-
Al2O3 keraamilise vahvlipadruni kohandatud töötlemine
Külmast isostaatilisest pressimisest ja kõrgel temperatuuril paagutamisest valmistatud, seejärel täppistöödeldud ja poleeritud keraamilised varuosad vastavad pooljuhtseadmete rangetele nõuetele oma kulumiskindluse, korrosioonikindluse, väikese soojuspaisumise ja isolatsiooni omaduste tõttu. Keraamika sobib pikka aega mitmesuguste pooljuhtide tootmisseadmete jaoks, mis taluvad kõrget temperatuuri, vaakumit või söövitavat gaasi.
Valmistatud kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi pulbrist, töödeldud külmisostaatilise pressimise, kõrgtemperatuurse paagutamise ja täppisviimistluse teel, võib see saavutada mõõtmete tolerantsi ±0,001 mm, pinnaviimistluse Ra 0,1, temperatuurikindluse 1600 ℃.
-
ST.CERA kohandatud pooljuhtseadmete keraamiline plaat
Külmast isostaatilisest pressimisest ja kõrgel temperatuuril paagutamisest valmistatud, seejärel täppistöödeldud ja poleeritud keraamilised varuosad vastavad pooljuhtseadmete rangetele nõuetele oma kulumiskindluse, korrosioonikindluse, väikese soojuspaisumise ja isolatsiooni omaduste tõttu. Keraamika sobib pikka aega mitmesuguste pooljuhtide tootmisseadmete jaoks, mis taluvad kõrget temperatuuri, vaakumit või söövitavat gaasi.
Valmistatud kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi pulbrist, töödeldud külmisostaatilise pressimise, kõrgtemperatuurse paagutamise ja täppisviimistluse teel, võib see saavutada mõõtmete tolerantsi ±0,001 mm, pinnaviimistluse Ra 0,1, temperatuurikindluse 1600 ℃.
-
12-tolline alumiiniumoksiidi vaakumpadrun 300 mm vahvlite töötlemiseks
St.Cera 12-tolline vaakumpadrun on täppiskonstruktsiooniga valmistatud 99,8% kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidist (Al₂O₃) 300 mm kiipide käsitsemiseks. Padrunil on peenelt sooneline pind (soone laius 0,5–1,0 mm, samm 2–3 mm), et tagada ühtlane vaakumjaotus kogu 300 mm läbimõõdu ulatuses. Tasasus säilib 5 μm piires, mis võimaldab kiipide deformatsioonivaba fikseerimist tükeldamise, tagakülje lihvimise ja kontrolli ajal. Materjali kõrge paindetugevus (361 MPa) ja kõvadus (16 GPa) tagavad pikaajalise mõõtmete stabiilsuse isegi korduvate vaakumtsüklite korral.
-
Alumiiniumoksiidi keraamiline efektor integreeritud vaakumkanalitega
St.Cera alumiiniumoksiidi vaakumotsaefektor integreerib täppistöödeldud vaakumkanalid ja imemisavad otse 99,8% kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi korpusesse. See konstruktsioon välistab välised vaakumpadjad, võimaldades otsest kiibi ülesvõtmist ühtlase hoidejõuga. Materjali kõrge paindetugevus (361 MPa) ja kõvadus (16 GPa) tagavad pikaajalise mõõtmete stabiilsuse korduvate vaakumtsüklite ajal. Padja pinna tasasus säilib 10 μm piires, mis hoiab ära kiibi pinge ja purunemise. Vaakumpordid asuvad tagumise kinnitusääriku juures, et hõlbustada integreerimist OEM-robotite kätega.
-
ESD-ohutu alumiiniumoksiidkeraamilised osad staatiliselt tundlike vahvlite käitlemiseks
St.Cera ESD-ohutud (elektrostaatilise laengu) alumiiniumoksiidkeraamilised osad on valmistatud 99,8% kõrge puhtusastmega Al₂O₃-st, mille kohandatud pinnatakistus on 10⁶–10⁹ Ω/sq, mis saavutatakse patenteeritud legeerimis- või katmisprotsessi abil. Need osad hajutavad tõhusalt staatilist laengut, hoides ära elektrostaatilised kahjustused tundlikele pooljuhtplaatidele ja -seadmetele. Alusmaterjal säilitab oma kõrge paindetugevuse (361 MPa), kõvaduse (16 GPa) ja dielektrilise tugevuse (15×10⁶ V/m). ESD-ohutud keraamiliste osade hulka kuuluvad efektormehhanismid, tõstetihvtid, juhtsiinid ja kohandatud kinnitusdetailid FAB-automaatika jaoks.
-
Pooljuhtide sondiseadmete keraamilised varuosad
Külmast isostaatilisest pressimisest ja kõrgel temperatuuril paagutamisest valmistatud, seejärel täppistöödeldud ja poleeritud keraamilised varuosad vastavad pooljuhtseadmete rangetele nõuetele oma kulumiskindluse, korrosioonikindluse, väikese soojuspaisumise ja isolatsiooni omaduste tõttu. Keraamika sobib pikka aega mitmesuguste pooljuhtide tootmisseadmete jaoks, mis taluvad kõrget temperatuuri, vaakumit või söövitavat gaasi.
Valmistatud kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi pulbrist, töödeldud külmisostaatilise pressimise, kõrgtemperatuurse paagutamise ja täppisviimistluse teel, võib see saavutada mõõtmete tolerantsi ±0,001 mm, pinnaviimistluse Ra 0,1, temperatuurikindluse 1600 ℃.
-
Keraamiliste plaatide pooljuhtide seadmete kandja
Külmast isostaatilisest pressimisest ja kõrgel temperatuuril paagutamisest valmistatud, seejärel täppistöödeldud ja poleeritud keraamilised varuosad vastavad pooljuhtseadmete rangetele nõuetele oma kulumiskindluse, korrosioonikindluse, väikese soojuspaisumise ja isolatsiooni omaduste tõttu. Keraamika sobib pikka aega mitmesuguste pooljuhtide tootmisseadmete jaoks, mis taluvad kõrget temperatuuri, vaakumit või söövitavat gaasi.
Valmistatud kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi pulbrist, töödeldud külmisostaatilise pressimise, kõrgtemperatuurse paagutamise ja täppisviimistluse teel, võib see saavutada mõõtmete tolerantsi ±0,001 mm, pinnaviimistluse Ra 0,1, temperatuurikindluse 1600 ℃.
-
Pooljuhtseadmete keraamilised varuosad
Külmast isostaatilisest pressimisest ja kõrgel temperatuuril paagutamisest valmistatud, seejärel täppistöödeldud ja poleeritud keraamilised varuosad vastavad pooljuhtseadmete rangetele nõuetele oma kulumiskindluse, korrosioonikindluse, väikese soojuspaisumise ja isolatsiooni omaduste tõttu. Keraamika sobib pikka aega mitmesuguste pooljuhtide tootmisseadmete jaoks, mis taluvad kõrget temperatuuri, vaakumit või söövitavat gaasi.
Valmistatud kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi pulbrist, töödeldud külmisostaatilise pressimise, kõrgtemperatuurse paagutamise ja täppisviimistluse teel, võib see saavutada mõõtmete tolerantsi ±0,001 mm, pinnaviimistluse Ra 0,1, temperatuurikindluse 1600 ℃.
-
Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi keraamiline tihendusrõngas kõrge temperatuuriga kambri tihendamiseks
St.Cera keraamiline tihendusrõngas on loodud alternatiivina polümeersetele O-rõngastele äärmuslikes keskkondades, kus elastomeerid lagunevad. See 99,8% kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidist (Al₂O₃) valmistatud jäik tihendusrõngas on mõeldud staatilistes tihendusrakendustes – tavaliselt koos pehme metalli või grafiidist tihendiga –, et tagada usaldusväärne vaakumi või gaasi sulgemine temperatuuridel kuni 800 °C ja agressiivses plasma- või keemilises keskkonnas. Materjalil puudub gaaside eraldumine, on suur survetugevus (paindetugevus 361 MPa) ja keemiline inerts (vastupidav halogeenidele, hapetele ja leelistele, välja arvatud HF). Täppislihvitud tihenduspinnad (tasasus ≤5 μm, pinna karedus Ra ≤0,2 μm) tagavad lekkekindla kontakti vastavate metall- või keraamiliste komponentidega.
-
Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidist kambri fookusrõngas plasma söövitus- ja CVD-süsteemidele
St.Cera kambrifokuseerimisrõngas on plasma söövitus-, CVD- ja PVD-pooljuhtseadmetes kasutatav kriitilise tähtsusega protsessikomplekti komponent. 99,8% kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidist (Al₂O₃) valmistatud rõngas ümbritseb kiibi serva, et piirata plasmat ja optimeerida ioonide nurkjaotust, parandades seeläbi söövituse ühtlust kogu kiibi pinnal. Materjal pakub erakordset plasmakindlust, kõrget dielektrilist tugevust (15×10⁶ V/m) ja termilist stabiilsust kuni 1600 °C, tagades pikaajalise töökindluse agressiivsetes fluori- või klooripõhistes plasmakeskkondades. Täppislihvitud sise- ja välisläbimõõt ning tasasus (≤10 μm) võimaldavad kiibi serva täpset positsioneerimist, vähendades servadefekte ja osakeste teket.
-
Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi keraamiline rõngas CVD/PVD protsessikambritele
St.Cera keraamiline rõngas on spetsiaalselt loodud kasutamiseks CVD (keemilise aurustamise-sadestamise) ja PVD (füüsikalise aurustamise-sadestamise) protsessikambrites. See rõngas on valmistatud 99,8% kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidist (Al₂O₃) ning seda kasutatakse kambri vooderdise, fookusrõnga või protsessikomplekti komponendina, et piirata plasmat ja kaitsta kambri seinu erosiooni eest. Materjal pakub suurepärast plasmatakistust, kõrget dielektrilist tugevust (15×10⁶ V/m) ja termilist stabiilsust kuni 1600 °C, tagades pika kasutusea agressiivses fluoripõhises plasmakeskkonnas. Täpsed mõõtmete tolerantsid (±0,05 mm sise-/välisläbimõõdul) ja tasapind (≤10 μm) võimaldavad kiibi serva ühtlast positsioneerimist, parandades sadestamise ühtlust ja vähendades osakeste teket.
-
Bernoulli keraamiline efektorotsaseade – kontaktivaba vahvlite käsitsemine õhukeste ja habraste vahvlite jaoks
St.Cera Bernoulli keraamiline efektorpea kasutab aerodünaamilist tõstejõudu, et käsitseda vahvleid ilma füüsilise kontaktita. See on valmistatud kõrge puhtusastmega 99,8% alumiiniumoksiidist (Al₂O₃) või ränikarbiidist (SiC) ning sellel on täppistöödeldud düüsid, mis väljutavad survestatud gaasi, luues efektorpea ja vahvli vahele õhukese õhukihi. See kontaktivaba põhimõte välistab tagakülje saastumise, servade mõranemise ja pinnakahjustused, muutes selle ideaalseks õhukeste (≤100 μm), habraste või moonutatud vahvlite jaoks. Keraamiline aluspind tagab suure paindetugevuse (361 MPa Al₂O₃ puhul; kuni 550–600 MPa SiC puhul), väikese massi ja suurepärase mõõtmete stabiilsuse, tagades korduva positsioneerimise kiiretel vahvliülekande robotitel.
