-
Ýokary arassalykly alýumin oksidli keramiki diskler
Sowuk izostatik preslemek we ýokary temperaturada bişirmek arkaly emele getirilýän, soňra takyk işlenip we jylaňlanan keramiki ätiýaçlyk şaýlary aşynma garşylygy, korroziýa garşylygy, pes termal giňelme we izolýasiýa aýratynlyklary bilen ýarymgeçiriji enjamlaryň islendik berk talaplaryna laýyk gelip biler. Keramika ýokary temperatura, wakuum ýa-da korroziýa gazy şertlerinde uzak wagtlap ýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynyň dürli görnüşlerinde işläp biler.
Sowuk izostatik preslemek, ýokary temperatura bişirmek we takyk işläp taýýarlamak arkaly işlenen ýokary arassa alýumin okislotasy poroşogyndan ýasalyp, ölçeg çydamlylygy ±0,001 mm, ýüzleý abatlaýyş Ra 0,1, temperatura garşylygy 1600℃ ýetip bilýär.
-
alýumin oksidi keramiki gol
Sowuk izostatik preslemek we ýokary temperaturada bişirmek arkaly emele getirilýän, soňra takyk işlenip we jylaňlanan keramiki ätiýaçlyk şaýlary aşynma garşylygy, korroziýa garşylygy, pes termal giňelme we izolýasiýa aýratynlyklary bilen ýarymgeçiriji enjamlaryň islendik berk talaplaryna laýyk gelip biler. Keramika ýokary temperatura, wakuum ýa-da korroziýa gazy şertlerinde uzak wagtlap ýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynyň dürli görnüşlerinde işläp biler.
Sowuk izostatik preslemek, ýokary temperatura bişirmek we takyk işläp taýýarlamak arkaly işlenen ýokary arassa alýumin okislotasy poroşogyndan ýasalyp, ölçeg çydamlylygy ±0,001 mm, ýüzleý abatlaýyş Ra 0,1, temperatura garşylygy 1600℃ ýetip bilýär.
-
Keramik izolýasiýa halkalary Keramik fokuslaýyş halkalary
Sowuk izostatik preslemek we ýokary temperaturada bişirmek arkaly emele getirilýän, soňra takyk işlenip we jylaňlanan keramiki ätiýaçlyk şaýlary aşynma garşylygy, korroziýa garşylygy, pes termal giňelme we izolýasiýa aýratynlyklary bilen ýarymgeçiriji enjamlaryň islendik berk talaplaryna laýyk gelip biler. Keramika ýokary temperatura, wakuum ýa-da korroziýa gazy şertlerinde uzak wagtlap ýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynyň dürli görnüşlerinde işläp biler.
Sowuk izostatik preslemek, ýokary temperatura bişirmek we takyk işläp taýýarlamak arkaly işlenen ýokary arassa alýumin okislotasy poroşogyndan ýasalyp, ölçeg çydamlylygy ±0,001 mm, ýüzleý abatlaýyş Ra 0,1, temperatura garşylygy 1600℃ ýetip bilýär.
-
ST.CERA Alýumin oksidi keramiki gysgyç halkasy izolýasiýa goragy
Sowuk izostatik preslemek we ýokary temperaturada bişirmek arkaly emele getirilýän, soňra takyk işlenip we jylaňlanan keramiki ätiýaçlyk şaýlary aşynma garşylygy, korroziýa garşylygy, pes termal giňelme we izolýasiýa aýratynlyklary bilen ýarymgeçiriji enjamlaryň islendik berk talaplaryna laýyk gelip biler. Keramika ýokary temperatura, wakuum ýa-da korroziýa gazy şertlerinde uzak wagtlap ýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynyň dürli görnüşlerinde işläp biler.
Sowuk izostatik preslemek, ýokary temperatura bişirmek we takyk işläp taýýarlamak arkaly işlenen ýokary arassa alýumin okislotasy poroşogyndan ýasalyp, ölçeg çydamlylygy ±0,001 mm, ýüzleý abatlaýyş Ra 0,1, temperatura garşylygy 1600℃ ýetip bilýär.
-
Wafer bilen işlemek üçin ýokary arassalykly alýumin keramiki robot goly
St.Cera-nyň alýumin oksidi keramiki robot goly 99,8% ýokary arassa Al₂O₃ (alýumin oksidi)-den takyk işlenip düzüldi. Ol ajaýyp egilme güýjüni (361 MPa), ýokary gatylygy (16 GPa) we pes dykyzlygy (3,93 g/sm³) özünde jemleýär, bu bolsa ýarymgeçiriji plastinka geçirmek üçin ýeňil, ýöne berk goly döredýär. Materialyň termal giňelme koeffisiýenti (7,2 × 10⁻⁶/°C) kremniý bilen ýakynlaşýar we gaýtadan işleniş wagtynda termal deňsizlikleri iň pes derejä düşürýär.
-
Alýumin oksidi ýokary takyklykly keramiki halkaly keramiki bölekler
Sowuk izostatik preslemek we ýokary temperaturada bişirmek arkaly emele getirilýän, soňra takyk işlenip we jylaňlanan keramiki ätiýaçlyk şaýlary aşynma garşylygy, korroziýa garşylygy, pes termal giňelme we izolýasiýa aýratynlyklary bilen ýarymgeçiriji enjamlaryň islendik berk talaplaryna laýyk gelip biler. Keramika ýokary temperatura, wakuum ýa-da korroziýa gazy şertlerinde uzak wagtlap ýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynyň dürli görnüşlerinde işläp biler.
Sowuk izostatik preslemek, ýokary temperatura bişirmek we takyk işläp taýýarlamak arkaly işlenen ýokary arassa alýumin okislotasy poroşogyndan ýasalyp, ölçeg çydamlylygy ±0,001 mm, ýüzleý abatlaýyş Ra 0,1, temperatura garşylygy 1600℃ ýetip bilýär.
-
ST.CERA Ýarymgeçiriji enjamlarynyň keramiki patronlary
Sowuk izostatik preslemek we ýokary temperaturada bişirmek arkaly emele getirilýän, soňra takyk işlenip we jylaňlanan keramiki ätiýaçlyk şaýlary aşynma garşylygy, korroziýa garşylygy, pes termal giňelme we izolýasiýa aýratynlyklary bilen ýarymgeçiriji enjamlaryň islendik berk talaplaryna laýyk gelip biler. Keramika ýokary temperatura, wakuum ýa-da korroziýa gazy şertlerinde uzak wagtlap ýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynyň dürli görnüşlerinde işläp biler.
Sowuk izostatik preslemek, ýokary temperatura bişirmek we takyk işläp taýýarlamak arkaly işlenen ýokary arassa alýumin okislotasy poroşogyndan ýasalyp, ölçeg çydamlylygy ±0,001 mm, ýüzleý abatlaýyş Ra 0,1, temperatura garşylygy 1600℃ ýetip bilýär.
-
Kremniý karbidi (SiC) keramiki uj effektory – ýokary temperaturaly wafer bilen işlemek üçin ýokary berklik
St.Cera-nyň SiC keramiki uç effektory S1111 partiýa materialyny ulanyp, ýokary arassa kremniý karbidinden (SiC mukdary 99.72%, erkin Si 0.05%) öndürilýär. Ol ajaýyp mehaniki häsiýetleri hödürleýär: egilme güýji 449 MPa (ölçenen), elastiklik moduly 457 GPa (ölçenen) we Wickers gatylygy 25–28 GPa (tipiki). Pes dykyzlyk (3.10–3.15 g/sm³, tipiki) ýokary tizlikli wafer geçiriji robotlar üçin ideal bolan ýokary aýratyn berkligi üpjün edýär. 120–150 W/m·K (tipiki) ýylylyk geçirijiligi we 4.0–4.5 × 10⁻⁶/℃ (tipiki) ýylylyk giňelme koeffisiýenti bilen bu uç effektor ýokary temperatura bilen işlenilende (1600–1700°C çenli, ýüksüz) ýylylygy netijeli ýaýradýar we ölçeg durnuklylygyny saklaýar. Gara/çal reňk we suwuň siňdirilmezligi arassa otagyň gabat gelmegini üpjün edýär.
-
Ýokary temperatura we plazma gurşawlary üçin kremniý karbidi (SiC) esasly wakuum patrony
St.Cera-nyň SiC esasly keramiki patrony ýokary arassa kremniý karbidinden öndürilýär (partiýa S1111, SiC 99.72%, erkin Si 0.05%). Ol 449 MPa ölçegli egilme güýjüni, 3.12 MPa·m¹/² döwülme berkligini we 457 GPa elastiklik moduluny üpjün edýär. Materialyň adaty ýylylyk geçirijiligi (120–150 W/m·K) we pes ýylylyk giňelmesi (4.0–4.5 × 10⁻⁶/℃) termal sikl wagtynda temperaturanyň çalt üýtgemegini we plastinkanyň minimal egriligini üpjün edýär. Patron gözenekli wakuum patrony (birmeňzeş gaz akymy) ýa-da oýukly standart patron hökmünde konfigurirlenip bilner. Maksimum ulanyş temperaturasy 1600–1700°C (ýüksüz) we ajaýyp plazma eroziýa garşylygy bilen, bu patron ýokary temperaturaly plastinka gaýtadan işlemek (taýlamak, RTP) we alýumin oksidi patronlarynyň dargaýan agressiw aşynma kameralary üçin idealdyr.
-
Ýarymgeçiriji enjamlar Keramik ätiýaçlyk şaýlary Keramik daşaýjylar
Sowuk izostatik preslemek we ýokary temperaturada bişirmek arkaly emele getirilýän, soňra takyk işlenip we jylaňlanan keramiki ätiýaçlyk şaýlary aşynma garşylygy, korroziýa garşylygy, pes termal giňelme we izolýasiýa aýratynlyklary bilen ýarymgeçiriji enjamlaryň islendik berk talaplaryna laýyk gelip biler. Keramika ýokary temperatura, wakuum ýa-da korroziýa gazy şertlerinde uzak wagtlap ýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynyň dürli görnüşlerinde işläp biler.
Sowuk izostatik preslemek, ýokary temperatura bişirmek we takyk işläp taýýarlamak arkaly işlenen ýokary arassa alýumin okislotasy poroşogyndan ýasalyp, ölçeg çydamlylygy ±0,001 mm, ýüzleý abatlaýyş Ra 0,1, temperatura garşylygy 1600℃ ýetip bilýär.
-
Ýokary berklikli sürtmek üçin metal esasly alýumin keramiki üwütmek halkasy
St.Cera-nyň metal esasly alýumin owradyjy halkasy ýokary arassa alýumin (99,8% Al₂O₃) keramiki aşynma gatlagyny takyk işlenen metal arkasy (adatça alýumin ýa-da poslamaýan polat) bilen birleşdirýär. Bu gibrid dizaýn owradyjy ýüzünde keramikanyň ajaýyp aşynma garşylygyny we himiki inertligini üpjün edýär, metal esas bolsa mehaniki berkligi, aňsat gurnama we döwülmelere garşylyk goşýar. Alýumin gatlagy 361 MPa egilme berkligini, 16 GPa Wikers berkligini we 800°C çenli termal durnuklylygyny üpjün edýär. Metall esas owradyjy maşynlara, planetar owradyjylara we CMP enjamlaryna integrasiýa etmek üçin gurnama deşikleri, ýerleşdiriji ştiftler ýa-da magnit häsiýetleri bilen sazlanýar.
-
Ýarymgeçirijili zond stansiýasynyň enjamlary üçin keramiki ätiýaçlyk şaýlary
Sowuk izostatik preslemek we ýokary temperaturada bişirmek arkaly emele getirilýän, soňra takyk işlenip we jylaňlanan keramiki ätiýaçlyk şaýlary aşynma garşylygy, korroziýa garşylygy, pes termal giňelme we izolýasiýa aýratynlyklary bilen ýarymgeçiriji enjamlaryň islendik berk talaplaryna laýyk gelip biler. Keramika ýokary temperatura, wakuum ýa-da korroziýa gazy şertlerinde uzak wagtlap ýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynyň dürli görnüşlerinde işläp biler.
Sowuk izostatik preslemek, ýokary temperatura bişirmek we takyk işläp taýýarlamak arkaly işlenen ýokary arassa alýumin okislotasy poroşogyndan ýasalyp, ölçeg çydamlylygy ±0,001 mm, ýüzleý abatlaýyş Ra 0,1, temperatura garşylygy 1600℃ ýetip bilýär.
