-
Augstas tīrības pakāpes alumīnija keramikas diski
Keramikas rezerves daļas, kas izgatavotas ar aukstu izostatisko presēšanu un saķepinātas augstā temperatūrā, pēc tam precīzi apstrādātas un pulētas, var atbilst visām stingrajām pusvadītāju iekārtu prasībām, pateicoties to nodilumizturībai, izturībai pret koroziju, zemai termiskajai izplešanai un izolācijai. Keramika var ilgstoši darboties daudzos pusvadītāju ražošanas iekārtās, kas darbojas augstā temperatūrā, vakuumā vai kodīgā gāzē.
Izgatavots no augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda pulvera, apstrādāts ar aukstu izostatisku presēšanu, augstas temperatūras saķepināšanu un precīzu apdari, tas var sasniegt izmēru pielaidi ±0,001 mm, virsmas apdari Ra 0,1, temperatūras izturību 1600 ℃.
-
alumīnija keramikas roka
Keramikas rezerves daļas, kas izgatavotas ar aukstu izostatisko presēšanu un saķepinātas augstā temperatūrā, pēc tam precīzi apstrādātas un pulētas, var atbilst visām stingrajām pusvadītāju iekārtu prasībām, pateicoties to nodilumizturībai, izturībai pret koroziju, zemai termiskajai izplešanai un izolācijai. Keramika var ilgstoši darboties daudzos pusvadītāju ražošanas iekārtās, kas darbojas augstā temperatūrā, vakuumā vai kodīgā gāzē.
Izgatavots no augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda pulvera, apstrādāts ar aukstu izostatisku presēšanu, augstas temperatūras saķepināšanu un precīzu apdari, tas var sasniegt izmēru pielaidi ±0,001 mm, virsmas apdari Ra 0,1, temperatūras izturību 1600 ℃.
-
Keramikas izolācijas gredzeni Keramikas fokusēšanas gredzeni
Keramikas rezerves daļas, kas izgatavotas ar aukstu izostatisko presēšanu un saķepinātas augstā temperatūrā, pēc tam precīzi apstrādātas un pulētas, var atbilst visām stingrajām pusvadītāju iekārtu prasībām, pateicoties to nodilumizturībai, izturībai pret koroziju, zemai termiskajai izplešanai un izolācijai. Keramika var ilgstoši darboties daudzos pusvadītāju ražošanas iekārtās, kas darbojas augstā temperatūrā, vakuumā vai kodīgā gāzē.
Izgatavots no augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda pulvera, apstrādāts ar aukstu izostatisku presēšanu, augstas temperatūras saķepināšanu un precīzu apdari, tas var sasniegt izmēru pielaidi ±0,001 mm, virsmas apdari Ra 0,1, temperatūras izturību 1600 ℃.
-
ST.CERA alumīnija keramikas skavas gredzena izolācijas aizsardzība
Keramikas rezerves daļas, kas izgatavotas ar aukstu izostatisko presēšanu un saķepinātas augstā temperatūrā, pēc tam precīzi apstrādātas un pulētas, var atbilst visām stingrajām pusvadītāju iekārtu prasībām, pateicoties to nodilumizturībai, izturībai pret koroziju, zemai termiskajai izplešanai un izolācijai. Keramika var ilgstoši darboties daudzos pusvadītāju ražošanas iekārtās, kas darbojas augstā temperatūrā, vakuumā vai kodīgā gāzē.
Izgatavots no augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda pulvera, apstrādāts ar aukstu izostatisku presēšanu, augstas temperatūras saķepināšanu un precīzu apdari, tas var sasniegt izmēru pielaidi ±0,001 mm, virsmas apdari Ra 0,1, temperatūras izturību 1600 ℃.
-
Augstas tīrības pakāpes alumīnija keramikas robota roka vafeļu apstrādei
St.Cera alumīnija oksīda keramikas robota roka ir precīzi konstruēta no 99,8 % augstas tīrības pakāpes Al₂O₃ (alumīnija oksīda). Tā apvieno izcilu lieces izturību (361 MPa), augstu cietību (16 GPa) un zemu blīvumu (3,93 g/cm³), kā rezultātā tā ir viegla, bet stingra roka pusvadītāju plākšņu pārnešanai. Materiāla termiskās izplešanās koeficients (7,2 × 10⁻⁶/°C) precīzi atbilst silīcijam, samazinot termisko neatbilstību apstrādes laikā.
-
Alumīnija oksīda augstas precizitātes keramikas gredzena keramikas detaļas
Keramikas rezerves daļas, kas izgatavotas ar aukstu izostatisko presēšanu un saķepinātas augstā temperatūrā, pēc tam precīzi apstrādātas un pulētas, var atbilst visām stingrajām pusvadītāju iekārtu prasībām, pateicoties to nodilumizturībai, izturībai pret koroziju, zemai termiskajai izplešanai un izolācijai. Keramika var ilgstoši darboties daudzos pusvadītāju ražošanas iekārtās, kas darbojas augstā temperatūrā, vakuumā vai kodīgā gāzē.
Izgatavots no augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda pulvera, apstrādāts ar aukstu izostatisku presēšanu, augstas temperatūras saķepināšanu un precīzu apdari, tas var sasniegt izmēru pielaidi ±0,001 mm, virsmas apdari Ra 0,1, temperatūras izturību 1600 ℃.
-
ST.CERA pielāgotas pusvadītāju iekārtas keramikas patronas
Keramikas rezerves daļas, kas izgatavotas ar aukstu izostatisko presēšanu un saķepinātas augstā temperatūrā, pēc tam precīzi apstrādātas un pulētas, var atbilst visām stingrajām pusvadītāju iekārtu prasībām, pateicoties to nodilumizturībai, izturībai pret koroziju, zemai termiskajai izplešanai un izolācijai. Keramika var ilgstoši darboties daudzos pusvadītāju ražošanas iekārtās, kas darbojas augstā temperatūrā, vakuumā vai kodīgā gāzē.
Izgatavots no augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda pulvera, apstrādāts ar aukstu izostatisku presēšanu, augstas temperatūras saķepināšanu un precīzu apdari, tas var sasniegt izmēru pielaidi ±0,001 mm, virsmas apdari Ra 0,1, temperatūras izturību 1600 ℃.
-
Silīcija karbīda (SiC) keramikas gala efektors — augsta stingrība augstas temperatūras vafeļu apstrādei
St.Cera SiC keramikas gala efektors ir izgatavots no augstas tīrības pakāpes silīcija karbīda (SiC saturs 99,72%, brīvais Si 0,05%), izmantojot S1111 partijas materiālu. Tam ir izcilas mehāniskās īpašības: lieces izturība 449 MPa (izmērīta), elastības modulis 457 GPa (izmērīta) un Vikersa cietība 25–28 GPa (tipiska). Zemais blīvums (3,10–3,15 g/cm³, tipiski) nodrošina augstu īpatnējo stingrību, kas ir ideāli piemērota ātrgaitas vafeļu pārneses robotiem. Ar siltumvadītspēju 120–150 W/m·K (tipiska) un termiskās izplešanās koeficientu 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (tipiska), šis gala efektors efektīvi izkliedē siltumu un saglabā izmēru stabilitāti augstas temperatūras apstrādes laikā (līdz 1600–1700°C, bez slodzes). Melnā/pelēkā krāsa un nulles ūdens absorbcija nodrošina saderību ar tīrtelpu.
-
Silīcija karbīda (SiC) vakuuma patrona augstas temperatūras un plazmas vidēm
St.Cera SiC bāzes keramikas patrona ir izgatavota no augstas tīrības pakāpes silīcija karbīda (partija S1111, SiC 99,72%, brīvais Si 0,05%). Tā nodrošina izmērīto lieces izturību 449 MPa, plīsuma izturību 3,12 MPa·m¹/² un elastības moduli 457 GPa. Materiāla tipiskā siltumvadītspēja (120–150 W/m·K) un zemā termiskā izplešanās (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) nodrošina strauju temperatūras paaugstināšanos un minimālu vafeļu deformāciju termiskās cikla laikā. Patronu var konfigurēt kā porainu vakuuma patronu (vienmērīga gāzes plūsma) vai rievotu standarta patronu. Ar maksimālo lietošanas temperatūru 1600–1700°C (bez slodzes) un izcilu izturību pret plazmas eroziju, šī patrona ir ideāli piemērota augstas temperatūras vafeļu apstrādei (atkvēlināšanai, RTP) un agresīvām kodināšanas kamerām, kur alumīnija oksīda patronas degradējas.
-
Pusvadītāju iekārtas Keramikas rezerves daļas Keramikas nesēji
Keramikas rezerves daļas, kas izgatavotas ar aukstu izostatisko presēšanu un saķepinātas augstā temperatūrā, pēc tam precīzi apstrādātas un pulētas, var atbilst visām stingrajām pusvadītāju iekārtu prasībām, pateicoties to nodilumizturībai, izturībai pret koroziju, zemai termiskajai izplešanai un izolācijai. Keramika var ilgstoši darboties daudzos pusvadītāju ražošanas iekārtās, kas darbojas augstā temperatūrā, vakuumā vai kodīgā gāzē.
Izgatavots no augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda pulvera, apstrādāts ar aukstu izostatisku presēšanu, augstas temperatūras saķepināšanu un precīzu apdari, tas var sasniegt izmēru pielaidi ±0,001 mm, virsmas apdari Ra 0,1, temperatūras izturību 1600 ℃.
-
Ar metāla pamatni pārklāts alumīnija oksīda keramikas slīpēšanas gredzens augstas stingrības slīpēšanas darbiem
St.Cera metāla bāzes alumīnija oksīda slīpēšanas gredzens apvieno augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda (99,8 % Al₂O₃) keramikas nodiluma slāni ar precīzi apstrādātu metāla pamatni (parasti alumīniju vai nerūsējošo tēraudu). Šī hibrīdā konstrukcija nodrošina izcilu keramikas nodilumizturību un ķīmisko inerci uz slīpēšanas virsmas, savukārt metāla pamatne nodrošina mehānisko izturību, vieglu montāžu un izturību pret trausliem lūzumiem. Alumīnija oksīda slānis nodrošina lieces izturību 361 MPa, Vikersa cietību 16 GPa un termisko stabilitāti līdz 800 °C. Metāla pamatne ir pielāgota ar montāžas caurumiem, pozicionēšanas tapām vai magnētiskām īpašībām integrācijai slīpēšanas mašīnās, planētu slīpmašīnās un CMP iekārtās.
-
Keramikas rezerves daļas pusvadītāju zondes stacijas iekārtām
Keramikas rezerves daļas, kas izgatavotas ar aukstu izostatisko presēšanu un saķepinātas augstā temperatūrā, pēc tam precīzi apstrādātas un pulētas, var atbilst visām stingrajām pusvadītāju iekārtu prasībām, pateicoties to nodilumizturībai, izturībai pret koroziju, zemai termiskajai izplešanai un izolācijai. Keramika var ilgstoši darboties daudzos pusvadītāju ražošanas iekārtās, kas darbojas augstā temperatūrā, vakuumā vai kodīgā gāzē.
Izgatavots no augstas tīrības pakāpes alumīnija oksīda pulvera, apstrādāts ar aukstu izostatisku presēšanu, augstas temperatūras saķepināšanu un precīzu apdari, tas var sasniegt izmēru pielaidi ±0,001 mm, virsmas apdari Ra 0,1, temperatūras izturību 1600 ℃.
