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Disques en céramique d'alumine de haute pureté
Formées par pressage isostatique à froid et frittées à haute température, puis usinées et polies avec précision, les pièces de rechange en céramique répondent aux exigences les plus strictes des équipements pour semi-conducteurs grâce à leurs propriétés de résistance à l'usure et à la corrosion, leur faible dilatation thermique et leurs propriétés isolantes. La céramique peut être utilisée de manière prolongée dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même en conditions de haute température, sous vide ou en présence de gaz corrosifs.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃.
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bras en céramique d'alumine
Formées par pressage isostatique à froid et frittées à haute température, puis usinées et polies avec précision, les pièces de rechange en céramique répondent aux exigences les plus strictes des équipements pour semi-conducteurs grâce à leurs propriétés de résistance à l'usure et à la corrosion, leur faible dilatation thermique et leurs propriétés isolantes. La céramique peut être utilisée de manière prolongée dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même en conditions de haute température, sous vide ou en présence de gaz corrosifs.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃.
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Anneaux d'isolation en céramique Anneaux de focalisation en céramique
Formées par pressage isostatique à froid et frittées à haute température, puis usinées et polies avec précision, les pièces de rechange en céramique répondent aux exigences les plus strictes des équipements pour semi-conducteurs grâce à leurs propriétés de résistance à l'usure et à la corrosion, leur faible dilatation thermique et leurs propriétés isolantes. La céramique peut être utilisée de manière prolongée dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même en conditions de haute température, sous vide ou en présence de gaz corrosifs.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃.
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Bague de serrage isolante en céramique d'alumine ST.CERA
Formées par pressage isostatique à froid et frittées à haute température, puis usinées et polies avec précision, les pièces de rechange en céramique répondent aux exigences les plus strictes des équipements pour semi-conducteurs grâce à leurs propriétés de résistance à l'usure et à la corrosion, leur faible dilatation thermique et leurs propriétés isolantes. La céramique peut être utilisée de manière prolongée dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même en conditions de haute température, sous vide ou en présence de gaz corrosifs.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃.
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Bras robotisé en céramique d'alumine de haute pureté pour la manipulation de plaquettes
Le bras robotisé en céramique d'alumine de St.Cera est fabriqué avec précision à partir d'Al₂O₃ (alumine) de haute pureté (99,8 %). Il combine une résistance à la flexion exceptionnelle (361 MPa), une dureté élevée (16 GPa) et une faible densité (3,93 g/cm³), ce qui en fait un bras à la fois léger et rigide pour le transfert de plaquettes de semi-conducteurs. Le coefficient de dilatation thermique du matériau (7,2 × 10⁻⁶/°C) est très proche de celui du silicium, minimisant ainsi les écarts thermiques lors de la fabrication.
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Bague en céramique de haute précision en alumine
Formées par pressage isostatique à froid et frittées à haute température, puis usinées et polies avec précision, les pièces de rechange en céramique répondent aux exigences les plus strictes des équipements pour semi-conducteurs grâce à leurs propriétés de résistance à l'usure et à la corrosion, leur faible dilatation thermique et leurs propriétés isolantes. La céramique peut être utilisée de manière prolongée dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même en conditions de haute température, sous vide ou en présence de gaz corrosifs.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃.
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ST.CERA Équipements semi-conducteurs personnalisés Mandrins en céramique
Formées par pressage isostatique à froid et frittées à haute température, puis usinées et polies avec précision, les pièces de rechange en céramique répondent aux exigences les plus strictes des équipements pour semi-conducteurs grâce à leurs propriétés de résistance à l'usure et à la corrosion, leur faible dilatation thermique et leurs propriétés isolantes. La céramique peut être utilisée de manière prolongée dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même en conditions de haute température, sous vide ou en présence de gaz corrosifs.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃.
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Effecteur terminal en céramique de carbure de silicium (SiC) – Haute rigidité pour la manipulation de plaquettes à haute température
L'effecteur en céramique SiC de St.Cera est fabriqué à partir de carbure de silicium de haute pureté (teneur en SiC de 99,72 %, teneur en Si libre de 0,05 %), selon le lot S1111. Il offre des propriétés mécaniques exceptionnelles : résistance à la flexion de 449 MPa (mesurée), module d'élasticité de 457 GPa (mesuré) et dureté Vickers de 25 à 28 GPa (valeur typique). Sa faible densité (3,10 à 3,15 g/cm³, valeur typique) lui confère une rigidité spécifique élevée, idéale pour les robots de transfert de plaquettes à grande vitesse. Avec une conductivité thermique de 120 à 150 W/m·K (valeur typique) et un coefficient de dilatation thermique de 4,0 à 4,5 × 10⁻⁶/°C (valeur typique), cet effecteur dissipe efficacement la chaleur et conserve sa stabilité dimensionnelle lors de manipulations à haute température (jusqu'à 1 600 à 1 700 °C, à vide). Sa couleur noire/grise et son absorption d'eau nulle garantissent sa compatibilité avec les salles blanches.
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Mandrin à vide en carbure de silicium (SiC) pour environnements à haute température et plasma
Le mandrin céramique à base de SiC de St.Cera est fabriqué à partir de carbure de silicium de haute pureté (lot S1111, SiC 99,72 %, Si libre 0,05 %). Il présente une résistance à la flexion mesurée de 449 MPa, une ténacité à la rupture de 3,12 MPa·m¹/² et un module d'élasticité de 457 GPa. La conductivité thermique typique du matériau (120–150 W/m·K) et son faible coefficient de dilatation thermique (4,0–4,5 × 10⁻⁶/°C) permettent une montée en température rapide et une déformation minimale de la plaquette lors des cycles thermiques. Le mandrin peut être configuré en mandrin à vide poreux (flux de gaz uniforme) ou en mandrin standard rainuré. Avec une température d'utilisation maximale de 1600 à 1700 °C (sans charge) et une résistance exceptionnelle à l'érosion par plasma, ce mandrin est idéal pour le traitement des plaquettes à haute température (recuit, RTP) et les chambres de gravure agressives où les mandrins en alumine se dégradent.
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Pièces de rechange en céramique pour équipements semi-conducteurs, supports en céramique
Formées par pressage isostatique à froid et frittées à haute température, puis usinées et polies avec précision, les pièces de rechange en céramique répondent aux exigences les plus strictes des équipements pour semi-conducteurs grâce à leurs propriétés de résistance à l'usure et à la corrosion, leur faible dilatation thermique et leurs propriétés isolantes. La céramique peut être utilisée de manière prolongée dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même en conditions de haute température, sous vide ou en présence de gaz corrosifs.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃.
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Bague de meulage en céramique d'alumine à support métallique pour applications de rodage haute rigidité
La bague de rectification en alumine sur support métallique de St.Cera associe une couche d'usure en céramique d'alumine de haute pureté (99,8 % Al₂O₃) à un support métallique usiné avec précision (généralement en aluminium ou en acier inoxydable). Cette conception hybride offre l'exceptionnelle résistance à l'usure et l'inertie chimique de la céramique sur la surface de rectification, tandis que le support métallique assure une robustesse mécanique, une facilité de montage et une résistance à la rupture fragile. La couche d'alumine présente une résistance à la flexion de 361 MPa, une dureté Vickers de 16 GPa et une stabilité thermique jusqu'à 800 °C. Le support métallique peut être personnalisé avec des trous de fixation, des ergots de positionnement ou des propriétés magnétiques pour une intégration dans les machines de rodage, les rectifieuses planétaires et les équipements de polissage chimico-mécanique (CMP).
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Pièces de rechange en céramique pour équipements de stations de test de semi-conducteurs
Formées par pressage isostatique à froid et frittées à haute température, puis usinées et polies avec précision, les pièces de rechange en céramique répondent aux exigences les plus strictes des équipements pour semi-conducteurs grâce à leurs propriétés de résistance à l'usure et à la corrosion, leur faible dilatation thermique et leurs propriétés isolantes. La céramique peut être utilisée de manière prolongée dans de nombreux types d'équipements de production de semi-conducteurs, même en conditions de haute température, sous vide ou en présence de gaz corrosifs.
Fabriqué à partir de poudre d'alumine de haute pureté, traitée par pressage isostatique à froid, frittage à haute température et finition de précision, il peut atteindre une tolérance dimensionnelle de ±0,001 mm, une finition de surface Ra 0,1 et une résistance à la température de 1600℃.
