-
Keramické disky z oxidu hlinitého s vysokou čistotou
Keramické náhradní díly, vyrobené izostatickým lisováním za studena a spékané za vysoké teploty, následně přesně obráběné a leštěné, splňují všechny přísné požadavky na polovodičová zařízení díky svým vlastnostem odolnosti proti opotřebení, korozi, nízké tepelné roztažnosti a izolaci. Keramika může být dlouhodobě použitelná v mnoha druzích zařízení na výrobu polovodičů za podmínek vysoké teploty, vakua nebo korozivního plynu.
Vyrobeno z vysoce čistého práškového oxidu hlinitého, zpracovaného izostatickým lisováním za studena, slinováním za vysoké teploty a přesnou konečnou úpravou, dosahuje tolerance rozměrů ±0,001 mm, povrchové úpravy Ra 0,1 a teplotní odolnosti 1600 ℃.
-
rameno z oxidu hlinitého a keramiky
Keramické náhradní díly, vyrobené izostatickým lisováním za studena a spékané za vysoké teploty, následně přesně obráběné a leštěné, splňují všechny přísné požadavky na polovodičová zařízení díky svým vlastnostem odolnosti proti opotřebení, korozi, nízké tepelné roztažnosti a izolaci. Keramika může být dlouhodobě použitelná v mnoha druzích zařízení na výrobu polovodičů za podmínek vysoké teploty, vakua nebo korozivního plynu.
Vyrobeno z vysoce čistého práškového oxidu hlinitého, zpracovaného izostatickým lisováním za studena, slinováním za vysoké teploty a přesnou konečnou úpravou, dosahuje tolerance rozměrů ±0,001 mm, povrchové úpravy Ra 0,1 a teplotní odolnosti 1600 ℃.
-
Keramické izolační kroužky Keramické zaostřovací kroužky
Keramické náhradní díly, vyrobené izostatickým lisováním za studena a spékané za vysoké teploty, následně přesně obráběné a leštěné, splňují všechny přísné požadavky na polovodičová zařízení díky svým vlastnostem odolnosti proti opotřebení, korozi, nízké tepelné roztažnosti a izolaci. Keramika může být dlouhodobě použitelná v mnoha druzích zařízení na výrobu polovodičů za podmínek vysoké teploty, vakua nebo korozivního plynu.
Vyrobeno z vysoce čistého práškového oxidu hlinitého, zpracovaného izostatickým lisováním za studena, slinováním za vysoké teploty a přesnou konečnou úpravou, dosahuje tolerance rozměrů ±0,001 mm, povrchové úpravy Ra 0,1 a teplotní odolnosti 1600 ℃.
-
Izolační ochrana z keramického upínacího kroužku ST.CERA z oxidu hlinitého
Keramické náhradní díly, vyrobené izostatickým lisováním za studena a spékané za vysoké teploty, následně přesně obráběné a leštěné, splňují všechny přísné požadavky na polovodičová zařízení díky svým vlastnostem odolnosti proti opotřebení, korozi, nízké tepelné roztažnosti a izolaci. Keramika může být dlouhodobě použitelná v mnoha druzích zařízení na výrobu polovodičů za podmínek vysoké teploty, vakua nebo korozivního plynu.
Vyrobeno z vysoce čistého práškového oxidu hlinitého, zpracovaného izostatickým lisováním za studena, slinováním za vysoké teploty a přesnou konečnou úpravou, dosahuje tolerance rozměrů ±0,001 mm, povrchové úpravy Ra 0,1 a teplotní odolnosti 1600 ℃.
-
Robotické rameno z vysoce čistého oxidu hlinitého s keramikou pro manipulaci s destičkami
Robotické rameno z oxidu hlinitého (oxid hlinitý) od společnosti St.Cera je precizně vyrobeno z 99,8 % vysoce čistého Al₂O₃ (oxidu hlinitého). Spojuje v sobě výjimečnou pevnost v ohybu (361 MPa), vysokou tvrdost (16 GPa) a nízkou hustotu (3,93 g/cm³), což vede k lehkému, ale zároveň pevnému rameni pro přenos polovodičových destiček. Koeficient tepelné roztažnosti materiálu (7,2×10⁻⁶/°C) se úzce shoduje s křemíkem, čímž se minimalizuje tepelný nesoulad během zpracování.
-
Vysoce přesné keramické kroužky z oxidu hlinitého
Keramické náhradní díly, vyrobené izostatickým lisováním za studena a spékané za vysoké teploty, následně přesně obráběné a leštěné, splňují všechny přísné požadavky na polovodičová zařízení díky svým vlastnostem odolnosti proti opotřebení, korozi, nízké tepelné roztažnosti a izolaci. Keramika může být dlouhodobě použitelná v mnoha druzích zařízení na výrobu polovodičů za podmínek vysoké teploty, vakua nebo korozivního plynu.
Vyrobeno z vysoce čistého práškového oxidu hlinitého, zpracovaného izostatickým lisováním za studena, slinováním za vysoké teploty a přesnou konečnou úpravou, dosahuje tolerance rozměrů ±0,001 mm, povrchové úpravy Ra 0,1 a teplotní odolnosti 1600 ℃.
-
Keramická sklíčidla pro polovodičová zařízení ST.CERA na míru
Keramické náhradní díly, vyrobené izostatickým lisováním za studena a spékané za vysoké teploty, následně přesně obráběné a leštěné, splňují všechny přísné požadavky na polovodičová zařízení díky svým vlastnostem odolnosti proti opotřebení, korozi, nízké tepelné roztažnosti a izolaci. Keramika může být dlouhodobě použitelná v mnoha druzích zařízení na výrobu polovodičů za podmínek vysoké teploty, vakua nebo korozivního plynu.
Vyrobeno z vysoce čistého práškového oxidu hlinitého, zpracovaného izostatickým lisováním za studena, slinováním za vysoké teploty a přesnou konečnou úpravou, dosahuje tolerance rozměrů ±0,001 mm, povrchové úpravy Ra 0,1 a teplotní odolnosti 1600 ℃.
-
Keramický koncový efektor z karbidu křemíku (SiC) – vysoká tuhost pro manipulaci s destičkami za vysokých teplot
Keramický koncový efektor St.Cera SiC je vyroben z vysoce čistého karbidu křemíku (obsah SiC 99,72 %, volný Si 0,05 %) s použitím materiálu S1111. Nabízí výjimečné mechanické vlastnosti: pevnost v ohybu 449 MPa (naměřeno), modul pružnosti 457 GPa (naměřeno) a tvrdost podle Vickerse 25–28 GPa (typicky). Nízká hustota (3,10–3,15 g/cm³, typicky) poskytuje vysokou specifickou tuhost, ideální pro vysokorychlostní roboty pro přenos destiček. S tepelnou vodivostí 120–150 W/m·K (typicky) a koeficientem tepelné roztažnosti 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (typicky) tento koncový efektor účinně odvádí teplo a udržuje rozměrovou stabilitu při manipulaci za vysokých teplot (až 1600–1700 °C, bez zatížení). Černošedá barva a nulová absorpce vody zajišťují kompatibilitu s čistými prostory.
-
Vakuové upínače na bázi karbidu křemíku (SiC) pro vysokoteplotní a plazmová prostředí
Keramický upínač St.Cera na bázi SiC je vyroben z vysoce čistého karbidu křemíku (šarže S1111, SiC 99,72 %, volný Si 0,05 %). Dosahuje naměřené pevnosti v ohybu 449 MPa, lomové houževnatosti 3,12 MPa·m¹/² a modulu pružnosti 457 GPa. Typická tepelná vodivost materiálu (120–150 W/m·K) a nízká tepelná roztažnost (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) umožňují rychlé zvyšování teploty a minimální deformaci destičky během tepelného cyklování. Upínač lze konfigurovat jako porézní vakuový upínač (rovnoměrné proudění plynu) nebo drážkovaný standardní upínač. Díky maximální provozní teplotě 1600–1700 °C (bez zátěže) a výjimečné odolnosti proti plazmové erozi je tento upínač ideální pro vysokoteplotní zpracování destiček (žíhání, RTP) a agresivní leptací komory, kde dochází k degradaci upínačů z oxidu hlinitého.
-
Polovodičové zařízení Keramické náhradní díly Keramické nosiče
Keramické náhradní díly, vyrobené izostatickým lisováním za studena a spékané za vysoké teploty, následně přesně obráběné a leštěné, splňují všechny přísné požadavky na polovodičová zařízení díky svým vlastnostem odolnosti proti opotřebení, korozi, nízké tepelné roztažnosti a izolaci. Keramika může být dlouhodobě použitelná v mnoha druzích zařízení na výrobu polovodičů za podmínek vysoké teploty, vakua nebo korozivního plynu.
Vyrobeno z vysoce čistého práškového oxidu hlinitého, zpracovaného izostatickým lisováním za studena, slinováním za vysoké teploty a přesnou konečnou úpravou, dosahuje tolerance rozměrů ±0,001 mm, povrchové úpravy Ra 0,1 a teplotní odolnosti 1600 ℃.
-
Brusný kroužek z oxidu hlinitého s kovovou podložkou a keramickým povrchem pro vysoce tuhé lapovací aplikace
Kovový brusný kroužek z oxidu hlinitého od společnosti St.Cera kombinuje vysoce čistý keramický otěrový kroužek z oxidu hlinitého (99,8 % Al₂O₃) s přesně opracovaným kovovým podkladem (obvykle hliník nebo nerezová ocel). Tato hybridní konstrukce poskytuje výjimečnou odolnost proti opotřebení a chemickou inertnost keramiky na brusném povrchu, zatímco kovová základna dodává mechanickou pevnost, snadnou montáž a odolnost proti křehkému lomu. Vrstva oxidu hlinitého nabízí pevnost v ohybu 361 MPa, tvrdost podle Vickerse 16 GPa a tepelnou stabilitu až do 800 °C. Kovová základna je opatřena montážními otvory, polohovacími kolíky nebo magnetickými vlastnostmi pro integraci do lapovacích strojů, planetových brusek a zařízení CMP.
-
Keramické náhradní díly pro zařízení polovodičových sond
Keramické náhradní díly, vyrobené izostatickým lisováním za studena a spékané za vysoké teploty, následně přesně obráběné a leštěné, splňují všechny přísné požadavky na polovodičová zařízení díky svým vlastnostem odolnosti proti opotřebení, korozi, nízké tepelné roztažnosti a izolaci. Keramika může být dlouhodobě použitelná v mnoha druzích zařízení na výrobu polovodičů za podmínek vysoké teploty, vakua nebo korozivního plynu.
Vyrobeno z vysoce čistého práškového oxidu hlinitého, zpracovaného izostatickým lisováním za studena, slinováním za vysoké teploty a přesnou konečnou úpravou, dosahuje tolerance rozměrů ±0,001 mm, povrchové úpravy Ra 0,1 a teplotní odolnosti 1600 ℃.
