-
ከፍተኛ ንፅህና ያላቸው የአልሙኒየም ሴራሚክ ዲስኮች
በቅዝቃዜ ኢሶስታቲክ ፕሬስ እና በከፍተኛ ሙቀት ስር በሲንጥ የተሰራ፣ ከዚያም በትክክል በማሽን እና በማጥራት የተሰራው የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች ማንኛውንም ጥብቅ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን መስፈርቶች ሊያሟሉ ይችላሉ፣ ይህም የአለባበስ መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና መከላከያ ባህሪያት አሉት። ሴራሚክስ ለረጅም ጊዜ ከፍተኛ ሙቀት፣ የቫክዩም ወይም የዝገት ጋዝ ባለባቸው በብዙ አይነት የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ ሊሰራ ይችላል።
ከከፍተኛ ንፁህ የአልሙና ዱቄት የተሰራ፣ በቀዝቃዛ ኢሶስታቲክ ፕሬስ፣ በከፍተኛ የሙቀት መጠን ሲንቴሪንግ እና በትክክለኛ አጨራረስ የተሰራ፣ እስከ ±0.001 ሚሜ የሚደርስ የመለኪያ መቻቻል፣ የገጽታ ማጠናቀቂያ Ra 0.1፣ የሙቀት መቋቋም 1600℃ ሊደርስ ይችላል።
-
የአሉሚኒየም ሴራሚክ ክንድ
በቅዝቃዜ ኢሶስታቲክ ፕሬስ እና በከፍተኛ ሙቀት ስር በሲንጥ የተሰራ፣ ከዚያም በትክክል በማሽን እና በማጥራት የተሰራው የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች ማንኛውንም ጥብቅ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን መስፈርቶች ሊያሟሉ ይችላሉ፣ ይህም የአለባበስ መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና መከላከያ ባህሪያት አሉት። ሴራሚክስ ለረጅም ጊዜ ከፍተኛ ሙቀት፣ የቫክዩም ወይም የዝገት ጋዝ ባለባቸው በብዙ አይነት የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ ሊሰራ ይችላል።
ከከፍተኛ ንፁህ የአልሙና ዱቄት የተሰራ፣ በቀዝቃዛ ኢሶስታቲክ ፕሬስ፣ በከፍተኛ የሙቀት መጠን ሲንቴሪንግ እና በትክክለኛ አጨራረስ የተሰራ፣ እስከ ±0.001 ሚሜ የሚደርስ የመለኪያ መቻቻል፣ የገጽታ ማጠናቀቂያ Ra 0.1፣ የሙቀት መቋቋም 1600℃ ሊደርስ ይችላል።
-
የሴራሚክ ኢንሱሌሽን ቀለበቶች የሴራሚክ ትኩረት ቀለበቶች
በቅዝቃዜ ኢሶስታቲክ ፕሬስ እና በከፍተኛ ሙቀት ስር በሲንጥ የተሰራ፣ ከዚያም በትክክል በማሽን እና በማጥራት የተሰራው የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች ማንኛውንም ጥብቅ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን መስፈርቶች ሊያሟሉ ይችላሉ፣ ይህም የአለባበስ መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና መከላከያ ባህሪያት አሉት። ሴራሚክስ ለረጅም ጊዜ ከፍተኛ ሙቀት፣ የቫክዩም ወይም የዝገት ጋዝ ባለባቸው በብዙ አይነት የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ ሊሰራ ይችላል።
ከከፍተኛ ንፁህ የአልሙና ዱቄት የተሰራ፣ በቀዝቃዛ ኢሶስታቲክ ፕሬስ፣ በከፍተኛ የሙቀት መጠን ሲንቴሪንግ እና በትክክለኛ አጨራረስ የተሰራ፣ እስከ ±0.001 ሚሜ የሚደርስ የመለኪያ መቻቻል፣ የገጽታ ማጠናቀቂያ Ra 0.1፣ የሙቀት መቋቋም 1600℃ ሊደርስ ይችላል።
-
የST.CERA አሉሚና የሴራሚክ ክላምፕ ቀለበት መከላከያ
በቅዝቃዜ ኢሶስታቲክ ፕሬስ እና በከፍተኛ ሙቀት ስር በሲንጥ የተሰራ፣ ከዚያም በትክክል በማሽን እና በማጥራት የተሰራው የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች ማንኛውንም ጥብቅ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን መስፈርቶች ሊያሟሉ ይችላሉ፣ ይህም የአለባበስ መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና መከላከያ ባህሪያት አሉት። ሴራሚክስ ለረጅም ጊዜ ከፍተኛ ሙቀት፣ የቫክዩም ወይም የዝገት ጋዝ ባለባቸው በብዙ አይነት የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ ሊሰራ ይችላል።
ከከፍተኛ ንፁህ የአልሙና ዱቄት የተሰራ፣ በቀዝቃዛ ኢሶስታቲክ ፕሬስ፣ በከፍተኛ የሙቀት መጠን ሲንቴሪንግ እና በትክክለኛ አጨራረስ የተሰራ፣ እስከ ±0.001 ሚሜ የሚደርስ የመለኪያ መቻቻል፣ የገጽታ ማጠናቀቂያ Ra 0.1፣ የሙቀት መቋቋም 1600℃ ሊደርስ ይችላል።
-
ለዋፈር አያያዝ ከፍተኛ ንፁህ የሆነ የአሉሚና ሴራሚክ ሮቦት ክንድ
የቅዱስ ሴራ የአልሙኒየም ሴራሚክ ሮቦት ክንድ ከ99.8% ከፍተኛ ንፅህና Al₂O₃ (አልሙና) ትክክለኛ በሆነ መንገድ የተቀረፀ ነው። ልዩ የሆነ የመተጣጠፍ ጥንካሬ (361 MPa)፣ ከፍተኛ ጥንካሬ (16 GPa) እና ዝቅተኛ ጥግግት (3.93 ግ/ሴሜ³) ያጣምራል፣ ይህም ለሴሚኮንዳክተር ዋፈር ዝውውር ቀላል ክብደት ያለው ግን ግትር ክንድ ያስገኛል። የቁሱ የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት (7.2×10⁻⁶/°C) ከሲሊኮን ጋር በቅርበት ይጣጣማል፣ ይህም በማቀነባበሪያ ወቅት የሙቀት አለመጣጣምን ይቀንሳል።
-
ከፍተኛ-ትክክለኛነት ያለው የአሉሚና የሴራሚክ ቀለበት የሴራሚክ ክፍሎች
በቅዝቃዜ ኢሶስታቲክ ፕሬስ እና በከፍተኛ ሙቀት ስር በሲንጥ የተሰራ፣ ከዚያም በትክክል በማሽን እና በማጥራት የተሰራው የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች ማንኛውንም ጥብቅ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን መስፈርቶች ሊያሟሉ ይችላሉ፣ ይህም የአለባበስ መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና መከላከያ ባህሪያት አሉት። ሴራሚክስ ለረጅም ጊዜ ከፍተኛ ሙቀት፣ የቫክዩም ወይም የዝገት ጋዝ ባለባቸው በብዙ አይነት የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ ሊሰራ ይችላል።
ከከፍተኛ ንፁህ የአልሙና ዱቄት የተሰራ፣ በቀዝቃዛ ኢሶስታቲክ ፕሬስ፣ በከፍተኛ የሙቀት መጠን ሲንቴሪንግ እና በትክክለኛ አጨራረስ የተሰራ፣ እስከ ±0.001 ሚሜ የሚደርስ የመለኪያ መቻቻል፣ የገጽታ ማጠናቀቂያ Ra 0.1፣ የሙቀት መቋቋም 1600℃ ሊደርስ ይችላል።
-
ST.CERA ብጁ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች የሴራሚክ ቹክ
በቅዝቃዜ ኢሶስታቲክ ፕሬስ እና በከፍተኛ ሙቀት ስር በሲንጥ የተሰራ፣ ከዚያም በትክክል በማሽን እና በማጥራት የተሰራው የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች ማንኛውንም ጥብቅ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን መስፈርቶች ሊያሟሉ ይችላሉ፣ ይህም የአለባበስ መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና መከላከያ ባህሪያት አሉት። ሴራሚክስ ለረጅም ጊዜ ከፍተኛ ሙቀት፣ የቫክዩም ወይም የዝገት ጋዝ ባለባቸው በብዙ አይነት የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ ሊሰራ ይችላል።
ከከፍተኛ ንፁህ የአልሙና ዱቄት የተሰራ፣ በቀዝቃዛ ኢሶስታቲክ ፕሬስ፣ በከፍተኛ የሙቀት መጠን ሲንቴሪንግ እና በትክክለኛ አጨራረስ የተሰራ፣ እስከ ±0.001 ሚሜ የሚደርስ የመለኪያ መቻቻል፣ የገጽታ ማጠናቀቂያ Ra 0.1፣ የሙቀት መቋቋም 1600℃ ሊደርስ ይችላል።
-
የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) የሴራሚክ መጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪ - ለከፍተኛ ሙቀት ዋፈር አያያዝ ከፍተኛ ጥንካሬ
የቅዱስ ሴራ ሲሲ የሴራሚክ መጨረሻ ኢፌክተር የሚመረተው ከፍተኛ ንፁህ ከሆነው የሲሊኮን ካርቦይድ (የሲሲ ይዘት 99.72%፣ ነፃ ሲ 0.05%) የS1111 ባች ቁሳቁስ በመጠቀም ነው። ልዩ የሆኑ የሜካኒካል ባህሪያትን ያቀርባል፡ የመተጣጠፍ ጥንካሬ 449 MPa (የተለካ)፣ የመለጠጥ ሞዱለስ 457 GPa (የተለካ) እና የቪከርስ ጥንካሬ 25-28 GPa (የተለመደ)። ዝቅተኛ ጥግግት (3.10-3.15 ግ/ሴሜ³፣ ዓይነተኛ) ከፍተኛ የተወሰነ ጥንካሬን ይሰጣል፣ ለከፍተኛ ፍጥነት ዋፈር ማስተላለፊያ ሮቦቶች ተስማሚ። የሙቀት አማቂነት 120-150 W/m·K (የተለመደ) እና የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት 4.0-4.5×10⁻⁶/℃ (የተለመደ) ያለው ይህ የመጨረሻ ኢፌክተር ሙቀትን ውጤታማ በሆነ መንገድ ያራግፋል እና በከፍተኛ ሙቀት አያያዝ ወቅት የልኬት መረጋጋትን ይጠብቃል (እስከ 1600-1700°ሴ፣ ምንም ጭነት የለም)። ጥቁር/ግራጫ ቀለም እና ዜሮ የውሃ መምጠጥ የንፁህ ክፍል ተኳሃኝነትን ያረጋግጣሉ።
-
ለከፍተኛ ሙቀት እና ለፕላዝማ አካባቢዎች በሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ላይ የተመሠረተ የቫኩም ቻክ
የሴራ ሲሲ ላይ የተመሠረተ የሴራሚክ ክላች የሚመረተው ከፍተኛ ንፁህ ከሆነው ሲሊከን ካርቦይድ (ባች S1111፣ SiC 99.72%፣ ነፃ Si 0.05%) ነው። የሚለካ የ449 MPa የመተጣጠፍ ጥንካሬ፣ የ3.12 MPa·m¹/² ስብራት ጥንካሬ እና የ457 GPa የመለጠጥ ሞዱለስ ያቀርባል። የቁሳቁሱ የተለመደው የሙቀት ማስተላለፊያ (120–150 W/m·K) እና ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) በሙቀት ዑደት ወቅት ፈጣን የሙቀት መወጣጫ እና አነስተኛ የዋፈር ዋርፔጅ ያስችላሉ። ክላቹ እንደ ቀዳዳ ያለው የቫክዩም ክላች (ወጥ የሆነ የጋዝ ፍሰት) ወይም የተቦረቦረ መደበኛ ክላች ሊዋቀር ይችላል። ከፍተኛው የአጠቃቀም ሙቀት 1600–1700°ሴ (ጭነት የሌለው) እና ልዩ የሆነ የፕላዝማ መሸርሸር መቋቋም ስላለው፣ ይህ ክላቹ ለከፍተኛ የሙቀት መጠን ዋፈር ማቀነባበሪያ (ማኒሊንግ፣ RTP) እና አሉሚና ክላቹ የሚበላሹ ኃይለኛ የኤች ክፍሎች ተስማሚ ነው።
-
የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች የሴራሚክ መለዋወጫ ዕቃዎች የሴራሚክ ተሸካሚዎች
በቅዝቃዜ ኢሶስታቲክ ፕሬስ እና በከፍተኛ ሙቀት ስር በሲንጥ የተሰራ፣ ከዚያም በትክክል በማሽን እና በማጥራት የተሰራው የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች ማንኛውንም ጥብቅ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን መስፈርቶች ሊያሟሉ ይችላሉ፣ ይህም የአለባበስ መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና መከላከያ ባህሪያት አሉት። ሴራሚክስ ለረጅም ጊዜ ከፍተኛ ሙቀት፣ የቫክዩም ወይም የዝገት ጋዝ ባለባቸው በብዙ አይነት የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ ሊሰራ ይችላል።
ከከፍተኛ ንፁህ የአልሙና ዱቄት የተሰራ፣ በቀዝቃዛ ኢሶስታቲክ ፕሬስ፣ በከፍተኛ የሙቀት መጠን ሲንቴሪንግ እና በትክክለኛ አጨራረስ የተሰራ፣ እስከ ±0.001 ሚሜ የሚደርስ የመለኪያ መቻቻል፣ የገጽታ ማጠናቀቂያ Ra 0.1፣ የሙቀት መቋቋም 1600℃ ሊደርስ ይችላል።
-
ለከፍተኛ ጥንካሬ አፕሊኬሽኖች በብረት የተደገፈ የአልሙና ሴራሚክ መፍጨት ቀለበት
የቅዱስ ሴራ የብረት ላይ የተመሠረተ የአልሙኒየም መፍጫ ቀለበት ከፍተኛ ንፁህ የሆነ የአልሙኒየም (99.8% Al₂O₃) የሴራሚክ መልበስ ንብርብር ከትክክለኛ ማሽን የተሰራ የብረት ድጋፍ (በተለምዶ አልሙኒየም ወይም አይዝጌ ብረት) ጋር ያጣምራል። ይህ የተቀላቀለ ዲዛይን በመፍጫ ወለል ላይ የሴራሚክ ልዩ የመልበስ መቋቋም እና የኬሚካል አለመመጣጠን ይሰጣል፣ የብረት መሠረቱ ደግሞ ሜካኒካል ጥንካሬን፣ ቀላል መጫኛን እና ለብልሽት ስብራት የመቋቋም አቅምን ይጨምራል። የአልሙና ንብርብር 361 MPa የመተጣጠፍ ጥንካሬ፣ የቪከርስ ጥንካሬ 16 GPa እና እስከ 800°ሴ የሚደርስ የሙቀት መረጋጋት ይሰጣል። የብረት መሠረቱ በማሰሪያ ቀዳዳዎች፣ በቦታ ማሽነሪዎች፣ በፕላኔቶች መፍጫ ማሽኖች እና በሲኤምፒ መሳሪያዎች ውስጥ ለመዋሃድ በማግኔት ባህሪያት የተበጀ ነው።
-
ለሴሚኮንዳክተር ምርመራ ጣቢያ መሳሪያዎች የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች
በቅዝቃዜ ኢሶስታቲክ ፕሬስ እና በከፍተኛ ሙቀት ስር በሲንጥ የተሰራ፣ ከዚያም በትክክል በማሽን እና በማጥራት የተሰራው የሴራሚክ መለዋወጫ ክፍሎች ማንኛውንም ጥብቅ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን መስፈርቶች ሊያሟሉ ይችላሉ፣ ይህም የአለባበስ መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና መከላከያ ባህሪያት አሉት። ሴራሚክስ ለረጅም ጊዜ ከፍተኛ ሙቀት፣ የቫክዩም ወይም የዝገት ጋዝ ባለባቸው በብዙ አይነት የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ ሊሰራ ይችላል።
ከከፍተኛ ንፁህ የአልሙና ዱቄት የተሰራ፣ በቀዝቃዛ ኢሶስታቲክ ፕሬስ፣ በከፍተኛ የሙቀት መጠን ሲንቴሪንግ እና በትክክለኛ አጨራረስ የተሰራ፣ እስከ ±0.001 ሚሜ የሚደርስ የመለኪያ መቻቻል፣ የገጽታ ማጠናቀቂያ Ra 0.1፣ የሙቀት መቋቋም 1600℃ ሊደርስ ይችላል።
