-
Sérsniðin vinnsla á Al2O3 keramikskífu
Keramikhlutirnir eru myndaðir með köldu ísostatískri pressun og sintraðir við háan hita, síðan nákvæmnisfræstir og pússaðir. Þeir geta uppfyllt allar strangar kröfur hálfleiðarabúnaðar með eiginleikum eins og slitþol, tæringarþol, lágri varmaþenslu og einangrun. Keramik getur virkað í margs konar hálfleiðaraframleiðslubúnaði við háan hita, lofttæmi eða ætandi gas í langan tíma.
Það er búið til úr hágæða áloxíðdufti, unnið með köldu ísostatískri pressun, háhitasintrun og nákvæmri frágangi, og getur náð víddarþoli allt að ±0,001 mm, yfirborðsáferð Ra 0,1, hitaþol 1600 ℃.
-
ST.CERA sérsniðin hálfleiðara búnaðar keramikplata
Keramikhlutirnir eru myndaðir með köldu ísostatískri pressun og sintraðir við háan hita, síðan nákvæmnisfræstir og pússaðir. Þeir geta uppfyllt allar strangar kröfur hálfleiðarabúnaðar með eiginleikum eins og slitþol, tæringarþol, lágri varmaþenslu og einangrun. Keramik getur virkað í margs konar hálfleiðaraframleiðslubúnaði við háan hita, lofttæmi eða ætandi gas í langan tíma.
Það er búið til úr hágæða áloxíðdufti, unnið með köldu ísostatískri pressun, háhitasintrun og nákvæmri frágangi, og getur náð víddarþoli allt að ±0,001 mm, yfirborðsáferð Ra 0,1, hitaþol 1600 ℃.
-
12 tommu áloxíð tómarúmsfesting fyrir 300 mm skífuvinnslu
12 tommu lofttæmisspennan frá St.Cera er nákvæmlega smíðuð úr 99,8% hágæða áloxíði (Al₂O₃) fyrir meðhöndlun á 300 mm skífum. Spennan er með fíngrófu yfirborði (grófabreidd 0,5–1,0 mm, stig 2–3 mm) til að tryggja jafna lofttæmisdreifingu yfir allt 300 mm þvermálið. Flatleiki er viðhaldið innan 5 μm, sem gerir kleift að festa skífurnar án aflögunar við teningaskurð, slípun á bakhlið og skoðun. Mikill beygjustyrkur efnisins (361 MPa) og hörku (16 GPa) tryggja langtíma víddarstöðugleika, jafnvel við endurteknar lofttæmislotur.
-
Áloxíð keramik endaáhrif með innbyggðum lofttæmisrásum
Lofttæmisendaflötur St.Cera úr álúroxíði samþættir nákvæmnisframleiddar lofttæmisrásir og sogop beint í 99,8% hreina álúroxíðið. Þessi hönnun útilokar ytri lofttæmispúða, sem gerir kleift að taka upp skífur beint með jöfnum haldkrafti. Mikill beygjustyrkur efnisins (361 MPa) og hörku (16 GPa) tryggja langtíma víddarstöðugleika við endurteknar lofttæmishringrásir. Flatleiki yfir púðasvæðið helst innan 10 μm, sem kemur í veg fyrir álag og brot á skífum. Lofttæmisgöt eru staðsett á aftari festingarflansanum til að auðvelda samþættingu við OEM vélmenni.
-
ESD-öruggir áloxíð keramikhlutar fyrir meðhöndlun á stöðurafmagnsnæmum skífum
ESD-öruggir áloxíðkeramikhlutar St.Cera eru framleiddir úr 99,8% hreinum Al₂O₃ með sérsniðinni yfirborðsviðnámi upp á 10⁶–10⁹ Ω/fermetra, sem náðst hefur með sérhönnuðu íblöndunar- eða húðunarferli. Þessir hlutar dreifa stöðurafmagni á áhrifaríkan hátt og koma í veg fyrir skemmdir á viðkvæmum hálfleiðurum og tækjum vegna rafstöðuorku. Grunnefnið heldur miklum beygjustyrk (361 MPa), hörku (16 GPa) og rafsvörunarstyrk (15×10⁶ V/m). ESD-öruggir keramikhlutar innihalda endaáhrifa, lyftipinna, leiðarar og sérsniðnar festingar fyrir sjálfvirkni í framleiðslueiningum.
-
Keramik varahlutir fyrir hálfleiðara mælibúnað
Keramikhlutirnir eru myndaðir með köldu ísostatískri pressun og sintraðir við háan hita, síðan nákvæmnisfræstir og pússaðir. Þeir geta uppfyllt allar strangar kröfur hálfleiðarabúnaðar með eiginleikum eins og slitþol, tæringarþol, lágri varmaþenslu og einangrun. Keramik getur virkað í margs konar hálfleiðaraframleiðslubúnaði við háan hita, lofttæmi eða ætandi gas í langan tíma.
Það er búið til úr hágæða áloxíðdufti, unnið með köldu ísostatískri pressun, háhitasintrun og nákvæmri frágangi, og getur náð víddarþoli allt að ±0,001 mm, yfirborðsáferð Ra 0,1, hitaþol 1600 ℃.
-
Keramikplata hálfleiðara búnaðarflutningsaðili
Keramikhlutirnir eru myndaðir með köldu ísostatískri pressun og sintraðir við háan hita, síðan nákvæmnisfræstir og pússaðir. Þeir geta uppfyllt allar strangar kröfur hálfleiðarabúnaðar með eiginleikum eins og slitþol, tæringarþol, lágri varmaþenslu og einangrun. Keramik getur virkað í margs konar hálfleiðaraframleiðslubúnaði við háan hita, lofttæmi eða ætandi gas í langan tíma.
Það er búið til úr hágæða áloxíðdufti, unnið með köldu ísostatískri pressun, háhitasintrun og nákvæmri frágangi, og getur náð víddarþoli allt að ±0,001 mm, yfirborðsáferð Ra 0,1, hitaþol 1600 ℃.
-
Varahlutir úr keramik fyrir hálfleiðarabúnað
Keramikhlutirnir eru myndaðir með köldu ísostatískri pressun og sintraðir við háan hita, síðan nákvæmnisfræstir og pússaðir. Þeir geta uppfyllt allar strangar kröfur hálfleiðarabúnaðar með eiginleikum eins og slitþol, tæringarþol, lágri varmaþenslu og einangrun. Keramik getur virkað í margs konar hálfleiðaraframleiðslubúnaði við háan hita, lofttæmi eða ætandi gas í langan tíma.
Það er búið til úr hágæða áloxíðdufti, unnið með köldu ísostatískri pressun, háhitasintrun og nákvæmri frágangi, og getur náð víddarþoli allt að ±0,001 mm, yfirborðsáferð Ra 0,1, hitaþol 1600 ℃.
-
Háhreinleiki áloxíð keramikþéttihringur fyrir háhitahólfþéttingu
Keramikþéttihringur frá St.Cera er hannaður sem valkostur við fjölliðu O-hringi í öfgafullu umhverfi þar sem teygjuefni brotna niður. Þessi stífi þéttihringur er framleiddur úr 99,8% hágæða áloxíði (Al₂O₃) og er notaður í kyrrstöðuþéttiforritum - venjulega paraður við mjúkan málm- eða grafítþéttingu - til að veita áreiðanlega lofttæmingu eða gasþéttingu við hitastig allt að 800°C og í árásargjarnu plasma- eða efnaumhverfi. Efnið býður upp á enga útgufun, mikinn þjöppunarstyrk (undirliggjandi beygjustyrkur 361 MPa) og efnafræðilega óvirkni (þolinn gegn halógenum, sýrum og basum nema HF). Nákvæmlega slípaðir þéttifletir (flatleiki ≤5 μm, yfirborðsgrófleiki Ra ≤0,2 μm) tryggja lekaþéttingu við samsvarandi málm- eða keramikhluta.
-
Fókushringur úr hreinu áloxíði fyrir plasmaets- og CVD-kerfi
Fókushringur St.Cera í hólfinu er mikilvægur íhlutur í vinnslubúnaði sem notaður er í plasmaetsun, CVD og PVD hálfleiðarabúnaði. Hringurinn er framleiddur úr 99,8% hreinu áloxíði (Al₂O₃) og umlykur brún skífunnar til að halda plasma inni og hámarka jónadreifingu, sem bætir þannig etsunarjafnvægi yfir yfirborð skífunnar. Efnið býður upp á einstaka plasmaþol, mikinn rafsvörunarstyrk (15×10⁶ V/m) og hitastöðugleika allt að 1600°C, sem tryggir langtímaáreiðanleika í árásargjarnu flúor- eða klórbundnu plasmaumhverfi. Nákvæm slípun á innri og ytri þrýstingi og flatnæmi (≤10 μm) gerir kleift að staðsetja brúnir skífunnar nákvæmlega, draga úr brúnargöllum og agnamyndun.
-
Háhreinleiki áloxíðs keramikhringur fyrir CVD / PVD vinnsluklefa
Keramikhringurinn frá St.Cera er sérstaklega hannaður til notkunar í CVD (Chemical Vapor Deposition) og PVD (Physical Vapor Deposition) vinnsluklefum. Hringurinn er framleiddur úr 99,8% hágæða áloxíði (Al₂O₃) og þjónar sem fóðring hólfsins, fókushringur eða íhlutur í vinnslubúnaði til að loka plasma og vernda veggi hólfsins gegn rofi. Efnið býður upp á framúrskarandi plasmaþol, mikinn rafsegulstyrk (15×10⁶ V/m) og hitastöðugleika allt að 1600°C, sem tryggir langan endingartíma í árásargjarnu flúor-bundnu plasmaumhverfi. Nákvæm víddarvikmörk (±0,05 mm á innra/útra þrep) og flatleiki (≤10 μm) gera kleift að staðsetja brúnir skífunnar á samræmdan hátt, bæta einsleitni í útfellingu og draga úr agnamyndun.
-
Bernoulli keramik endaáhrifari — Snertilaus meðhöndlun á þunnum og brothættum skífum
Bernoulli keramik-endaáhrifafl St.Cera notar loftaflfræðilega lyftu til að meðhöndla skífur án snertingar. Það er framleitt úr hágæða 99,8% áloxíði (Al₂O₃) eða kísilkarbíði (SiC) og er með nákvæmnisvinnsluðum stútum sem dæla þrýstilofti út til að búa til þunna loftfilmu milli endaáhrifaflsins og skífunnar. Þessi snertilausa meginregla útilokar mengun á bakhlið, flísun á brúnum og yfirborðsskemmdir, sem gerir það tilvalið fyrir þunnar (≤100 μm), brothættar eða afmyndaðar skífur. Keramikundirlagið býður upp á mikinn sveigjanleika (361 MPa fyrir Al₂O₃; allt að 550–600 MPa fyrir SiC), lítinn massa og framúrskarandi víddarstöðugleika, sem tryggir endurtekna staðsetningu í hraðvirkum skífuflutningsvélmennum.
