-
ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള അലുമിന സെറാമിക് ഡിസ്കുകൾ
തണുത്ത ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് അമർത്തി ഉയർന്ന താപനിലയിൽ സിന്റർ ചെയ്‌ത് രൂപപ്പെടുത്തിയ സെറാമിക് സ്പെയർ പാർട്‌സിന്, പിന്നീട് കൃത്യതയോടെ മെഷീൻ ചെയ്‌ത് മിനുക്കിയെടുക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം, നാശന പ്രതിരോധം, കുറഞ്ഞ താപ വികാസം, ഇൻസുലേഷൻ എന്നീ സവിശേഷതകളുള്ള സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങളുടെ ഏത് കർശനമായ ആവശ്യകതകളും നിറവേറ്റാൻ കഴിയും. ഉയർന്ന താപനില, വാക്വം അല്ലെങ്കിൽ കോറോസിവ് ഗ്യാസ് എന്നിവയുടെ അവസ്ഥയിൽ വളരെക്കാലം പലതരം സെമികണ്ടക്ടർ ഉൽ‌പാദന ഉപകരണങ്ങളിൽ സെറാമിക്സിന് പ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയും.
ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള അലുമിന പൊടിയിൽ നിന്ന് നിർമ്മിച്ചത്, കോൾഡ് ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് പ്രസ്സിംഗ്, ഉയർന്ന താപനില സിന്ററിംഗ്, പ്രിസിഷൻ ഫിനിഷിംഗ് എന്നിവ ഉപയോഗിച്ച് പ്രോസസ്സ് ചെയ്ത ഇതിന് ±0.001 mm വരെ അളവിലുള്ള സഹിഷ്ണുത, ഉപരിതല ഫിനിഷ് Ra 0.1, താപനില പ്രതിരോധം 1600℃ വരെ എത്താൻ കഴിയും.
-
അലുമിന സെറാമിക് കൈ
തണുത്ത ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് അമർത്തി ഉയർന്ന താപനിലയിൽ സിന്റർ ചെയ്‌ത് രൂപപ്പെടുത്തിയ സെറാമിക് സ്പെയർ പാർട്‌സിന്, പിന്നീട് കൃത്യതയോടെ മെഷീൻ ചെയ്‌ത് മിനുക്കിയെടുക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം, നാശന പ്രതിരോധം, കുറഞ്ഞ താപ വികാസം, ഇൻസുലേഷൻ എന്നീ സവിശേഷതകളുള്ള സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങളുടെ ഏത് കർശനമായ ആവശ്യകതകളും നിറവേറ്റാൻ കഴിയും. ഉയർന്ന താപനില, വാക്വം അല്ലെങ്കിൽ കോറോസിവ് ഗ്യാസ് എന്നിവയുടെ അവസ്ഥയിൽ വളരെക്കാലം പലതരം സെമികണ്ടക്ടർ ഉൽ‌പാദന ഉപകരണങ്ങളിൽ സെറാമിക്സിന് പ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയും.
ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള അലുമിന പൊടിയിൽ നിന്ന് നിർമ്മിച്ചത്, കോൾഡ് ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് പ്രസ്സിംഗ്, ഉയർന്ന താപനില സിന്ററിംഗ്, പ്രിസിഷൻ ഫിനിഷിംഗ് എന്നിവ ഉപയോഗിച്ച് പ്രോസസ്സ് ചെയ്ത ഇതിന് ±0.001 mm വരെ അളവിലുള്ള സഹിഷ്ണുത, ഉപരിതല ഫിനിഷ് Ra 0.1, താപനില പ്രതിരോധം 1600℃ വരെ എത്താൻ കഴിയും.
-
സെറാമിക് ഇൻസുലേഷൻ വളയങ്ങൾ സെറാമിക് ഫോക്കസിംഗ് വളയങ്ങൾ
തണുത്ത ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് അമർത്തി ഉയർന്ന താപനിലയിൽ സിന്റർ ചെയ്‌ത് രൂപപ്പെടുത്തിയ സെറാമിക് സ്പെയർ പാർട്‌സിന്, പിന്നീട് കൃത്യതയോടെ മെഷീൻ ചെയ്‌ത് മിനുക്കിയെടുക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം, നാശന പ്രതിരോധം, കുറഞ്ഞ താപ വികാസം, ഇൻസുലേഷൻ എന്നീ സവിശേഷതകളുള്ള സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങളുടെ ഏത് കർശനമായ ആവശ്യകതകളും നിറവേറ്റാൻ കഴിയും. ഉയർന്ന താപനില, വാക്വം അല്ലെങ്കിൽ കോറോസിവ് ഗ്യാസ് എന്നിവയുടെ അവസ്ഥയിൽ വളരെക്കാലം പലതരം സെമികണ്ടക്ടർ ഉൽ‌പാദന ഉപകരണങ്ങളിൽ സെറാമിക്സിന് പ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയും.
ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള അലുമിന പൊടിയിൽ നിന്ന് നിർമ്മിച്ചത്, കോൾഡ് ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് പ്രസ്സിംഗ്, ഉയർന്ന താപനില സിന്ററിംഗ്, പ്രിസിഷൻ ഫിനിഷിംഗ് എന്നിവ ഉപയോഗിച്ച് പ്രോസസ്സ് ചെയ്ത ഇതിന് ±0.001 mm വരെ അളവിലുള്ള സഹിഷ്ണുത, ഉപരിതല ഫിനിഷ് Ra 0.1, താപനില പ്രതിരോധം 1600℃ വരെ എത്താൻ കഴിയും.
-
ST.CERA അലുമിന സെറാമിക് ക്ലാമ്പ് റിംഗ് ഇൻസുലേഷൻ സംരക്ഷണം
തണുത്ത ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് അമർത്തി ഉയർന്ന താപനിലയിൽ സിന്റർ ചെയ്‌ത് രൂപപ്പെടുത്തിയ സെറാമിക് സ്പെയർ പാർട്‌സിന്, പിന്നീട് കൃത്യതയോടെ മെഷീൻ ചെയ്‌ത് മിനുക്കിയെടുക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം, നാശന പ്രതിരോധം, കുറഞ്ഞ താപ വികാസം, ഇൻസുലേഷൻ എന്നീ സവിശേഷതകളുള്ള സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങളുടെ ഏത് കർശനമായ ആവശ്യകതകളും നിറവേറ്റാൻ കഴിയും. ഉയർന്ന താപനില, വാക്വം അല്ലെങ്കിൽ കോറോസിവ് ഗ്യാസ് എന്നിവയുടെ അവസ്ഥയിൽ വളരെക്കാലം പലതരം സെമികണ്ടക്ടർ ഉൽ‌പാദന ഉപകരണങ്ങളിൽ സെറാമിക്സിന് പ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയും.
ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള അലുമിന പൊടിയിൽ നിന്ന് നിർമ്മിച്ചത്, കോൾഡ് ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് പ്രസ്സിംഗ്, ഉയർന്ന താപനില സിന്ററിംഗ്, പ്രിസിഷൻ ഫിനിഷിംഗ് എന്നിവ ഉപയോഗിച്ച് പ്രോസസ്സ് ചെയ്ത ഇതിന് ±0.001 mm വരെ അളവിലുള്ള സഹിഷ്ണുത, ഉപരിതല ഫിനിഷ് Ra 0.1, താപനില പ്രതിരോധം 1600℃ വരെ എത്താൻ കഴിയും.
-
വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള അലുമിന സെറാമിക് റോബോട്ട് ആം
സെന്റ്.സെറയുടെ അലുമിന സെറാമിക് റോബോട്ട് ആം 99.8% ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള Al₂O₃ (അലുമിന) കൊണ്ടാണ് കൃത്യതയോടെ രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നത്. ഇത് അസാധാരണമായ വഴക്കമുള്ള ശക്തി (361 MPa), ഉയർന്ന കാഠിന്യം (16 GPa), കുറഞ്ഞ സാന്ദ്രത (3.93 g/cm³) എന്നിവ സംയോജിപ്പിക്കുന്നു, ഇത് അർദ്ധചാലക വേഫർ കൈമാറ്റത്തിനായി ഭാരം കുറഞ്ഞതും എന്നാൽ കർക്കശവുമായ ആം നൽകുന്നു. മെറ്റീരിയലിന്റെ താപ വികാസ ഗുണകം (7.2×10⁻⁶/°C) സിലിക്കണുമായി അടുത്ത് പൊരുത്തപ്പെടുന്നു, പ്രോസസ്സിംഗ് സമയത്ത് താപ പൊരുത്തക്കേട് കുറയ്ക്കുന്നു.
-
അലുമിന ഹൈ-പ്രിസിഷൻ സെറാമിക് റിംഗ് സെറാമിക് ഭാഗങ്ങൾ
തണുത്ത ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് അമർത്തി ഉയർന്ന താപനിലയിൽ സിന്റർ ചെയ്‌ത് രൂപപ്പെടുത്തിയ സെറാമിക് സ്പെയർ പാർട്‌സിന്, പിന്നീട് കൃത്യതയോടെ മെഷീൻ ചെയ്‌ത് മിനുക്കിയെടുക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം, നാശന പ്രതിരോധം, കുറഞ്ഞ താപ വികാസം, ഇൻസുലേഷൻ എന്നീ സവിശേഷതകളുള്ള സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങളുടെ ഏത് കർശനമായ ആവശ്യകതകളും നിറവേറ്റാൻ കഴിയും. ഉയർന്ന താപനില, വാക്വം അല്ലെങ്കിൽ കോറോസിവ് ഗ്യാസ് എന്നിവയുടെ അവസ്ഥയിൽ വളരെക്കാലം പലതരം സെമികണ്ടക്ടർ ഉൽ‌പാദന ഉപകരണങ്ങളിൽ സെറാമിക്സിന് പ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയും.
ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള അലുമിന പൊടിയിൽ നിന്ന് നിർമ്മിച്ചത്, കോൾഡ് ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് പ്രസ്സിംഗ്, ഉയർന്ന താപനില സിന്ററിംഗ്, പ്രിസിഷൻ ഫിനിഷിംഗ് എന്നിവ ഉപയോഗിച്ച് പ്രോസസ്സ് ചെയ്ത ഇതിന് ±0.001 mm വരെ അളവിലുള്ള സഹിഷ്ണുത, ഉപരിതല ഫിനിഷ് Ra 0.1, താപനില പ്രതിരോധം 1600℃ വരെ എത്താൻ കഴിയും.
-
ST.CERA കസ്റ്റമൈസ്ഡ് സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങൾ സെറാമിക് ചക്കുകൾ
തണുത്ത ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് അമർത്തി ഉയർന്ന താപനിലയിൽ സിന്റർ ചെയ്‌ത് രൂപപ്പെടുത്തിയ സെറാമിക് സ്പെയർ പാർട്‌സിന്, പിന്നീട് കൃത്യതയോടെ മെഷീൻ ചെയ്‌ത് മിനുക്കിയെടുക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം, നാശന പ്രതിരോധം, കുറഞ്ഞ താപ വികാസം, ഇൻസുലേഷൻ എന്നീ സവിശേഷതകളുള്ള സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങളുടെ ഏത് കർശനമായ ആവശ്യകതകളും നിറവേറ്റാൻ കഴിയും. ഉയർന്ന താപനില, വാക്വം അല്ലെങ്കിൽ കോറോസിവ് ഗ്യാസ് എന്നിവയുടെ അവസ്ഥയിൽ വളരെക്കാലം പലതരം സെമികണ്ടക്ടർ ഉൽ‌പാദന ഉപകരണങ്ങളിൽ സെറാമിക്സിന് പ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയും.
ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള അലുമിന പൊടിയിൽ നിന്ന് നിർമ്മിച്ചത്, കോൾഡ് ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് പ്രസ്സിംഗ്, ഉയർന്ന താപനില സിന്ററിംഗ്, പ്രിസിഷൻ ഫിനിഷിംഗ് എന്നിവ ഉപയോഗിച്ച് പ്രോസസ്സ് ചെയ്ത ഇതിന് ±0.001 mm വരെ അളവിലുള്ള സഹിഷ്ണുത, ഉപരിതല ഫിനിഷ് Ra 0.1, താപനില പ്രതിരോധം 1600℃ വരെ എത്താൻ കഴിയും.
-
സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർ - ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള ഉയർന്ന കാഠിന്യം
S1111 ബാച്ച് മെറ്റീരിയൽ ഉപയോഗിച്ച് ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള സിലിക്കൺ കാർബൈഡിൽ (SiC ഉള്ളടക്കം 99.72%, സൗജന്യ Si 0.05%) നിന്നാണ് സെന്റ് സെറയുടെ SiC സെറാമിക് എൻഡ് എഫെക്റ്റർ നിർമ്മിക്കുന്നത്. ഇത് അസാധാരണമായ മെക്കാനിക്കൽ ഗുണങ്ങൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു: വഴക്കമുള്ള ശക്തി 449 MPa (അളന്നത്), ഇലാസ്റ്റിക് മോഡുലസ് 457 GPa (അളന്നത്), വിക്കേഴ്‌സ് കാഠിന്യം 25–28 GPa (സാധാരണ). കുറഞ്ഞ സാന്ദ്രത (3.10–3.15 g/cm³, സാധാരണ) ഉയർന്ന നിർദ്ദിഷ്ട കാഠിന്യം നൽകുന്നു, ഇത് ഹൈ-സ്പീഡ് വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ റോബോട്ടുകൾക്ക് അനുയോജ്യമാണ്. 120–150 W/m·K (സാധാരണ) താപ ചാലകതയും 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (സാധാരണ) താപ വികാസ ഗുണകവും ഉള്ള ഈ എൻഡ് എഫെക്റ്റർ ഉയർന്ന താപനില കൈകാര്യം ചെയ്യുമ്പോൾ (1600–1700°C വരെ, ലോഡ് ഇല്ല) താപം ഫലപ്രദമായി ഇല്ലാതാക്കുകയും ഡൈമൻഷണൽ സ്ഥിരത നിലനിർത്തുകയും ചെയ്യുന്നു. കറുപ്പ്/ചാര നിറവും പൂജ്യം ജല ആഗിരണവും ക്ലീൻറൂം അനുയോജ്യത ഉറപ്പാക്കുന്നു.
-
ഉയർന്ന താപനിലയ്ക്കും പ്ലാസ്മ പരിതസ്ഥിതികൾക്കും വേണ്ടിയുള്ള സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള വാക്വം ചക്ക്
സെന്റ്.സെറയുടെ SiC അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള സെറാമിക് ചക്ക് ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള സിലിക്കൺ കാർബൈഡിൽ നിന്നാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത് (ബാച്ച് S1111, SiC 99.72%, സൗജന്യ Si 0.05%). ഇത് 449 MPa യുടെ അളന്ന ഫ്ലെക്ചറൽ ശക്തി, 3.12 MPa·m¹/² ന്റെ ഫ്രാക്ചർ കാഠിന്യം, 457 GPa യുടെ ഇലാസ്റ്റിക് മോഡുലസ് എന്നിവ നൽകുന്നു. മെറ്റീരിയലിന്റെ സാധാരണ താപ ചാലകത (120–150 W/m·K) ഉം കുറഞ്ഞ താപ വികാസവും (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) താപ സൈക്ലിംഗ് സമയത്ത് ദ്രുത താപനില റാമ്പിംഗും കുറഞ്ഞ വേഫർ വാർപേജും പ്രാപ്തമാക്കുന്നു. ചക്ക് ഒരു പോറസ് വാക്വം ചക്ക് (യൂണിഫോം ഗ്യാസ് ഫ്ലോ) അല്ലെങ്കിൽ ഗ്രൂവ്ഡ് സ്റ്റാൻഡേർഡ് ചക്ക് ആയി ക്രമീകരിക്കാം. പരമാവധി ഉപയോഗ താപനില 1600–1700°C (ലോഡ് ഇല്ല) ഉം അസാധാരണമായ പ്ലാസ്മ മണ്ണൊലിപ്പ് പ്രതിരോധവും ഉള്ള ഈ ചക്ക്, ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗിനും (അനിയലിംഗ്, RTP) അലുമിന ചക്കുകൾ വിഘടിപ്പിക്കുന്ന ആക്രമണാത്മക എച്ച് ചേമ്പറുകൾക്കും അനുയോജ്യമാണ്.
-
സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങൾ സെറാമിക് സ്പെയർ പാർട്സ് സെറാമിക് കാരിയറുകൾ
തണുത്ത ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് അമർത്തി ഉയർന്ന താപനിലയിൽ സിന്റർ ചെയ്‌ത് രൂപപ്പെടുത്തിയ സെറാമിക് സ്പെയർ പാർട്‌സിന്, പിന്നീട് കൃത്യതയോടെ മെഷീൻ ചെയ്‌ത് മിനുക്കിയെടുക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം, നാശന പ്രതിരോധം, കുറഞ്ഞ താപ വികാസം, ഇൻസുലേഷൻ എന്നീ സവിശേഷതകളുള്ള സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങളുടെ ഏത് കർശനമായ ആവശ്യകതകളും നിറവേറ്റാൻ കഴിയും. ഉയർന്ന താപനില, വാക്വം അല്ലെങ്കിൽ കോറോസിവ് ഗ്യാസ് എന്നിവയുടെ അവസ്ഥയിൽ വളരെക്കാലം പലതരം സെമികണ്ടക്ടർ ഉൽ‌പാദന ഉപകരണങ്ങളിൽ സെറാമിക്സിന് പ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയും.
ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള അലുമിന പൊടിയിൽ നിന്ന് നിർമ്മിച്ചത്, കോൾഡ് ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് പ്രസ്സിംഗ്, ഉയർന്ന താപനില സിന്ററിംഗ്, പ്രിസിഷൻ ഫിനിഷിംഗ് എന്നിവ ഉപയോഗിച്ച് പ്രോസസ്സ് ചെയ്ത ഇതിന് ±0.001 mm വരെ അളവിലുള്ള സഹിഷ്ണുത, ഉപരിതല ഫിനിഷ് Ra 0.1, താപനില പ്രതിരോധം 1600℃ വരെ എത്താൻ കഴിയും.
-
ഉയർന്ന കാഠിന്യമുള്ള ലാപ്പിംഗ് ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കുള്ള മെറ്റൽ-ബാക്ക്ഡ് അലുമിന സെറാമിക് ഗ്രൈൻഡിംഗ് റിംഗ്
സെന്റ്.സെറയുടെ ലോഹാധിഷ്ഠിത അലുമിന ഗ്രൈൻഡിംഗ് റിംഗ് ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള അലുമിന (99.8% Al₂O₃) സെറാമിക് വെയർ ലെയറും കൃത്യതയുള്ള മെഷീൻ ചെയ്ത മെറ്റൽ ബാക്കിംഗും (സാധാരണയായി അലുമിനിയം അല്ലെങ്കിൽ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ) സംയോജിപ്പിക്കുന്നു. ഈ ഹൈബ്രിഡ് ഡിസൈൻ ഗ്രൈൻഡിംഗ് പ്രതലത്തിൽ സെറാമിക്കിന്റെ അസാധാരണമായ വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധവും രാസ നിഷ്ക്രിയത്വവും നൽകുന്നു, അതേസമയം ലോഹ അടിത്തറ മെക്കാനിക്കൽ ശക്തി, എളുപ്പത്തിൽ മൌണ്ട് ചെയ്യൽ, പൊട്ടുന്ന ഒടിവിനുള്ള പ്രതിരോധം എന്നിവ ചേർക്കുന്നു. അലുമിന പാളി 361 MPa ന്റെ വഴക്കമുള്ള ശക്തി, 16 GPa ന്റെ വിക്കേഴ്‌സ് കാഠിന്യം, 800°C വരെ താപ സ്ഥിരത എന്നിവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. ലാപ്പിംഗ് മെഷീനുകൾ, പ്ലാനറ്ററി ഗ്രൈൻഡറുകൾ, CMP ഉപകരണങ്ങൾ എന്നിവയിലേക്ക് സംയോജിപ്പിക്കുന്നതിന് മൗണ്ടിംഗ് ഹോളുകൾ, ലൊക്കേറ്റിംഗ് പിന്നുകൾ അല്ലെങ്കിൽ കാന്തിക ഗുണങ്ങൾ എന്നിവ ഉപയോഗിച്ച് ലോഹ അടിത്തറ ഇഷ്ടാനുസൃതമാക്കിയിരിക്കുന്നു.
-
സെമികണ്ടക്ടർ പ്രോബ് സ്റ്റേഷൻ ഉപകരണങ്ങൾക്കുള്ള സെറാമിക് സ്പെയർ പാർട്സ്
തണുത്ത ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് അമർത്തി ഉയർന്ന താപനിലയിൽ സിന്റർ ചെയ്‌ത് രൂപപ്പെടുത്തിയ സെറാമിക് സ്പെയർ പാർട്‌സിന്, പിന്നീട് കൃത്യതയോടെ മെഷീൻ ചെയ്‌ത് മിനുക്കിയെടുക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം, നാശന പ്രതിരോധം, കുറഞ്ഞ താപ വികാസം, ഇൻസുലേഷൻ എന്നീ സവിശേഷതകളുള്ള സെമികണ്ടക്ടർ ഉപകരണങ്ങളുടെ ഏത് കർശനമായ ആവശ്യകതകളും നിറവേറ്റാൻ കഴിയും. ഉയർന്ന താപനില, വാക്വം അല്ലെങ്കിൽ കോറോസിവ് ഗ്യാസ് എന്നിവയുടെ അവസ്ഥയിൽ വളരെക്കാലം പലതരം സെമികണ്ടക്ടർ ഉൽ‌പാദന ഉപകരണങ്ങളിൽ സെറാമിക്സിന് പ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയും.
ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള അലുമിന പൊടിയിൽ നിന്ന് നിർമ്മിച്ചത്, കോൾഡ് ഐസോസ്റ്റാറ്റിക് പ്രസ്സിംഗ്, ഉയർന്ന താപനില സിന്ററിംഗ്, പ്രിസിഷൻ ഫിനിഷിംഗ് എന്നിവ ഉപയോഗിച്ച് പ്രോസസ്സ് ചെയ്ത ഇതിന് ±0.001 mm വരെ അളവിലുള്ള സഹിഷ്ണുത, ഉപരിതല ഫിനിഷ് Ra 0.1, താപനില പ്രതിരോധം 1600℃ വരെ എത്താൻ കഴിയും.
