-
Al2O3 सिरेमिक वेफर चकको अनुकूलित प्रशोधन
चिसो आइसोस्टेटिक प्रेसिंग द्वारा बनाईएको र उच्च तापक्रममा सिंटर गरिएको, त्यसपछि सटीक मेशिन र पालिश गरिएको, सिरेमिक स्पेयर पार्ट्सले अर्धचालक उपकरणको कुनै पनि कडा आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्छ जसको पहिरन प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध, कम थर्मल विस्तार, र इन्सुलेशन जस्ता सुविधाहरू छन्। सिरेमिकले लामो समयसम्म उच्च तापक्रम, भ्याकुम वा संक्षारक ग्यासको अवस्थामा धेरै प्रकारका अर्धचालक उत्पादन उपकरणहरूमा काम गर्न सक्छ।
उच्च-शुद्धता एल्युमिना पाउडरबाट बनेको, कोल्ड आइसोस्टेटिक प्रेसिंग, उच्च तापक्रम सिन्टरिंग र प्रेसिजन फिनिशिंग द्वारा प्रशोधन गरिएको, यो आयाम सहनशीलता ± ०.००१ मिमी, सतह फिनिश रा ०.१, तापमान प्रतिरोध १६०० ℃ सम्म पुग्न सक्छ।
-
ST.CERA अनुकूलित अर्धचालक उपकरण सिरेमिक प्लेट
चिसो आइसोस्टेटिक प्रेसिंग द्वारा बनाईएको र उच्च तापक्रममा सिंटर गरिएको, त्यसपछि सटीक मेशिन र पालिश गरिएको, सिरेमिक स्पेयर पार्ट्सले अर्धचालक उपकरणको कुनै पनि कडा आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्छ जसको पहिरन प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध, कम थर्मल विस्तार, र इन्सुलेशन जस्ता सुविधाहरू छन्। सिरेमिकले लामो समयसम्म उच्च तापक्रम, भ्याकुम वा संक्षारक ग्यासको अवस्थामा धेरै प्रकारका अर्धचालक उत्पादन उपकरणहरूमा काम गर्न सक्छ।
उच्च-शुद्धता एल्युमिना पाउडरबाट बनेको, कोल्ड आइसोस्टेटिक प्रेसिंग, उच्च तापक्रम सिन्टरिंग र प्रेसिजन फिनिशिंग द्वारा प्रशोधन गरिएको, यो आयाम सहनशीलता ± ०.००१ मिमी, सतह फिनिश रा ०.१, तापमान प्रतिरोध १६०० ℃ सम्म पुग्न सक्छ।
-
३०० मिमी वेफर प्रशोधनको लागि १२-इन्च एल्युमिना भ्याकुम चक
सेन्टसेराको १२ इन्चको भ्याकुम चक ३०० मिमी वेफर ह्यान्डलिङको लागि ९९.८% उच्च-शुद्धता एल्युमिना (Al₂O₃) बाट सटीक-इन्जिनियर गरिएको छ। चकमा ३०० मिमी व्यासमा एकरूप भ्याकुम वितरण सुनिश्चित गर्न फाइन-ग्रूभ्ड सतह (ग्रूभ चौडाइ ०.५–१.० मिमी, पिच २–३ मिमी) रहेको छ। ५ μm भित्र समतलता कायम राखिएको छ, जसले गर्दा डाइसिङ, ब्याकसाइड ग्राइन्डिङ र निरीक्षणको समयमा वार्प-मुक्त वेफर फिक्सेसन सक्षम हुन्छ। सामग्रीको उच्च फ्लेक्सरल बल (३६१ MPa) र कठोरता (१६ GPa) ले दोहोरिने भ्याकुम चक्रहरूमा पनि दीर्घकालीन आयामी स्थिरताको ग्यारेन्टी दिन्छ।
-
एकीकृत भ्याकुम च्यानलहरू सहितको एल्युमिना सिरेमिक एन्ड इफेक्टर
सेन्टसेराको एल्युमिना भ्याकुम एन्ड इफेक्टरले ९९.८% उच्च-शुद्धता एल्युमिना बडीमा सिधै प्रेसिजन-मेसिन गरिएको भ्याकुम च्यानलहरू र सक्शन होलहरूलाई एकीकृत गर्दछ। यो डिजाइनले बाह्य भ्याकुम प्याडहरूलाई हटाउँछ, एकसमान होल्डिंग बलको साथ प्रत्यक्ष वेफर पिकअप सक्षम पार्छ। सामग्रीको उच्च फ्लेक्सुरल शक्ति (३६१ MPa) र कठोरता (१६ GPa) ले दोहोरिने भ्याकुम चक्र अन्तर्गत दीर्घकालीन आयामी स्थिरता सुनिश्चित गर्दछ। प्याड क्षेत्रमा समतलता १० μm भित्र कायम राखिएको छ, वेफर तनाव र ब्रेकेजलाई रोक्छ। भ्याकुम पोर्टहरू OEM रोबोट आर्महरूसँग सजिलो एकीकरणको लागि पछाडिको माउन्टिंग फ्ल्यान्जमा अवस्थित छन्।
-
स्थिर-संवेदनशील वेफर ह्यान्डलिङको लागि ESD-सुरक्षित एल्युमिना सिरेमिक पार्ट्स
सेन्ट सेराको ESD (इलेक्ट्रोस्टेटिक डिस्चार्ज) सुरक्षित एल्युमिना सिरेमिक भागहरू ९९.८% उच्च-शुद्धता Al₂O₃ बाट निर्मित हुन्छन् जसको सतह प्रतिरोधकता १०⁶–१०⁹ Ω/वर्ग हुन्छ, जुन स्वामित्व डोपिङ वा कोटिंग प्रक्रिया मार्फत प्राप्त गरिन्छ। यी भागहरूले संवेदनशील अर्धचालक वेफर र उपकरणहरूमा इलेक्ट्रोस्टेटिक क्षतिलाई रोक्दै, स्थिर चार्जलाई प्रभावकारी रूपमा नष्ट गर्छन्। आधार सामग्रीले यसको उच्च लचिलो शक्ति (३६१ MPa), कठोरता (१६ GPa), र डाइइलेक्ट्रिक शक्ति (१५×१०⁶ V/m) कायम राख्छ। ESD-सुरक्षित सिरेमिक भागहरूमा अन्तिम प्रभावकहरू, लिफ्ट पिनहरू, गाइड रेलहरू, र FAB स्वचालनको लागि अनुकूल फिक्स्चरहरू समावेश छन्।
-
सेमीकन्डक्टर प्रोब उपकरणको लागि सिरेमिक स्पेयर पार्ट्स
चिसो आइसोस्टेटिक प्रेसिंग द्वारा बनाईएको र उच्च तापक्रममा सिंटर गरिएको, त्यसपछि सटीक मेशिन र पालिश गरिएको, सिरेमिक स्पेयर पार्ट्सले अर्धचालक उपकरणको कुनै पनि कडा आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्छ जसको पहिरन प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध, कम थर्मल विस्तार, र इन्सुलेशन जस्ता सुविधाहरू छन्। सिरेमिकले लामो समयसम्म उच्च तापक्रम, भ्याकुम वा संक्षारक ग्यासको अवस्थामा धेरै प्रकारका अर्धचालक उत्पादन उपकरणहरूमा काम गर्न सक्छ।
उच्च-शुद्धता एल्युमिना पाउडरबाट बनेको, कोल्ड आइसोस्टेटिक प्रेसिंग, उच्च तापक्रम सिन्टरिंग र प्रेसिजन फिनिशिंग द्वारा प्रशोधन गरिएको, यो आयाम सहनशीलता ± ०.००१ मिमी, सतह फिनिश रा ०.१, तापमान प्रतिरोध १६०० ℃ सम्म पुग्न सक्छ।
-
सिरेमिक प्लेट अर्धचालक उपकरण वाहक
चिसो आइसोस्टेटिक प्रेसिंग द्वारा बनाईएको र उच्च तापक्रममा सिंटर गरिएको, त्यसपछि सटीक मेशिन र पालिश गरिएको, सिरेमिक स्पेयर पार्ट्सले अर्धचालक उपकरणको कुनै पनि कडा आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्छ जसको पहिरन प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध, कम थर्मल विस्तार, र इन्सुलेशन जस्ता सुविधाहरू छन्। सिरेमिकले लामो समयसम्म उच्च तापक्रम, भ्याकुम वा संक्षारक ग्यासको अवस्थामा धेरै प्रकारका अर्धचालक उत्पादन उपकरणहरूमा काम गर्न सक्छ।
उच्च-शुद्धता एल्युमिना पाउडरबाट बनेको, कोल्ड आइसोस्टेटिक प्रेसिंग, उच्च तापक्रम सिन्टरिंग र प्रेसिजन फिनिशिंग द्वारा प्रशोधन गरिएको, यो आयाम सहनशीलता ± ०.००१ मिमी, सतह फिनिश रा ०.१, तापमान प्रतिरोध १६०० ℃ सम्म पुग्न सक्छ।
-
अर्धचालक उपकरण सिरेमिक स्पेयर पार्ट्स
चिसो आइसोस्टेटिक प्रेसिंग द्वारा बनाईएको र उच्च तापक्रममा सिंटर गरिएको, त्यसपछि सटीक मेशिन र पालिश गरिएको, सिरेमिक स्पेयर पार्ट्सले अर्धचालक उपकरणको कुनै पनि कडा आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्छ जसको पहिरन प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध, कम थर्मल विस्तार, र इन्सुलेशन जस्ता सुविधाहरू छन्। सिरेमिकले लामो समयसम्म उच्च तापक्रम, भ्याकुम वा संक्षारक ग्यासको अवस्थामा धेरै प्रकारका अर्धचालक उत्पादन उपकरणहरूमा काम गर्न सक्छ।
उच्च-शुद्धता एल्युमिना पाउडरबाट बनेको, कोल्ड आइसोस्टेटिक प्रेसिंग, उच्च तापक्रम सिन्टरिंग र प्रेसिजन फिनिशिंग द्वारा प्रशोधन गरिएको, यो आयाम सहनशीलता ± ०.००१ मिमी, सतह फिनिश रा ०.१, तापमान प्रतिरोध १६०० ℃ सम्म पुग्न सक्छ।
-
उच्च-तापमान चेम्बर सिलिङको लागि उच्च-शुद्धता एल्युमिना सिरेमिक सिल रिंग
सेन्ट सेराको सिरेमिक सिल रिंगलाई इलास्टोमरहरू घट्ने चरम वातावरणमा पोलिमर ओ-रिंगहरूको विकल्पको रूपमा डिजाइन गरिएको छ। ९९.८% उच्च-शुद्धता एल्युमिना (Al₂O₃) बाट निर्मित, यो कठोर सिल रिंग स्थिर सिलिङ अनुप्रयोगहरूमा प्रयोग गरिन्छ - सामान्यतया नरम धातु वा ग्रेफाइट ग्यास्केटसँग जोडिएको - ८००°C सम्मको तापक्रममा र आक्रामक प्लाज्मा वा रासायनिक वातावरणमा भरपर्दो भ्याकुम वा ग्यास कन्टेनमेन्ट प्रदान गर्न। सामग्रीले शून्य आउटग्यासिङ, उच्च कम्प्रेसिभ शक्ति (अन्तर्निहित फ्लेक्सुरल शक्ति ३६१ MPa), र रासायनिक जडत्व (HF बाहेक हलोजन, एसिड र क्षार प्रतिरोधी) प्रदान गर्दछ। प्रेसिजन-ल्याप गरिएको सिलिङ सतहहरू (समतलता ≤५ μm, सतहको खुरदरापन Ra ≤०.२ μm) ले मिलन धातु वा सिरेमिक घटकहरूसँग चुहावट-कडा सम्पर्क सुनिश्चित गर्दछ।
-
प्लाज्मा एच र सीभीडी प्रणालीहरूको लागि उच्च-शुद्धता एल्युमिना चेम्बर फोकस रिंग
सेन्ट सेराको चेम्बर फोकस रिङ प्लाज्मा इच, CVD, र PVD सेमीकन्डक्टर उपकरणहरूमा प्रयोग हुने एक महत्वपूर्ण प्रक्रिया किट घटक हो। ९९.८% उच्च-शुद्धता एल्युमिना (Al₂O₃) बाट निर्मित, रिङले प्लाज्मालाई सीमित गर्न र आयन कोणीय वितरणलाई अनुकूलन गर्न वेफर किनारालाई घेर्छ, जसले गर्दा वेफर सतहमा इच एकरूपतामा सुधार हुन्छ। सामग्रीले असाधारण प्लाज्मा प्रतिरोध, उच्च डाइइलेक्ट्रिक शक्ति (१५×१०⁶ V/m), र १६००°C सम्म थर्मल स्थिरता प्रदान गर्दछ, जसले आक्रामक फ्लोरिन- वा क्लोरिन-आधारित प्लाज्मा वातावरणमा दीर्घकालीन विश्वसनीयता सुनिश्चित गर्दछ। प्रेसिजन-ग्राउन्ड ID/OD र समतलता (≤१० μm) ले सही वेफर किनारा स्थिति सक्षम गर्दछ, किनारा दोषहरू र कण उत्पादन कम गर्दछ।
-
CVD / PVD प्रक्रिया कक्षहरूको लागि उच्च-शुद्धता एल्युमिना सिरेमिक रिंग
सेन्ट सेराको सिरेमिक रिंग विशेष गरी CVD (रासायनिक भाप निक्षेपण) र PVD (भौतिक भाप निक्षेपण) प्रक्रिया कक्षहरूमा प्रयोगको लागि डिजाइन गरिएको हो। ९९.८% उच्च-शुद्धता एल्युमिना (Al₂O₃) बाट निर्मित, यो रिंगले प्लाज्मालाई सीमित गर्न र चेम्बरको भित्ताहरूलाई क्षरणबाट जोगाउन चेम्बर लाइनर, फोकस रिंग, वा प्रक्रिया किट घटकको रूपमा काम गर्दछ। सामग्रीले उत्कृष्ट प्लाज्मा प्रतिरोध, उच्च डाइइलेक्ट्रिक शक्ति (१५×१०⁶ V/m), र १६००°C सम्म थर्मल स्थिरता प्रदान गर्दछ, आक्रामक फ्लोरिन-आधारित प्लाज्मा वातावरणमा लामो सेवा जीवन सुनिश्चित गर्दछ। सटीक आयामी सहिष्णुता (ID/OD मा ±०.०५ मिमी) र समतलता (≤१० μm) ले निरन्तर वेफर किनारा स्थिति सक्षम गर्दछ, निक्षेपण एकरूपता सुधार गर्दछ र कण उत्पादन घटाउँछ।
-
बर्नौली सिरेमिक एन्ड इफेक्टर — पातलो र कमजोर वेफरहरूको लागि गैर-सम्पर्क वेफर ह्यान्डलिंग
सेन्ट सेराको बर्नौली सिरेमिक एन्ड इफेक्टरले भौतिक सम्पर्क बिना वेफरहरू ह्यान्डल गर्न एरोडायनामिक लिफ्ट प्रयोग गर्दछ। उच्च-शुद्धता ९९.८% एल्युमिना (Al₂O₃) वा सिलिकन कार्बाइड (SiC) बाट निर्मित, यसमा प्रेसिजन-मेशिन गरिएको नोजलहरू छन् जसले एन्ड इफेक्टर र वेफर बीच पातलो हावा फिल्म सिर्जना गर्न दबाबयुक्त ग्यास निकाल्छ। यो गैर-सम्पर्क सिद्धान्तले पछाडिको प्रदूषण, किनारा चिपिङ, र सतहको क्षतिलाई हटाउँछ, जसले यसलाई पातलो (≤१०० μm), नाजुक, वा विकृत वेफरहरूको लागि आदर्श बनाउँछ। सिरेमिक सब्सट्रेटले उच्च लचिलो शक्ति (Al₂O₃ को लागि ३६१ MPa; SiC को लागि ५५०-६०० MPa सम्म), कम द्रव्यमान, र उत्कृष्ट आयामी स्थिरता प्रदान गर्दछ, उच्च-गति वेफर स्थानान्तरण रोबोटहरूमा दोहोरिने योग्य स्थिति सुनिश्चित गर्दछ।
