-
Al2O3 керамикалық пластиналы патронды арнайы өңдеу
Суық изостатикалық престеу және жоғары температурада пісіру арқылы қалыптастырылған, содан кейін дәл өңделген және жылтыратылған керамикалық қосалқы бөлшектер тозуға төзімділік, коррозияға төзімділік, төмен термиялық кеңею және оқшаулау сияқты ерекшеліктерімен жартылай өткізгіш жабдықтардың кез келген қатаң талаптарына сай келеді. Керамика жоғары температура, вакуум немесе коррозиялық газ жағдайында ұзақ уақыт бойы көптеген жартылай өткізгіш өндіріс жабдықтарында жұмыс істей алады.
Суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген жоғары тазалықтағы алюминий оксиді ұнтағынан жасалған, ол өлшемге төзімділікке ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділік 1600℃ дейін жетеді.
-
ST.CERA жартылай өткізгіш жабдықтарына арналған керамикалық пластина
Суық изостатикалық престеу және жоғары температурада пісіру арқылы қалыптастырылған, содан кейін дәл өңделген және жылтыратылған керамикалық қосалқы бөлшектер тозуға төзімділік, коррозияға төзімділік, төмен термиялық кеңею және оқшаулау сияқты ерекшеліктерімен жартылай өткізгіш жабдықтардың кез келген қатаң талаптарына сай келеді. Керамика жоғары температура, вакуум немесе коррозиялық газ жағдайында ұзақ уақыт бойы көптеген жартылай өткізгіш өндіріс жабдықтарында жұмыс істей алады.
Суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген жоғары тазалықтағы алюминий оксиді ұнтағынан жасалған, ол өлшемге төзімділікке ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділік 1600℃ дейін жетеді.
-
300 мм пластиналарды өңдеуге арналған 12 дюймдік алюминий оксиді бар вакуумдық патрон
St.Cera компаниясының 12 дюймдік вакуумдық патрон 300 мм пластиналарды өңдеуге арналған 99,8% жоғары тазалықтағы алюминий оксидінен (Al₂O₃) дәлдікпен жасалған. Патронның бүкіл 300 мм диаметрі бойынша вакуумның біркелкі таралуын қамтамасыз ету үшін ұсақ ойық беті бар (ойық ені 0,5–1,0 мм, қадамы 2–3 мм). Тегістік 5 мкм шегінде сақталады, бұл турау, артқы жағын ұнтақтау және тексеру кезінде пластинаның майыспауын қамтамасыз етеді. Материалдың жоғары иілу беріктігі (361 МПа) және қаттылығы (16 ГПа) қайталанатын вакуумдық циклдар кезінде де ұзақ мерзімді өлшемдік тұрақтылықты қамтамасыз етеді.
-
Интеграцияланған вакуумдық арналары бар алюминий тотығы бар керамикалық ұштық эффекторы
St.Cera компаниясының алюминий оксиді бар вакуумдық эффекторы дәл өңделген вакуумдық арналар мен сору тесіктерін 99,8% жоғары тазалықтағы алюминий оксиді корпусына тікелей біріктіреді. Бұл дизайн сыртқы вакуумдық жастықшаларды жояды, бұл біркелкі ұстау күшімен пластинаны тікелей алуға мүмкіндік береді. Материалдың жоғары иілу беріктігі (361 МПа) және қаттылығы (16 ГПа) қайталанатын вакуумдық циклдар кезінде ұзақ мерзімді өлшемді тұрақтылықты қамтамасыз етеді. Жастықша аймағындағы жазықтық 10 мкм шегінде сақталады, бұл пластинаның кернеуі мен сынуының алдын алады. OEM робот қолдарымен оңай интеграциялау үшін вакуумдық порттар артқы бекіту фланецінде орналасқан.
-
Статикалық сезімтал пластиналарды өңдеуге арналған ESD-қауіпсіз алюминий оксиді керамикалық бөлшектері
St.Cera компаниясының ESD (электростатикалық разряд) қауіпсіз алюминий оксиді керамикалық бөлшектері 99,8% жоғары тазалықтағы Al₂O₃-тан жасалған, оған меншікті легирлеу немесе жабу процесі арқылы қол жеткізілетін 10⁶–10⁹ Ω/кв беттік кедергісі бар. Бұл бөлшектер статикалық зарядты тиімді түрде жояды, сезімтал жартылай өткізгіш пластиналар мен құрылғылардың электростатикалық зақымдануын болдырмайды. Негізгі материал жоғары иілу беріктігін (361 МПа), қаттылығын (16 ГПа) және диэлектрлік беріктігін (15 × 10⁶ В/м) сақтайды. ESD қауіпсіз керамикалық бөлшектерге FAB автоматизациясына арналған ұштық эффекторлар, көтергіш түйреуіштер, бағыттаушы рельстер және арнайы бекіткіштер кіреді.
-
Жартылай өткізгіш зонд жабдықтарына арналған керамикалық қосалқы бөлшектер
Суық изостатикалық престеу және жоғары температурада пісіру арқылы қалыптастырылған, содан кейін дәл өңделген және жылтыратылған керамикалық қосалқы бөлшектер тозуға төзімділік, коррозияға төзімділік, төмен термиялық кеңею және оқшаулау сияқты ерекшеліктерімен жартылай өткізгіш жабдықтардың кез келген қатаң талаптарына сай келеді. Керамика жоғары температура, вакуум немесе коррозиялық газ жағдайында ұзақ уақыт бойы көптеген жартылай өткізгіш өндіріс жабдықтарында жұмыс істей алады.
Суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген жоғары тазалықтағы алюминий оксиді ұнтағынан жасалған, ол өлшемге төзімділікке ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділік 1600℃ дейін жетеді.
-
Керамикалық пластиналы жартылай өткізгіш жабдық тасымалдаушысы
Суық изостатикалық престеу және жоғары температурада пісіру арқылы қалыптастырылған, содан кейін дәл өңделген және жылтыратылған керамикалық қосалқы бөлшектер тозуға төзімділік, коррозияға төзімділік, төмен термиялық кеңею және оқшаулау сияқты ерекшеліктерімен жартылай өткізгіш жабдықтардың кез келген қатаң талаптарына сай келеді. Керамика жоғары температура, вакуум немесе коррозиялық газ жағдайында ұзақ уақыт бойы көптеген жартылай өткізгіш өндіріс жабдықтарында жұмыс істей алады.
Суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген жоғары тазалықтағы алюминий оксиді ұнтағынан жасалған, ол өлшемге төзімділікке ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділік 1600℃ дейін жетеді.
-
Жартылай өткізгіш жабдықтардың керамикалық қосалқы бөлшектері
Суық изостатикалық престеу және жоғары температурада пісіру арқылы қалыптастырылған, содан кейін дәл өңделген және жылтыратылған керамикалық қосалқы бөлшектер тозуға төзімділік, коррозияға төзімділік, төмен термиялық кеңею және оқшаулау сияқты ерекшеліктерімен жартылай өткізгіш жабдықтардың кез келген қатаң талаптарына сай келеді. Керамика жоғары температура, вакуум немесе коррозиялық газ жағдайында ұзақ уақыт бойы көптеген жартылай өткізгіш өндіріс жабдықтарында жұмыс істей алады.
Суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген жоғары тазалықтағы алюминий оксиді ұнтағынан жасалған, ол өлшемге төзімділікке ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділік 1600℃ дейін жетеді.
-
Жоғары температуралы камераны тығыздауға арналған жоғары тазалықтағы алюминий тотығы бар керамикалық тығыздағыш сақина
St.Cera керамикалық тығыздағыш сақинасы эластомерлер ыдырап кететін экстремалды орталарда полимерлі О-сақиналарға балама ретінде жасалған. 99,8% жоғары тазалықтағы алюминий оксидінен (Al₂O₃) жасалған бұл қатты тығыздағыш сақина статикалық тығыздау қолданбаларында қолданылады - әдетте жұмсақ металл немесе графит төсемімен жұптастырылған - 800°C дейінгі температурада және агрессивті плазмалық немесе химиялық ортада сенімді вакуумды немесе газды ұстауды қамтамасыз ету үшін. Материал нөлдік газ шығаруды, жоғары қысу беріктігі (негізгі иілу беріктігі 361 МПа) және химиялық инерттілікті (HF қоспағанда, галогендерге, қышқылдарға және сілтілерге төзімді) ұсынады. Дәл тегістелген тығыздағыш беттер (жалпақтығы ≤5 мкм, бетінің кедір-бұдырлығы Ra ≤0,2 мкм) металл немесе керамикалық компоненттермен ағып кетпейтін жанасуды қамтамасыз етеді.
-
Плазмалық өңдеу және жүрек-қан тамырлары жүйелеріне арналған жоғары тазалықтағы алюминий оксиді камерасының фокустық сақинасы
St.Cera камерасының фокустау сақинасы плазмалық өңдеуде, CVD және PVD жартылай өткізгіш жабдықтарында қолданылатын маңызды процесс жинағының құрамдас бөлігі болып табылады. 99,8% жоғары тазалықтағы алюминий оксидінен (Al₂O₃) жасалған сақина плазманы шектеу және иондардың бұрыштық таралуын оңтайландыру үшін пластинаның шетін қоршап тұрады, осылайша пластина бетінде өңдеудің біркелкілігін жақсартады. Материал ерекше плазмалық кедергіні, жоғары диэлектрлік беріктікті (15 × 10⁶ V/m) және 1600°C дейін термиялық тұрақтылықты ұсынады, бұл агрессивті фтор немесе хлор негізіндегі плазмалық ортада ұзақ мерзімді сенімділікті қамтамасыз етеді. Дәлдікпен жерлеу ID/OD және тегістік (≤10 мкм) пластинаның шетін дәл орналастыруға мүмкіндік береді, шеткі ақаулар мен бөлшектердің пайда болуын азайтады.
-
CVD/PVD өңдеу камераларына арналған жоғары тазалықтағы алюминий тотығы бар керамикалық сақина
St.Cera керамикалық сақинасы CVD (Химиялық бу тұндыру) және PVD (Физикалық бу тұндыру) өңдеу камераларында пайдалану үшін арнайы жасалған. 99,8% жоғары тазалықтағы алюминий оксидінен (Al₂O₃) жасалған бұл сақина плазманы шектеу және камера қабырғаларын эрозиядан қорғау үшін камера төсеніші, фокустау сақинасы немесе өңдеу жинағының компоненті ретінде қызмет етеді. Материал плазмаға тамаша төзімділікті, жоғары диэлектрлік беріктікті (15 × 10⁶ V/m) және 1600°C дейін термиялық тұрақтылықты қамтамасыз етеді, бұл агрессивті фтор негізіндегі плазмалық ортада ұзақ қызмет ету мерзімін қамтамасыз етеді. Дәл өлшемді төзімділік (ID/OD бойынша ±0,05 мм) және жазықтылық (≤10 мкм) пластина шеттерін біркелкі орналастыруға, тұндырудың біркелкілігін жақсартуға және бөлшектердің пайда болуын азайтуға мүмкіндік береді.
-
Бернулли керамикалық ұшының эффекторы — жұқа және сынғыш пластиналарға арналған жанаспайтын пластиналарды өңдеу
St.Cera компаниясының Бернулли керамикалық соңғы эффекторы пластиналарды физикалық жанасусыз өңдеу үшін аэродинамикалық көтеруді пайдаланады. Жоғары тазалықтағы 99,8% алюминий оксидінен (Al₂O₃) немесе кремний карбидінен (SiC) жасалған, ол соңғы эффектор мен пластина арасында жұқа ауа қабықшасын жасау үшін қысымды газ шығаратын дәл өңделген саптамалармен жабдықталған. Бұл жанаспайтын принцип артқы жағындағы ластануды, жиектердің сынуын және бетінің зақымдануын болдырмайды, бұл оны жұқа (≤100 мкм), сынғыш немесе майысқан пластиналар үшін өте қолайлы етеді. Керамикалық негіз жоғары иілу беріктігі (Al₂O₃ үшін 361 МПа; SiC үшін 550–600 МПа дейін), төмен масса және тамаша өлшемді тұрақтылықты қамтамасыз етеді, бұл жоғары жылдамдықты пластина тасымалдау роботтарында қайталанатын орналасуды қамтамасыз етеді.
