-
Prilagođena obrada Al2O3 keramičke stezne glave
Formirani hladnim izostatičkim presovanjem i sinterovani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu ispuniti sve stroge zahtjeve poluprovodničke opreme svojim karakteristikama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog termičkog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
ST.CERA Prilagođena keramička ploča za poluprovodničku opremu
Formirani hladnim izostatičkim presovanjem i sinterovani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu ispuniti sve stroge zahtjeve poluprovodničke opreme svojim karakteristikama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog termičkog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
12-inčna vakuumska stezna glava od aluminija za obradu pločica od 300 mm
St.Cera vakuumska stezna glava od 12 inča precizno je konstruirana od 99,8% visokočistog aluminijevog oksida (Al₂O₃) za rukovanje pločicama od 300 mm. Stezna glava ima fino užljebljenu površinu (širina žljeba 0,5–1,0 mm, korak 2–3 mm) kako bi se osigurala ravnomjerna raspodjela vakuuma po cijelom promjeru od 300 mm. Ravnost se održava unutar 5 μm, što omogućava fiksiranje pločice bez savijanja tokom rezanja, brušenja stražnje strane i inspekcije. Visoka čvrstoća na savijanje (361 MPa) i tvrdoća (16 GPa) materijala garantiraju dugoročnu dimenzionalnu stabilnost čak i pri ponovljenim ciklusima vakuumiranja.
-
Krajnji efektor od aluminijumske keramike s integriranim vakuumskim kanalima
St.Cera vakuumski krajnji efektor od aluminijevog oksida integrira precizno obrađene vakuumske kanale i usisne otvore direktno u tijelo od aluminijevog oksida visoke čistoće 99,8%. Ovaj dizajn eliminira vanjske vakuumske jastučiće, omogućavajući direktno preuzimanje pločice s ujednačenom silom držanja. Visoka čvrstoća na savijanje (361 MPa) i tvrdoća (16 GPa) materijala osiguravaju dugoročnu dimenzionalnu stabilnost pod ponovljenim ciklusima vakuumiranja. Ravnost preko površine jastučića održava se unutar 10 μm, sprječavajući naprezanje i lom pločice. Vakuumski otvori nalaze se na stražnjoj montažnoj prirubnici radi jednostavne integracije s OEM robotskim rukama.
-
ESD-zaštitni aluminijski keramički dijelovi za rukovanje statički osjetljivim pločicama
St.Cera keramički dijelovi od aluminijevog oksida sigurni od elektrostatičkog pražnjenja (ESD) proizvedeni su od 99,8% Al₂O₃ visoke čistoće s prilagođenom površinskom otpornošću od 10⁶–10⁹ Ω/sq, postignutom patentiranim postupkom dopiranja ili premazivanja. Ovi dijelovi efikasno raspršuju statički naboj, sprječavajući elektrostatičko oštećenje osjetljivih poluprovodničkih pločica i uređaja. Osnovni materijal zadržava svoju visoku čvrstoću na savijanje (361 MPa), tvrdoću (16 GPa) i dielektričnu čvrstoću (15×10⁶ V/m). Keramički dijelovi sigurni od ESD-a uključuju krajnje efektore, klinove za podizanje, vodilice i prilagođene učvršćivače za FAB automatizaciju.
-
Keramički rezervni dijelovi za poluprovodničku sondnu opremu
Formirani hladnim izostatičkim presovanjem i sinterovani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu ispuniti sve stroge zahtjeve poluprovodničke opreme svojim karakteristikama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog termičkog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
Nosač opreme od keramičkih ploča i poluprovodnika
Formirani hladnim izostatičkim presovanjem i sinterovani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu ispuniti sve stroge zahtjeve poluprovodničke opreme svojim karakteristikama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog termičkog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
Keramički rezervni dijelovi za poluprovodničku opremu
Formirani hladnim izostatičkim presovanjem i sinterovani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu ispuniti sve stroge zahtjeve poluprovodničke opreme svojim karakteristikama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog termičkog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
Keramički zaptivni prsten od visokočistog aluminijumskog oksida za zaptivanje komore visoke temperature
St.Cera keramički zaptivni prsten dizajniran je kao alternativa polimernim O-prstenovima u ekstremnim okruženjima gdje se elastomeri degradiraju. Proizveden od 99,8% aluminijevog oksida visoke čistoće (Al₂O₃), ovaj kruti zaptivni prsten se koristi u primjenama statičkog zaptivanja - obično uparen s mekom metalnom ili grafitnom brtvom - kako bi se osiguralo pouzdano zadržavanje vakuuma ili plina na temperaturama do 800°C i u agresivnim plazma ili hemijskim okruženjima. Materijal nudi nulto ispuštanje plinova, visoku tlačnu čvrstoću (osnovna čvrstoća na savijanje 361 MPa) i hemijsku inertnost (otporan na halogene, kiseline i alkalije osim HF). Precizno preklopljene zaptivačke površine (ravnoća ≤5 μm, hrapavost površine Ra ≤0,2 μm) osiguravaju nepropustan kontakt sa spojnim metalnim ili keramičkim komponentama.
-
Fokusni prsten komore od visokočistog aluminijumskog oksida za sisteme plazma nagrizanja i CVD-a
St.Cera prsten za fokusiranje komore je ključna komponenta procesnog kompleta koja se koristi u opremi za plazma nagrizanje, CVD i PVD poluprovodničkih procesa. Proizveden od 99,8% visokočistog aluminijumskog oksida (Al₂O₃), prsten okružuje rub pločice kako bi ograničio plazmu i optimizirao kutnu raspodjelu iona, čime se poboljšava ujednačenost nagrizanja po površini pločice. Materijal nudi izuzetnu otpornost na plazmu, visoku dielektričnu čvrstoću (15×10⁶ V/m) i termičku stabilnost do 1600°C, osiguravajući dugoročnu pouzdanost u agresivnim okruženjima plazme na bazi fluora ili hlora. Precizno brušeni unutarnji/vanjski promjer i ravnost (≤10 μm) omogućavaju precizno pozicioniranje rubova pločice, smanjujući defekte rubova i stvaranje čestica.
-
Keramički prsten od visokočistog aluminijumskog oksida za CVD / PVD procesne komore
Keramički prsten kompanije St.Cera je posebno dizajniran za upotrebu u CVD (hemijsko taloženje iz parne faze) i PVD (fizičko taloženje iz parne faze) procesnim komorama. Proizveden od 99,8% aluminijumskog oksida (Al₂O₃) visoke čistoće, ovaj prsten služi kao obloga komore, fokusni prsten ili komponenta procesnog kompleta za ograničavanje plazme i zaštitu zidova komore od erozije. Materijal nudi odličnu otpornost na plazmu, visoku dielektričnu čvrstoću (15×10⁶ V/m) i termičku stabilnost do 1600°C, osiguravajući dug vijek trajanja u agresivnim okruženjima plazme na bazi fluora. Precizne dimenzijske tolerancije (±0,05 mm na unutrašnjem/spoljašnjem promjeru) i ravnost (≤10 μm) omogućavaju konzistentno pozicioniranje ivica pločice, poboljšavajući ujednačenost taloženja i smanjujući stvaranje čestica.
-
Bernoulli keramički krajnji efektor — beskontaktno rukovanje pločicama za tanke i lomljive pločice
St.Cera Bernoulli keramički krajnji efektor koristi aerodinamički uzgon za rukovanje pločicama bez fizičkog kontakta. Proizveden od visokočistog 99,8% aluminijevog oksida (Al₂O₃) ili silicijum karbida (SiC), ima precizno obrađene mlaznice koje izbacuju komprimirani plin kako bi stvorile tanki zračni film između krajnjeg efektora i pločice. Ovaj princip beskontaktnosti eliminira kontaminaciju stražnje strane, odvajanje rubova i oštećenje površine, što ga čini idealnim za tanke (≤100 μm), krhke ili iskrivljene pločice. Keramička podloga pruža visoku čvrstoću na savijanje (361 MPa za Al₂O₃; do 550–600 MPa za SiC), malu masu i odličnu dimenzionalnu stabilnost, osiguravajući ponovljivo pozicioniranje u robotima za prijenos pločica velikom brzinom.
