-
Personnaliséiert Veraarbechtung vun Al2O3 Keramik Wafer Chuck
Duerch kal isostatesch Pressen a Sinter bei héijer Temperatur, duerno präzis veraarbecht a poléiert, kënnen déi keramesch Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen mat hire Charakteristike wéi Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun. Keramik kann a ville Aarte vun Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
ST.CERA personaliséiert Semiconductor Equipment Keramikplack
Duerch kal isostatesch Pressen a Sinter bei héijer Temperatur, duerno präzis veraarbecht a poléiert, kënnen déi keramesch Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen mat hire Charakteristike wéi Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun. Keramik kann a ville Aarte vun Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
12-Zoll Aluminiumoxid-Vakuumfutter fir 300 mm Waferveraarbechtung
De 12-Zoll-Vakuumfutter vu St.Cera ass präzis aus 99,8% héichreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) fir d'Handhabung vu Waferen vun 300 mm hiergestallt. De Futter huet eng fein gerillte Uewerfläch (Rillbreet 0,5–1,0 mm, Steigung 2–3 mm), fir eng gläichméisseg Vakuumverdeelung iwwer den gesamten Duerchmiesser vun 300 mm ze garantéieren. D'Flaachheet gëtt bannent 5 μm erhalen, wat eng verzerrungsfräi Waferfixatioun beim Wierfelen, Réckschleifen an Inspektioun erméiglecht. Déi héich Biegefestigkeit (361 MPa) an d'Häert (16 GPa) vum Material garantéieren eng laangfristeg Dimensiounsstabilitéit och bei widderhollte Vakuumzyklen.
-
Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor mat integréierte Vakuumkanäl
Den Aluminiumoxid-Vakuum-Endeffektor vu St.Cera integréiert präzis veraarbechte Vakuumkanäl a Sauglächer direkt an de Kierper aus 99,8% héichreinem Aluminiumoxid. Dësen Design eliminéiert extern Vakuumpads a erméiglecht eng direkt Wafer-Opnahm mat enger gläichméisseger Haltkraaft. Déi héich Biegefestigkeit (361 MPa) an d'Häert (16 GPa) vum Material garantéieren eng laangfristeg Dimensiounsstabilitéit bei widderhollte Vakuumzyklen. D'Flaachheet iwwer d'Padfläch gëtt bannent 10 μm erhalen, wat Waferstress a Broch verhënnert. Vakuumports sinn um hënneschte Montageflansch fir eng einfach Integratioun mat OEM-Roboteräerm placéiert.
-
ESD-sécher Aluminiumoxid-Keramikdeeler fir statesch empfindlech Waferbehandlung
D'ESD-sécher Aluminiumoxid-Keramikdeeler vu St.Cera gi mat engem speziellen Uewerflächenwiderstand vun 10⁶–10⁹ Ω/sq hiergestallt, deen duerch e propriétaire Dotier- oder Beschichtungsprozess erreecht gëtt. Dës Deeler leeden effektiv statesch Ladung of a verhënneren elektrostatesch Schied un empfindleche Hallefleederwaferen an -komponenten. De Basismaterial behält seng héich Biegefestigkeit (361 MPa), Häert (16 GPa) a dielektresch Festigkeit (15×10⁶ V/m). ESD-sécher Keramikdeeler enthalen Endeffektoren, Liftstiften, Führungsschinnen a speziell Befestigungen fir d'FAB-Automatiséierung.
-
Keramik Ersatzdeeler fir Hallefleiter-Sondenausrüstung
Duerch kal isostatesch Pressen a Sinter bei héijer Temperatur, duerno präzis veraarbecht a poléiert, kënnen déi keramesch Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen mat hire Charakteristike wéi Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun. Keramik kann a ville Aarte vun Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
Keramikplack Hallefleiter Ausrüstungsträger
Duerch kal isostatesch Pressen a Sinter bei héijer Temperatur, duerno präzis veraarbecht a poléiert, kënnen déi keramesch Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen mat hire Charakteristike wéi Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun. Keramik kann a ville Aarte vun Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
Ersatzdeeler fir Keramik fir Hallefleiterausrüstung
Duerch kal isostatesch Pressen a Sinter bei héijer Temperatur, duerno präzis veraarbecht a poléiert, kënnen déi keramesch Ersatzdeeler all streng Ufuerderunge vun Hallefleederausrüstung erfëllen mat hire Charakteristike wéi Verschleißbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, gerénger thermescher Expansioun an Isolatioun. Keramik kann a ville Aarte vun Hallefleederproduktiounsausrüstung ënner Bedingunge vun héijer Temperatur, Vakuum oder korrosivem Gas fir eng laang Zäit funktionéieren.
Gemaach aus héichreinem Aluminiumoxidpulver, veraarbecht duerch kal isostatesch Pressen, Héichtemperatursinteren a Präzisiounsveraarbechtung, kann et eng Dimensiounstoleranz vun ±0,001 mm erreechen, eng Uewerflächenfinish Ra 0,1 an eng Temperaturbeständegkeet vun 1600 ℃.
-
Héichreinheetsaluminiumoxid-Keramik-Dichtungsring fir Héichtemperaturkammerdichtung
De Keramik-Dichtungsring vu St.Cera ass als Alternativ zu Polymer-O-Réng an extremen Ëmfeld entwéckelt, wou Elastomere sech ofbauen. Dëse steife Dichtungsring, deen aus 99,8% héichreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) hiergestallt gëtt, gëtt a statesche Dichtungsapplikatiounen agesat - typescherweis a Kombinatioun mat enger mëller Metall- oder Graphitdichtung - fir eng zouverlässeg Vakuum- oder Gaseinhaltung bei Temperaturen bis zu 800°C an an aggressiven Plasma- oder chemeschen Ëmfeld ze garantéieren. D'Material bitt keng Ausgasung, eng héich Drockfestigkeit (ënnerläit Biegefestigkeit 361 MPa) a chemesch Inertitéit (resistent géint Halogenen, Säuren an Alkalien ausser HF). Präzisiounsgeschliffene Dichtungsflächen (Flaachheet ≤5 μm, Uewerflächenrauheet Ra ≤0,2 μm) garantéieren e leckdichte Kontakt mat de passenden Metall- oder Keramikkomponenten.
-
Fokusring vun der héichreineger Aluminiumoxidkammer fir Plasmaätz- a CVD-Systemer
De Fokusring vum St.Cera-Kammer ass eng wichteg Komponent vum Prozesskit, déi a Plasmaätzungs-, CVD- a PVD-Hallefleederausrüstung benotzt gëtt. De Rank, deen aus 99,8% héichreinegem Aluminiumoxid (Al₂O₃) hiergestallt gëtt, ëmgëtt de Waferrand fir de Plasma anzeschléissen an d'Ionenwénkelverdeelung ze optimiséieren, wouduerch d'Ätzuniformitéit iwwer d'Waferuewerfläch verbessert gëtt. D'Material bitt aussergewéinleche Plasmawiderstand, héich dielektresch Stäerkt (15×10⁶ V/m) an thermesch Stabilitéit bis zu 1600°C, wat eng laangfristeg Zouverlässegkeet an aggressiven Fluor- oder Chlor-baséierte Plasmaëmfeld garantéiert. Präzisiounsgeschliffene ID/OD a Flaachheet (≤10 μm) erméiglechen eng genee Positionéierung vum Waferrand, wat Kantdefekter a Partikelgeneratioun reduzéiert.
-
Héichreine Aluminiumoxid Keramikring fir CVD / PVD Prozesskammeren
De Keramikrank vu St.Cera ass speziell fir de Gebrauch a CVD (Chemical Vapor Deposition) a PVD (Physical Vapor Deposition) Prozesskammeren entwéckelt. Dëse Rank, deen aus 99,8% héichreinegem Aluminiumoxid (Al₂O₃) hiergestallt gëtt, déngt als Kammerausschluss, Fokusrank oder Prozesskitkomponent fir de Plasma ofzesécheren an d'Kammerkabänner virun Erosioun ze schützen. D'Material bitt exzellente Plasmawiderstand, héich dielektresch Stäerkt (15×10⁶ V/m) an thermesch Stabilitéit bis zu 1600°C, wat eng laang Liewensdauer an aggressiven fluorbaséierte Plasmaëmfeld garantéiert. Präzis Dimensiounstoleranzen (±0,05 mm op der bannenzeger/bannenzeger Temperatur) a Flaachheet (≤10 μm) erméiglechen eng konsequent Waferkantpositionéierung, verbessert d'Oflagerungsuniformitéit an reduzéiert d'Partikelgeneratioun.
-
Bernoulli Keramik-Endeffektor — Kontaktlos Waferbehandlung fir dënn a fragil Waferen
De Bernoulli Keramik-Endeffektor vu St.Cera benotzt en aerodynamesche Lift fir Waferen ouni kierperleche Kontakt ze behandelen. Hie besteet aus héichreinem 99,8% Aluminiumoxid (Al₂O₃) oder Siliziumcarbid (SiC) a verfüügt iwwer präzis veraarbechte Düsen, déi Drockgas ausstoussen, fir e dënne Loftfilm tëscht dem Endeffektor an dem Wafer ze kreéieren. Dëst kontaktlos Prinzip eliminéiert Kontaminatioun op der Récksäit, Ofsplitterungen um Rand a Schued un der Uewerfläch, wat en ideal fir dënn (≤100 μm), fragil oder verzerrt Waferen mécht. De Keramiksubstrat bitt eng héich Biegefestigkeit (361 MPa fir Al₂O₃; bis zu 550–600 MPa fir SiC), eng niddreg Mass an eng exzellent Dimensiounsstabilitéit, wat eng widderhuelbar Positionéierung a Schnellwafertransferroboter garantéiert.
