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半導体固定具用高精度アルミナセラミック位置決めロッド
St.Ceraのセラミック位置決めロッドは、純度99.8%の高純度アルミナ（Al₂O₃）を精密研磨して作られています。16 GPaという高い硬度、優れた耐摩耗性、そして寸法安定性を備えています。直径公差は±0.005 mmと非常に厳しく、長さは最大150 mmまで対応可能です。ロッド表面はRa ≤0.2 μmに研磨されており、スムーズな挿入と取り外しが可能です。半導体製造装置、ウェーハカセット、検査装置におけるアライメントピン、ダウエルピン、位置決めストッパーとして使用されます。
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高強度ジルコニアセラミックロッド – 精密シャフトおよびパンチ用
St.Cera社のジルコニアセラミックロッドは、イットリア安定化ZrO₂を精密に研磨して作られています。優れた曲げ強度（1000 MPa）、破壊靭性（5～8 MPa·m¹/²）、ビッカース硬度（13 GPa）を備えています。ロッドは黒色または白色で、密度は6.03 g/cm³、気孔率はゼロです。直径は1 mmから50 mm、長さは最大200 mmまで、公差は±0.005 mmと非常に厳密です。表面仕上げはRa ≤0.2 μmです。プランジャー、シャフト、ダウエルピン、切削工具ブランクなど、高摩耗用途に最適です。
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イットリア安定化ジルコニアセラミック部品 – 高い靭性と耐摩耗性
St.Cera社は、イットリア安定化ジルコニア（Y-TZP）を使用したカスタムジルコニアセラミック部品を製造しています。この材料は、優れた曲げ強度（1000 MPa）、高い破壊靭性（5～8 MPa·m¹/²）、およびビッカース硬度13 GPaを実現しています。密度は6.03 g/cm³で、吸水率はゼロです。部品は白色または黒色で供給可能です。ジルコニア独自の相変態強化機構により、亀裂伝播に対する優れた耐性を発揮するため、衝撃、熱衝撃、または高応力にさらされる部品に最適です。代表的な部品としては、バルブシート、ポンププランジャー、ファイバーガイドピン、切削工具、耐摩耗ブッシュなどがあります。
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ST.CERA社製、99.5%アルミナセラミック製カスタムパーツ
セラミック構造部品とは、様々な複雑な形状のセラミック部品の総称です。高純度セラミック粉末を原料とし、乾式プレスまたは冷間静水圧プレスによって成形後、高温で焼結し、精密機械加工を施します。耐高温性、耐腐食性、耐摩耗性、絶縁性などの特性から、半導体製造装置、光通信、レーザー、医療機器、石油、冶金、電子産業など幅広い分野で利用されています。
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ST.CERA社製、99.5%アルミナセラミック製カスタムパーツ
セラミック構造部品とは、様々な複雑な形状のセラミック部品の総称です。耐高温性、耐腐食性、耐摩耗性、絶縁性などの特性から、半導体製造装置、光通信、レーザー、医療機器、石油、冶金、電子産業など幅広い分野で利用されています。
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ST.CERA社製カスタムAlNセラミックプレート、セラミック部品
セラミック構造部品とは、様々な複雑な形状のセラミック部品の総称です。高純度セラミック粉末を原料とし、乾式プレスまたは冷間静水圧プレスによって成形後、高温で焼結し、精密加工を施します。半導体製造装置、光通信、レーザー、医療機器、石油、冶金、電子産業など、幅広い分野で利用されています。
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ST.CERA 特注ジルコニアセラミックプレート セラミック部品
セラミック構造部品とは、様々な複雑な形状のセラミック部品の総称です。乾式プレス成形または冷間静水圧プレス成形によって成形され、高温下で焼結された後、精密機械加工されます。
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ST.CERA社製カスタムアルミナセラミックベルヌーイエンドエフェクター
セラミック製エンドエフェクタ／ハンドリングアームのリーディングカンパニーとして、当社は市場ニーズに応える革新的なエンドエフェクタ／ハンドリングアームを開発しました。ベルヌーイの原理に基づいたこのセラミック製エンドエフェクタ／ハンドリングアームは、最小限の接触で気流を利用してウェハを浮上・搬送することができます。
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ST.CERA社製カスタムESDセラミックエンドエフェクタ
耐高温性、耐腐食性、耐摩耗性、絶縁性といった特性を持つセラミックは、高温、真空、腐食性ガスといった環境下にある多くの半導体製造装置で長期間使用することができます。
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ST.CERA社製カスタムアルミナセラミック製グリッピングエンドエフェクター
セラミックは、耐高温性、耐腐食性、耐摩耗性、絶縁性といった特性を備えているため、高温、真空、腐食性ガスといった環境下にある多くの種類の半導体製造装置で長期間使用することができます。
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ST.CERA社製カスタムアルミナセラミックトレイエンドエフェクター
これは、真空環境下で使用されるトレイ型セラミック製エンドエフェクタ／ハンドリングアームです。
セラミック製エンドエフェクター／ハンドリングアームは、金属製のものと比較して、「耐熱性が高く」、「たわみが少なく」、「軽量」です。
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ST.CERA社製カスタムアルミナセラミック真空エンドエフェクター
セラミックは、耐高温性、耐腐食性、耐摩耗性、絶縁性といった特性を備えているため、高温、真空、腐食性ガスといった環境下にある多くの種類の半導体製造装置で長期間使用することができます。
