-
Alumínium-oxid gázelosztó lemez CVD/PVD zuhanyfejhez
A St.Cera gázelosztó lemeze (zuhanyfeje) precíziós megmunkálással készül, nagy tisztaságú, 99,8%-os alumínium-oxid kerámiából. Mikrofuratokkal (0,3–1,5 mm átmérőjű) rendelkezik, amelyek biztosítják az egyenletes gázáramlást a lapka felületén CVD, PVD vagy ALD eljárások során. A lemez nagy dielektromos szilárdsága (>15×10⁶ V/m) és plazmaellenállása elengedhetetlenné teszi a félvezető vékonyréteg-leválasztáshoz.
-
Precíziós kerámia vezetőcső huzalkötéshez és szerszámrögzítéshez
A St.Cera kerámia vezetőcsöve 99,5%-ban alumínium-oxidból vagy ittria-stabilizált cirkónium-dioxidból készül, nagy kopásállóságot és sima belső furatot (Ra ≤0,2 μm) biztosít. Ezek a csövek kritikus fontosságú alkatrészek a huzalkötőkben, szerszámrögzítő gépekben és beültető berendezésekben, minimális súrlódással és nulla részecskeszennyeződéssel vezetik a kötőhuzalokat, kapillárisokat vagy vákuumfúvókákat.
-
Nagy tisztaságú alumínium-oxid kerámia mag félvezető szerelvényekhez
A St.Cera alumínium-oxid kerámia magja 99,8%-ban nagy tisztaságú Al₂O₃-ból precíziósan formázott, kivételes átütési szilárdságot (15×10⁶ V/m), akár 1600°C-os hőstabilitást és terhelés alatti kúszási ellenállást kínál. Ezeket a magokat szerkezeti elemként használják magas hőmérsékletű folyamatberendezésekben, fűtőtestekben, plazmakamra-bélésekben és elektromos szigetelőkben. Az anyag nagy keménysége (16 GPa) és alacsony vízfelvétele (0%) hosszú távú megbízhatóságot biztosít zord környezetben.
-
Alumínium-oxid alapú standard vákuumos tokmány – Nagy merevség a precíziós megmunkáláshoz
Ez az alumínium-oxid alapú vákuumos tokmány 99,8%-ban Al₂O₃-ból készül, sima, nem porózus felületet és egyedi vákuumhornyokat biztosít. Kivételes merevséget (Young-modulus 380 GPa) és síkfelületet (≤3 μm) biztosít, így ideális félvezető ostyák és optikai alkatrészek precíziós csiszolásához, leppeléséhez és kockázásához. Az anyag magas hővezető képessége (32 W/m·k) biztosítja a hőmérséklet egyenletességét a feldolgozás során.
-
ST.CERA testreszabva alumínium kerámia gyűrűhöz és kerámia koronghoz
A hidegizosztatikus sajtolással előállított, magas hőmérsékleten szinterezett, majd precíziósan megmunkált és polírozott kerámia alkatrészek kopásállóságuknak, korrózióállóságuknak, alacsony hőtágulásuknak és szigetelésüknek köszönhetően megfelelnek a félvezető berendezésekkel szemben támasztott szigorú követelményeknek. A kerámiák sokféle félvezetőgyártó berendezésben hosszú ideig használhatók magas hőmérsékleten, vákuumban vagy korrozív gázok jelenlétében.
Nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készül, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szintereléssel és precíziós kidolgozással, elérheti a ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃ hőmérséklet-állóságot.
-
Precíziós kerámia tokmány félvezető berendezések
A hidegizosztatikus sajtolással előállított, magas hőmérsékleten szinterezett, majd precíziósan megmunkált és polírozott kerámia alkatrészek kopásállóságuknak, korrózióállóságuknak, alacsony hőtágulásuknak és szigetelésüknek köszönhetően megfelelnek a félvezető berendezésekkel szemben támasztott szigorú követelményeknek. A kerámiák sokféle félvezetőgyártó berendezésben hosszú ideig használhatók magas hőmérsékleten, vákuumban vagy korrozív gázok jelenlétében.
Nagy tisztaságú alumínium-oxid porból készül, hideg izosztatikus préseléssel, magas hőmérsékletű szintereléssel és precíziós kidolgozással, elérheti a ±0,001 mm-es mérettűrést, Ra 0,1 felületkezelést és 1600 ℃ hőmérséklet-állóságot.
