-
แผ่นกระจายก๊าซอลูมินาสำหรับหัวฝักบัว CVD/PVD
แผ่นกระจายแก๊ส (หัวฉีดแก๊ส) ของ St.Cera ผลิตขึ้นด้วยความแม่นยำสูงจากเซรามิกอลูมินาบริสุทธิ์ 99.8% มีรูขนาดเล็กจำนวนมาก (เส้นผ่านศูนย์กลาง 0.3–1.5 มม.) เพื่อให้มั่นใจได้ว่าแก๊สจะไหลอย่างสม่ำเสมอทั่วพื้นผิวเวเฟอร์ระหว่างกระบวนการ CVD, PVD หรือ ALD ความแข็งแรงทางไฟฟ้าสูง (>15×10⁶ V/m) และความต้านทานต่อพลาสมาของแผ่นนี้ทำให้มีความสำคัญอย่างยิ่งสำหรับการตกตะกอนฟิล์มบางของเซมิคอนดักเตอร์
-
ท่อเซรามิกนำทางความแม่นยำสูงสำหรับงานเชื่อมลวดและยึดชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์
ท่อเซรามิกนำทางของ St.Cera ผลิตจากอลูมินา 99.5% หรือเซอร์โคเนียที่เสถียรด้วยอิตเทรีย ทำให้มีความทนทานต่อการสึกหรอสูงและมีรูด้านในเรียบ (Ra ≤0.2 μm) ท่อเหล่านี้เป็นส่วนประกอบสำคัญในเครื่องเชื่อมลวด เครื่องติดชิ้นส่วน และอุปกรณ์หยิบและวาง โดยทำหน้าที่นำทางลวดเชื่อม ท่อแคปิลลารี หรือหัวฉีดสุญญากาศด้วยแรงเสียดทานน้อยที่สุดและปราศจากการปนเปื้อนของอนุภาค
-
แกนเซรามิกอลูมินาความบริสุทธิ์สูงสำหรับอุปกรณ์จับยึดเซมิคอนดักเตอร์
แกนเซรามิกอลูมินาของ St.Cera ผลิตขึ้นด้วยความแม่นยำสูงจาก Al₂O₃ บริสุทธิ์ 99.8% ให้ความแข็งแรงทางไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยม (15×10⁶ V/m) เสถียรภาพทางความร้อนสูงถึง 1600°C และความต้านทานต่อการคืบตัวภายใต้ภาระ แกนเหล่านี้ใช้เป็นส่วนประกอบโครงสร้างในอุปกรณ์จับยึดกระบวนการอุณหภูมิสูง ฐานฮีตเตอร์ ซับในห้องพลาสมา และฉนวนไฟฟ้า ความแข็งสูง (16 GPa) และการดูดซับน้ำต่ำ (0%) ของวัสดุนี้ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความน่าเชื่อถือในระยะยาวในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
-
หัวจับสุญญากาศมาตรฐานที่ทำจากอลูมินา – ความแข็งแกร่งสูงเพื่อการตัดเฉือนที่แม่นยำ
หัวจับสุญญากาศที่ทำจากอลูมินาชนิดนี้ผลิตจาก Al₂O₃ บริสุทธิ์ 99.8% มีพื้นผิวเรียบไม่มีรูพรุน พร้อมร่องสุญญากาศที่ออกแบบได้ตามต้องการ มีความแข็งแกร่งเป็นพิเศษ (โมดูลัสของยัง 380 GPa) และความเรียบ (≤3 μm) ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการเจียร การขัด และการตัดแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์และชิ้นส่วนทางแสงที่มีความแม่นยำสูง นอกจากนี้ วัสดุยังมีค่าการนำความร้อนสูง (32 W/m·k) ช่วยให้ความร้อนสม่ำเสมอในระหว่างกระบวนการผลิต
-
ST.CERA ปรับแต่งพิเศษสำหรับวงแหวนเซรามิกอลูมินาและแผ่นเซรามิก
ชิ้นส่วนเซรามิกที่ผลิตด้วยกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็นและการเผาผนึกภายใต้อุณหภูมิสูง จากนั้นจึงทำการกลึงและขัดเงาอย่างแม่นยำ สามารถตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ได้ทุกประเภท ด้วยคุณสมบัติทนทานต่อการสึกหรอ ทนทานต่อการกัดกร่อน การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และเป็นฉนวน เซรามิกสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายชนิดภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃
-
หัวจับเซรามิกความแม่นยำสูงสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
ชิ้นส่วนเซรามิกที่ผลิตด้วยกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็นและการเผาผนึกภายใต้อุณหภูมิสูง จากนั้นจึงทำการกลึงและขัดเงาอย่างแม่นยำ สามารถตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ได้ทุกประเภท ด้วยคุณสมบัติทนทานต่อการสึกหรอ ทนทานต่อการกัดกร่อน การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และเป็นฉนวน เซรามิกสามารถใช้งานในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายชนิดภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูง สุญญากาศ หรือก๊าซกัดกร่อนได้เป็นเวลานาน
ผลิตจากผงอลูมินาบริสุทธิ์สูง ผ่านกระบวนการอัดขึ้นรูปด้วยความดันไอโซสแตติกเย็น การเผาผนึกที่อุณหภูมิสูง และการตกแต่งอย่างแม่นยำ ทำให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนของขนาด ±0.001 มม. ความเรียบผิว Ra 0.1 และทนต่ออุณหภูมิ 1600℃
