туруктуулук 1600℃ чейин жетиши мүмкүн.
-
300 мм пластиналарды иштетүү үчүн 12 дюймдук алюминий кычкылынан жасалган вакуумдук патрон
St.Cera компаниясынын 12 дюймдук вакуум патрону 300 мм пластиналарды иштетүү үчүн 99,8% жогорку тазалыктагы алюминий кычкылынан (Al₂O₃) тактык менен жасалган. Патрондун бети майда оюктарга ээ (ойуктун туурасы 0,5–1,0 мм, кадамы 2–3 мм), бул 300 мм диаметр боюнча вакуумдун бирдей бөлүштүрүлүшүн камсыз кылат. Тегиздик 5 мкм чегинде сакталат, бул пластинаны кесүү, арткы бетин майдалоо жана текшерүү учурунда кыйшыктыксыз бекитүүгө мүмкүндүк берет. Материалдын жогорку ийилүүгө туруктуулугу (361 МПа) жана катуулугу (16 ГПа) кайталанган вакуум циклдеринде да узак мөөнөттүү өлчөмдүү туруктуулукту кепилдейт.
-
Интеграцияланган вакуумдук каналдары бар глиноземдик керамикалык эффектор
St.Cera компаниясынын алюминий кычкылынын вакуумдук эффектору так иштетилген вакуумдук каналдарды жана соргуч тешиктерди түз эле 99,8% жогорку тазалыктагы алюминий кычкылынын корпусуна бириктирет. Бул дизайн тышкы вакуумдук төшөмөлөрдү жокко чыгарат, бул пластинаны түз кармоо күчү менен алууга мүмкүндүк берет. Материалдын жогорку ийилүүчү күчү (361 МПа) жана катуулугу (16 ГПа) кайталанган вакуумдук циклдерде узак мөөнөттүү өлчөмдүү туруктуулукту камсыз кылат. Төшөмөнүн аянтындагы тегиздик 10 мкм чегинде сакталат, бул пластинанын чыңалуусунун жана сынуусунун алдын алат. OEM робот колдору менен оңой интеграциялоо үчүн вакуумдук порттор арткы орнотуу фланецинде жайгашкан.
-
Статикалык сезгич пластиналарды иштетүү үчүн ESD-коопсуз глиноземдик керамикалык тетиктер
St.Cera компаниясынын ESD (электростатикалык разряд) үчүн коопсуз алюминий кычкылынын керамикалык бөлүктөрү 99,8% жогорку тазалыктагы Al₂O₃дон жасалат, ал 10⁶–10⁹ Ω/кв беттик каршылыгы менен жекече легирлөө же каптоо процесси аркылуу жетишилет. Бул бөлүктөрү статикалык зарядды натыйжалуу жок кылат, сезгич жарым өткөргүч пластиналарга жана түзүлүштөргө электростатикалык зыяндын алдын алат. Негизги материал жогорку ийилүүчү бекемдигин (361 МПа), катуулугун (16 ГПа) жана диэлектрикалык бекемдигин (15 × 10⁶ В/м) сактайт. ESD үчүн коопсуз керамикалык бөлүктөргө учтук эффекторлор, көтөргүч төөнөгүчтөр, багыттагыч рельстер жана FAB автоматташтыруу үчүн атайын орнотмолор кирет.
-
Жарым өткөргүч зонд жабдуулары үчүн керамикалык запастык бөлүктөр
Муздак изостатикалык пресстөө жана жогорку температурада блендерлөө жолу менен калыптанган, андан кийин так иштетилген жана жылмаланган керамикалык запастык бөлүктөрү эскирүүгө туруктуулук, коррозияга туруктуулук, төмөнкү жылуулук кеңейүү жана изоляция сыяктуу өзгөчөлүктөрү менен жарым өткөргүч жабдуулардын ар кандай катуу талаптарына жооп бере алат. Керамика жогорку температура, вакуум же дат басуучу газ шартында көптөгөн түрдөгү жарым өткөргүч өндүрүш жабдууларында узак убакыт бою иштей алат.
Жогорку тазалыктагы глинозем порошогунан жасалган, муздак изостатикалык пресстөө, жогорку температурада бышыруу жана тактык менен иштетүү жолу менен иштетилген, ал ±0,001 мм өлчөмүнө чейин чыдамдуулукка, бетинин Ra 0,1 бетине жана температурага туруктуулук 1600℃ чейин жетиши мүмкүн.
-
Керамикалык плита жарым өткөргүч жабдууларын ташуучу
Муздак изостатикалык пресстөө жана жогорку температурада блендерлөө жолу менен калыптанган, андан кийин так иштетилген жана жылмаланган керамикалык запастык бөлүктөрү эскирүүгө туруктуулук, коррозияга туруктуулук, төмөнкү жылуулук кеңейүү жана изоляция сыяктуу өзгөчөлүктөрү менен жарым өткөргүч жабдуулардын ар кандай катуу талаптарына жооп бере алат. Керамика жогорку температура, вакуум же дат басуучу газ шартында көптөгөн түрдөгү жарым өткөргүч өндүрүш жабдууларында узак убакыт бою иштей алат.
Жогорку тазалыктагы глинозем порошогунан жасалган, муздак изостатикалык пресстөө, жогорку температурада бышыруу жана тактык менен иштетүү жолу менен иштетилген, ал ±0,001 мм өлчөмүнө чейин чыдамдуулукка, бетинин Ra 0,1 бетине жана температурага туруктуулук 1600℃ чейин жетиши мүмкүн.
-
Жарым өткөргүч жабдууларынын керамикалык запастык бөлүктөр
Муздак изостатикалык пресстөө жана жогорку температурада блендерлөө жолу менен калыптанган, андан кийин так иштетилген жана жылмаланган керамикалык запастык бөлүктөрү эскирүүгө туруктуулук, коррозияга туруктуулук, төмөнкү жылуулук кеңейүү жана изоляция сыяктуу өзгөчөлүктөрү менен жарым өткөргүч жабдуулардын ар кандай катуу талаптарына жооп бере алат. Керамика жогорку температура, вакуум же дат басуучу газ шартында көптөгөн түрдөгү жарым өткөргүч өндүрүш жабдууларында узак убакыт бою иштей алат.
Жогорку тазалыктагы глинозем порошогунан жасалган, муздак изостатикалык пресстөө, жогорку температурада бышыруу жана тактык менен иштетүү жолу менен иштетилген, ал ±0,001 мм өлчөмүнө чейин чыдамдуулукка, бетинин Ra 0,1 бетине жана температурага туруктуулук 1600℃ чейин жетиши мүмкүн.
-
Жогорку температурадагы камераны пломбалоо үчүн жогорку тазалыктагы глинозем керамикалык пломба шакекчеси
St.Cera компаниясынын керамикалык пломба шакеги эластомерлер бузулган экстремалдык чөйрөлөрдө полимердик О-шакектерге альтернатива катары иштелип чыккан. 99,8% жогорку тазалыктагы глиноземден (Al₂O₃) жасалган бул катуу пломба шакеги статикалык пломбалоо колдонмолорунда — адатта жумшак металл же графит прокладкасы менен жупташып — 800°C чейинки температурада жана агрессивдүү плазмалык же химиялык чөйрөлөрдө ишенимдүү вакуумдук же газды кармоону камсыз кылуу үчүн колдонулат. Материал нөлдүк газ бөлүп чыгарууну, жогорку кысуу күчүн (негизги ийилүү күчү 361 МПа) жана химиялык инерттүүлүктү (HFден башка галогендерге, кислоталарга жана щелочторго туруктуу) камсыз кылат. Тактык менен капталган пломбалоочу беттер (жалпактыгы ≤5 мкм, беттин оройлугу Ra ≤0,2 мкм) жупташкан металл же керамикалык компоненттер менен агып кетпей турган байланышты камсыз кылат.
-
Плазмалык оюу жана жүрөк-кан тамыр системалары үчүн жогорку тазалыктагы алюминий кычкыл камерасынын фокустук шакекчеси
St.Cera компаниясынын камералык фокустук шакеги плазмалык оюуда, CVD жана PVD жарым өткөргүч жабдууларында колдонулган маанилүү процесстик комплекттин компоненти болуп саналат. 99,8% жогорку тазалыктагы глиноземден (Al₂O₃) жасалган шакекче пластинанын четин курчап, плазманы чектеп, иондордун бурчтук бөлүштүрүлүшүн оптималдаштырып, ошону менен пластинанын бети боюнча оюунун бирдейлигин жакшыртат. Материал өзгөчө плазмалык каршылыкты, жогорку диэлектрикалык бекемдикти (15 × 10⁶ V/m) жана 1600°C чейин жылуулук туруктуулугун камсыз кылат, бул агрессивдүү фтор же хлор негизиндеги плазма чөйрөсүндө узак мөөнөттүү ишенимдүүлүктү камсыз кылат. Тактык менен жерленген ID/OD жана тегиздик (≤10 мкм) пластинанын четин так жайгаштырууга мүмкүндүк берет, четинин кемчиликтерин жана бөлүкчөлөрдүн пайда болушун азайтат.
-
CVD / PVD процесстик камералары үчүн жогорку тазалыктагы глиноземдик керамикалык шакекче
St.Cera компаниясынын керамикалык шакекчеси CVD (Химиялык буу чөктүрүү) жана PVD (Физикалык буу чөктүрүү) процесстик камераларында колдонуу үчүн атайын иштелип чыккан. 99,8% жогорку тазалыктагы глиноземден (Al₂O₃) жасалган бул шакекче плазманы чектөө жана камеранын дубалдарын эрозиядан коргоо үчүн камеранын каптамасы, фокустук шакекче же процесстик комплекттин компоненти катары кызмат кылат. Материал плазмага эң сонун туруктуулукту, жогорку диэлектрикалык бекемдикти (15 × 10⁶ V/m) жана 1600°C чейин жылуулук туруктуулугун камсыз кылат, бул агрессивдүү фтор негизиндеги плазма чөйрөсүндө узак кызмат мөөнөтүн камсыз кылат. Так өлчөмдүү толеранттуулуктар (ID/OD боюнча ±0,05 мм) жана тегиздик (≤10 мкм) пластинанын четин ырааттуу жайгаштырууга мүмкүндүк берет, чөкмөнүн бирдейлигин жакшыртат жана бөлүкчөлөрдүн пайда болушун азайтат.
-
Бернулли керамикалык уч эффектору — жука жана морт пластиналар үчүн контактсыз пластина менен иштөө
St.Cera компаниясынын Бернулли керамикалык уч эффектору пластиналарды физикалык байланышсыз иштетүү үчүн аэродинамикалык көтөрүүнү колдонот. Жогорку тазалыктагы 99,8% глиноземден (Al₂O₃) же кремний карбидинен (SiC) жасалган ал так иштетилген соплолорго ээ, алар уч эффектор менен пластинанын ортосунда жука аба пленкасын түзүү үчүн басымдуу газды чыгарат. Бул байланышсыз принцип арткы бетинин булганышын, четинин сынып кетишин жана беттин бузулушун жок кылат, бул аны жука (≤100 мкм), морт же кыйшык пластиналар үчүн идеалдуу кылат. Керамикалык субстрат жогорку ийилүүчү бекемдикти (Al₂O₃ үчүн 361 МПа; SiC үчүн 550–600 МПа чейин), аз массалык жана эң сонун өлчөмдүү туруктуулукту камсыз кылат, бул жогорку ылдамдыктагы пластиналарды которуу роботторунда кайталануучу жайгаштырууну камсыз кылат.
