-
Алумина керамички дискови високе чистоће
Формирани хладним изостатским пресовањем и синтеровани под високом температуром, затим прецизно обрађени и полирани, керамички резервни делови могу да испуне све строге захтеве полупроводничке опреме са својим карактеристикама отпорности на хабање, отпорности на корозију, ниског термичког ширења и изолације. Керамика може да ради у многим врстама опреме за производњу полупроводника у условима високе температуре, вакуума или корозивног гаса током дужег времена.
Направљен од праха алуминијума високе чистоће, обрађен хладним изостатским пресовањем, синтеровањем на високој температури и прецизном завршном обрадом, може достићи толеранцију димензија до ±0,001 мм, површинску завршну обраду Ra 0,1, отпорност на температуру 1600 ℃.
-
алуминијумска керамичка рука
Формирани хладним изостатским пресовањем и синтеровани под високом температуром, затим прецизно обрађени и полирани, керамички резервни делови могу да испуне све строге захтеве полупроводничке опреме са својим карактеристикама отпорности на хабање, отпорности на корозију, ниског термичког ширења и изолације. Керамика може да ради у многим врстама опреме за производњу полупроводника у условима високе температуре, вакуума или корозивног гаса током дужег времена.
Направљен од праха алуминијума високе чистоће, обрађен хладним изостатским пресовањем, синтеровањем на високој температури и прецизном завршном обрадом, може достићи толеранцију димензија до ±0,001 мм, површинску завршну обраду Ra 0,1, отпорност на температуру 1600 ℃.
-
Керамички изолациони прстенови Керамички прстенови за фокусирање
Формирани хладним изостатским пресовањем и синтеровани под високом температуром, затим прецизно обрађени и полирани, керамички резервни делови могу да испуне све строге захтеве полупроводничке опреме са својим карактеристикама отпорности на хабање, отпорности на корозију, ниског термичког ширења и изолације. Керамика може да ради у многим врстама опреме за производњу полупроводника у условима високе температуре, вакуума или корозивног гаса током дужег времена.
Направљен од праха алуминијума високе чистоће, обрађен хладним изостатским пресовањем, синтеровањем на високој температури и прецизном завршном обрадом, може достићи толеранцију димензија до ±0,001 мм, површинску завршну обраду Ra 0,1, отпорност на температуру 1600 ℃.
-
ST.CERA Заштита изолације од керамичког стезног прстена од алуминијумске глинице
Формирани хладним изостатским пресовањем и синтеровани под високом температуром, затим прецизно обрађени и полирани, керамички резервни делови могу да испуне све строге захтеве полупроводничке опреме са својим карактеристикама отпорности на хабање, отпорности на корозију, ниског термичког ширења и изолације. Керамика може да ради у многим врстама опреме за производњу полупроводника у условима високе температуре, вакуума или корозивног гаса током дужег времена.
Направљен од праха алуминијума високе чистоће, обрађен хладним изостатским пресовањем, синтеровањем на високој температури и прецизном завршном обрадом, може достићи толеранцију димензија до ±0,001 мм, површинску завршну обраду Ra 0,1, отпорност на температуру 1600 ℃.
-
Роботска рука од керамике са високом чистоћом алуминијума за руковање плочицама
St.Cera-ова роботска рука од алуминијумске керамике је прецизно конструисана од 99,8% високочистог Al₂O₃ (алуминијумског оксида). Комбинује изузетну чврстоћу на савијање (361 MPa), високу тврдоћу (16 GPa) и ниску густину (3,93 g/cm³), што резултира лаганом, али чврстом руком за пренос полупроводничких плочица. Коефицијент термичког ширења материјала (7,2×10⁻⁶/°C) се у великој мери поклапа са силицијумом, минимизирајући термичку неусклађеност током обраде.
-
Керамички делови од алуминијумског оксида високо прецизне керамичке прстенове
Формирани хладним изостатским пресовањем и синтеровани под високом температуром, затим прецизно обрађени и полирани, керамички резервни делови могу да испуне све строге захтеве полупроводничке опреме са својим карактеристикама отпорности на хабање, отпорности на корозију, ниског термичког ширења и изолације. Керамика може да ради у многим врстама опреме за производњу полупроводника у условима високе температуре, вакуума или корозивног гаса током дужег времена.
Направљен од праха алуминијума високе чистоће, обрађен хладним изостатским пресовањем, синтеровањем на високој температури и прецизном завршном обрадом, може достићи толеранцију димензија до ±0,001 мм, површинску завршну обраду Ra 0,1, отпорност на температуру 1600 ℃.
-
ST.CERA Керамичке стезне главе за полупроводничку опрему по мери
Формирани хладним изостатским пресовањем и синтеровани под високом температуром, затим прецизно обрађени и полирани, керамички резервни делови могу да испуне све строге захтеве полупроводничке опреме са својим карактеристикама отпорности на хабање, отпорности на корозију, ниског термичког ширења и изолације. Керамика може да ради у многим врстама опреме за производњу полупроводника у условима високе температуре, вакуума или корозивног гаса током дужег времена.
Направљен од праха алуминијума високе чистоће, обрађен хладним изостатским пресовањем, синтеровањем на високој температури и прецизном завршном обрадом, може достићи толеранцију димензија до ±0,001 мм, површинску завршну обраду Ra 0,1, отпорност на температуру 1600 ℃.
-
Керамички крајњи ефектор од силицијум-карбида (SiC) – висока крутост за руковање плочицама на високим температурама
Керамички крајњи ефектор St.Cera SiC је произведен од силицијум карбида високе чистоће (садржај SiC 99,72%, слободни Si 0,05%) користећи материјал S1111. Нуди изузетна механичка својства: чврстоћа на савијање 449 MPa (мерено), модул еластичности 457 GPa (мерено) и тврдоћа по Викерсу 25–28 GPa (типично). Ниска густина (3,10–3,15 g/cm³, типично) пружа високу специфичну крутост, идеалну за роботе за пренос плочица великом брзином. Са топлотном проводљивошћу од 120–150 W/m·K (типично) и коефицијентом термичког ширења од 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (типично), овај крајњи ефектор ефикасно расипа топлоту и одржава димензионалну стабилност током руковања на високим температурама (до 1600–1700°C, без оптерећења). Црно/сива боја и нулта апсорпција воде осигуравају компатибилност са чистим просторијама.
-
Вакуумска стезна глава на бази силицијум карбида (SiC) за окружења високих температура и плазме
Керамичка стезна глава St.Cera на бази SiC-а произведена је од силицијум карбида високе чистоће (серија S1111, SiC 99,72%, слободан Si 0,05%). Испоручује измерену чврстоћу на савијање од 449 MPa, жилавост на лом од 3,12 MPa·m¹/² и модул еластичности од 457 GPa. Типична топлотна проводљивост материјала (120–150 W/m·K) и ниско термичко ширење (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) омогућавају брзо повећање температуре и минимално савијање плочице током термичког циклуса. Стезна глава може бити конфигурисана као порозна вакуумска стезна глава (равномерни проток гаса) или стандардна стезна глава са жлебовима. Са максималном температуром употребе од 1600–1700°C (без оптерећења) и изузетном отпорношћу на ерозију плазмом, ова стезна глава је идеална за обраду плочица на високим температурама (жарење, RTP) и агресивне коморе за нагризање где се алуминијумске стезне главе деградирају.
-
Полупроводничка опрема, керамички резервни делови, керамички носачи
Формирани хладним изостатским пресовањем и синтеровани под високом температуром, затим прецизно обрађени и полирани, керамички резервни делови могу да испуне све строге захтеве полупроводничке опреме са својим карактеристикама отпорности на хабање, отпорности на корозију, ниског термичког ширења и изолације. Керамика може да ради у многим врстама опреме за производњу полупроводника у условима високе температуре, вакуума или корозивног гаса током дужег времена.
Направљен од праха алуминијума високе чистоће, обрађен хладним изостатским пресовањем, синтеровањем на високој температури и прецизном завршном обрадом, може достићи толеранцију димензија до ±0,001 мм, површинску завршну обраду Ra 0,1, отпорност на температуру 1600 ℃.
-
Брусни прстен од алуминијумске керамике са металном подлогом за примене лепања високе чврстоће
Ст.Цера брусни прстен од алуминијума на бази метала комбинује керамички слој отпорни на хабање од алуминијума високе чистоће (99,8% Al₂O₃) са прецизно обрађеном металном подлогом (обично алуминијум или нерђајући челик). Овај хибридни дизајн пружа изузетну отпорност на хабање и хемијску инертност керамике на површини за брушење, док метална база додаје механичку чврстоћу, лаку монтажу и отпорност на крти лом. Слој алуминијума нуди чврстоћу на савијање од 361 MPa, тврдоћу по Викерсу од 16 GPa и термичку стабилност до 800°C. Метална база је прилагођена отворима за монтажу, клиновима за лоцирање или магнетним својствима за интеграцију у машине за лепање, планетарне брусилице и CMP опрему.
-
Керамички резервни делови за опрему полупроводничких сонди
Формирани хладним изостатским пресовањем и синтеровани под високом температуром, затим прецизно обрађени и полирани, керамички резервни делови могу да испуне све строге захтеве полупроводничке опреме са својим карактеристикама отпорности на хабање, отпорности на корозију, ниског термичког ширења и изолације. Керамика може да ради у многим врстама опреме за производњу полупроводника у условима високе температуре, вакуума или корозивног гаса током дужег времена.
Направљен од праха алуминијума високе чистоће, обрађен хладним изостатским пресовањем, синтеровањем на високој температури и прецизном завршном обрадом, може достићи толеранцију димензија до ±0,001 мм, површинску завршну обраду Ra 0,1, отпорност на температуру 1600 ℃.
