-
صفحه توزیع گاز آلومینا برای سردوش CVD/PVD
صفحه توزیع گاز (دوش حمام) شرکت St.Cera با دقت از سرامیک آلومینای ۹۹.۸٪ با خلوص بالا ساخته شده است. این صفحه دارای آرایه‌ای از میکروسوراخ‌ها (با قطر ۰.۳ تا ۱.۵ میلی‌متر) است که جریان یکنواخت گاز را در سطح ویفر در طول فرآیندهای CVD، PVD یا ALD تضمین می‌کند. مقاومت دی‌الکتریک بالای این صفحه (بیش از ۱۵×۱۰⁶ ولت بر متر) و مقاومت پلاسما، آن را برای رسوب لایه نازک نیمه‌هادی ضروری می‌کند.
-
لوله هدایت سرامیکی دقیق برای اتصال سیم و اتصال قالب
لوله هدایت سرامیکی St.Cera از 99.5٪ آلومینا یا زیرکونیای پایدار شده با ایتریا ساخته شده است که مقاومت سایشی بالا و سوراخ داخلی صاف (Ra ≤0.2 μm) را ارائه می‌دهد. این لوله‌ها اجزای حیاتی در دستگاه‌های اتصال سیم، ماشین‌های اتصال قالب و تجهیزات برداشتن و گذاشتن هستند که سیم‌های اتصال، لوله‌های مویین یا نازل‌های خلاء را با حداقل اصطکاک و بدون آلودگی ذرات هدایت می‌کنند.
-
هسته سرامیکی آلومینا با خلوص بالا برای لامپ‌های نیمه‌هادی
هسته سرامیکی آلومینای St.Cera با دقت از 99.8٪ Al₂O₃ با خلوص بالا تشکیل شده است و مقاومت دی الکتریک استثنایی (15×10⁶ V/m)، پایداری حرارتی تا 1600 درجه سانتیگراد و مقاومت خزش تحت بار را ارائه می‌دهد. این هسته‌ها به عنوان اجزای ساختاری در تجهیزات فرآیندی با دمای بالا، پایه‌های بخاری، آسترهای محفظه پلاسما و عایق‌های الکتریکی استفاده می‌شوند. سختی بالای این ماده (16 گیگا پاسکال) و جذب آب کم (0٪) قابلیت اطمینان طولانی مدت را در محیط‌های سخت تضمین می‌کند.
-
سه نظام وکیوم استاندارد بر پایه آلومینا - استحکام بالا برای ماشینکاری دقیق
این سه نظام خلاء مبتنی بر آلومینا از ۹۹.۸٪ Al₂O₃ ساخته شده است و سطحی صاف و غیر متخلخل با الگوهای شیار خلاء سفارشی ارائه می‌دهد. این محصول استحکام استثنایی (مدول یانگ ۳۸۰ گیگا پاسکال) و مسطح بودن (≤۳ میکرومتر) را فراهم می‌کند که آن را برای سنگ‌زنی دقیق، صیقل‌کاری و برش ویفرهای نیمه‌هادی و قطعات نوری ایده‌آل می‌سازد. رسانایی حرارتی بالای این ماده (۳۲ وات بر متر مکعب در کیلومتر) یکنواختی دما را در طول پردازش تضمین می‌کند.
-
ST.CERA سفارشی برای حلقه سرامیکی آلومینا و دیسک سرامیکی
قطعات یدکی سرامیکی که با پرس ایزواستاتیک سرد شکل داده شده و در دمای بالا تف جوشی می‌شوند، سپس با دقت ماشینکاری و صیقل داده می‌شوند، می‌توانند با ویژگی‌های مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر خوردگی، انبساط حرارتی کم و عایق بودن، هرگونه الزامات سختگیرانه تجهیزات نیمه‌هادی را برآورده کنند. سرامیک‌ها می‌توانند در انواع مختلفی از تجهیزات تولید نیمه‌هادی در شرایط دمای بالا، خلاء یا گاز خورنده برای مدت طولانی کار کنند.
این محصول از پودر آلومینای با خلوص بالا ساخته شده، با پرس ایزواستاتیک سرد، تف‌جوشی در دمای بالا و پرداخت دقیق فرآوری شده است و می‌تواند به تلرانس ابعادی ±0.001 میلی‌متر، پرداخت سطحی Ra 0.1 و مقاومت دمایی 1600 درجه سانتیگراد برسد.
-
تجهیزات نیمه هادی چاک سرامیکی دقیق
قطعات یدکی سرامیکی که با پرس ایزواستاتیک سرد شکل داده شده و در دمای بالا تف جوشی می‌شوند، سپس با دقت ماشینکاری و صیقل داده می‌شوند، می‌توانند با ویژگی‌های مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر خوردگی، انبساط حرارتی کم و عایق بودن، هرگونه الزامات سختگیرانه تجهیزات نیمه‌هادی را برآورده کنند. سرامیک‌ها می‌توانند در انواع مختلفی از تجهیزات تولید نیمه‌هادی در شرایط دمای بالا، خلاء یا گاز خورنده برای مدت طولانی کار کنند.
این محصول از پودر آلومینای با خلوص بالا ساخته شده، با پرس ایزواستاتیک سرد، تف‌جوشی در دمای بالا و پرداخت دقیق فرآوری شده است و می‌تواند به تلرانس ابعادی ±0.001 میلی‌متر، پرداخت سطحی Ra 0.1 و مقاومت دمایی 1600 درجه سانتیگراد برسد.
